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波長温度無依存半導体レーザ

Research Project

Project/Area Number 11875078
Research Category

Grant-in-Aid for Exploratory Research

Allocation TypeSingle-year Grants
Research Field 電子デバイス・機器工学
Research InstitutionTokyo Institute of Technology

Principal Investigator

小山 二三夫  東京工業大学, 精密工学研究所, 助教授 (30178397)

Project Period (FY) 1999
Project Status Completed (Fiscal Year 1999)
Budget Amount *help
¥2,100,000 (Direct Cost: ¥2,100,000)
Fiscal Year 1999: ¥2,100,000 (Direct Cost: ¥2,100,000)
Keywords光ファイバ通信 / 半導体レーザ / 波長多重方式
Research Abstract

本研究は,共振波長の温度依存を零にするような温度無依存の光共振器を半導体で実現し,温度による波長変化を零とするような絶対波長安定化された面発光半導体レーザを実現を目指し,以下の研究成果を得た.
(ア)マイクロマシーン構造で異なる半導体薄膜での熱膨張係数差を利用した,波長温度無依存の垂直光共振器を提案し,その波長温度無依存動作のための設計指針を明らかにし,同時に広範囲な波長トリミング動作の可能性も示した.
(イ)有機金属気相成長法とマイクロマシーンニングにより,GaAs/GaAlAsの半導体多層膜反射鏡からなる垂直光共振器を形成し,構造設計により波長の温度係数を広範囲に制御できることを実証した.
(ウ)光フィルタとして,その共振波長の温度依存性を評価して,温度無依存を可能とする構造設計を行い,実際に波長の温度特性として0.01nm/Kを得て,通常の半導体光共振器に比べて約1/10まで低減した.
(エ)プロセス終了後に,表面層をドライエッチングにより除去することにより,20nmに及ぶ波長トリミングの可能性を実証した.
以上の結果から,マイクロマシーン構造で波長が温度に依存しない新しい半導体レーザの基礎技術が確立された.

Report

(1 results)
  • 1999 Annual Research Report
  • Research Products

    (3 results)

All Other

All Publications (3 results)

  • [Publications] T.Amano,F.Koyama,N.Furukawa: "Micromachined AlGaAs/GaAs vertical cavity filter with adjustable temperature dependence and wavelength trimming ability"IEE Electronics Letters. vol36・no.1. 74-76 (2000)

    • Related Report
      1999 Annual Research Report
  • [Publications] F.Koyama,T.Amano,N.Furukawa: "Micromachined semiconductor vertical cavity for temperature insensitive surface emitting lasers and optical filters"Jpn. J. Appl. Phys. vol39・no.3B. 542-545 (2000)

    • Related Report
      1999 Annual Research Report
  • [Publications] T.Amano,F.Koyama,N.Nishiyama: "Temperature insensitive micromachined AlGaAs/GaAs vertical cavity filter"IEEE Photon.Technol. Lett. (掲載予定). (2000)

    • Related Report
      1999 Annual Research Report

URL: 

Published: 1999-04-01   Modified: 2016-04-21  

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