プラズマ環境AFMの関発とそのプラズマ薄膜プロセスナノスケール制御への応
| Project/Area Number |
10875140
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Exploratory Research
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| Allocation Type | Single-year Grants |
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| Research Field |
Material processing/treatments
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| Research Institution | The University of Tokyo |
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Principal Investigator |
寺嶋 和夫 東京大学, 大学院・工学系研究科, 助教授 (30176911)
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| Project Period (FY) |
1998
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| Project Status |
Completed (Fiscal Year 1998)
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| Budget Amount *help |
¥2,100,000 (Direct Cost: ¥2,100,000)
Fiscal Year 1998: ¥2,100,000 (Direct Cost: ¥2,100,000)
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| Keywords | プラズマ環境 / SPM / AFM / プラズマプロセス |
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| Research Abstract |
本研究では、世界に先駆け、
(1) プラズマ環境中で作動する原子間力顕微鏡(AFM)の開発。
(2) 上記装置を用い、シリコン(Si)およびSrTiO_3のプラズマ・エッチング/ポリッシングナノスケールその観察および制御を通じて、固体-プラズマ界面構造の原子オーダー制御への応用。を試み、従来,成しえなかった"固体-プラズマ界面構造の原子オーダー計測/制御"を目指したものである。
今年度の研究経過は以下のようである。
(A) プラズマ環境中で作動する原子間力顕微鏡(AFM)の開発
世界初のプラズマ環境中で作動する原子間力顕微鏡(プラズマAFM)の開発を試みた。主な要素技術のうち、
(1)AFMプローブ部。(2)プラズマ発生部。の完成はみたものの、(3)AFM本体のアセンブリーは今年度中には終了しなかった。
(B) プラズマエッチング/ポリシングのナノスケールその観察/制御
装置開発は完成には至らなかったため、ex-situでプラズマスパッタリングで作製したcBN膜のAFMによる微細組織蜆察、微小領域での力学測定を行った。測定法の標準化に計る提案を行った。
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Report
(1 results)
Research Products
(1 results)
