| Project/Area Number |
11750278
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
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| Allocation Type | Single-year Grants |
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| Research Field |
電子デバイス・機器工学
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| Research Institution | Tohoku University |
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Principal Investigator |
荒木 実 東北大学, 電気通信研究所, 助手 (30302235)
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| Project Period (FY) |
1999 – 2000
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| Project Status |
Completed (Fiscal Year 1999)
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| Budget Amount *help |
¥1,100,000 (Direct Cost: ¥1,100,000)
Fiscal Year 1999: ¥1,100,000 (Direct Cost: ¥1,100,000)
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| Keywords | サブミリ波帯 / ショットキ・バリア・ダイオード |
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| Research Abstract |
本年度の交付申請書記載の研究実施計画に沿って、以下に実績の概要を記す。
1)エッチング終点検出について、4重極質量分析計を用いて観測した結果、質量番号26に着目することにより、検出が可能であることを示した(電子通信学会マイクロ波研究会にて発表)。この時の反応生物はCNであると考えられる。本知見は、今後化合物半導体プロセスにとって極めて有用な貢献である。
2)上記のエッチング終点検出法を用いて製作した直径0.25μmのダイオードを文部省核融合科学研究所等との共同研究にて5.2THzにて測定し、検出感度3V/Wを得た。この値は、世界のトップデータであり、実用的な値である。今後核融合科学研究所でのテラヘルツ帯干渉計に本ダイオードを使用したいとの申し出があった。
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