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プラズマ環境AFMの開発とそのプラズマ材料表面プロセス原子スケール制御への応用

Research Project

Project/Area Number 10875125
Research Category

Grant-in-Aid for Exploratory Research

Allocation TypeSingle-year Grants
Research Field Inorganic materials/Physical properties
Research InstitutionThe University of Tokyo

Principal Investigator

吉田 豊信  東京大学, 大学院・工学系研究科, 教授 (00111477)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 寺嶋 和夫  東京大学, 大学院・工学系研究科, 助教授 (30176911)
Project Period (FY) 1998
Project Status Completed (Fiscal Year 1998)
Budget Amount *help
¥2,100,000 (Direct Cost: ¥2,100,000)
Fiscal Year 1998: ¥2,100,000 (Direct Cost: ¥2,100,000)
Keywordsプラズマ材料プロセシング / プラズマ / SPM / AFM / ナノインデンター / cBN
Research Abstract

本研究では、世界に先駆け、
(1) プラズマ環境中で作動する原子間力顕微鏡(AFM)の開発。
(3) 上記装置を用い、シリコン(Si)およびSrTiO_3のプラズマ・エッチング/ポリッシングナノスケールその観察および制御を通じて、固体-プラズマ界面構造の原子オーダー制御への応用。を試み,従来成しえなかった"固体-プラズマ界面構造の原子オーダー計測/制御"を目指したものである。
今年度の研究経過は以下のようである。
(A) プラズマ環境中で作動する原子間力顕微鏡(AFM)の開発
世界初のプラズマ環境中で作動する原子間力顕微鏡(プラズマAFM)の開発を試みた。主な要素技術のうち、
(1)AFMプローブ部。(2)プラズマ発生部。の完成はみたものの、(3)AFM本体のアセンブリーは今年度中には終了しなかった。一方、SPMのAFMの仲間である、プラズマ環境中で作動するSTMの高度化、STM/SNOM同時測定装置の開発を行った。
(B) プラズマエッチング/ポリシングのナノスケールその観察/制御
装置開発は完成には至ちなかったため、ex-situでプラズマスパッタリングで作製したcBN膜のAFMによる微細組織観察、微小領域での力学測定を行った。測定法の標準化に関する提案を行った。

Report

(1 results)
  • 1998 Annual Research Report
  • Research Products

    (1 results)

All Other

All Publications (1 results)

  • [Publications] "Microstructure and nanomechanical properties of cubic bcron nitride films prepered by bias spatter deposition" Thin Solid Films. 316. 35-39 (1998)

    • Related Report
      1998 Annual Research Report

URL: 

Published: 1998-04-01   Modified: 2016-04-21  

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