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超機能化グローバル・インターフェース・インテグレーション研究

Research Project

Project/Area Number 12058101
Research Category

Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas

Allocation TypeSingle-year Grants
Review Section Science and Engineering
Research InstitutionNational Institute for Materials Science (2003-2004)
The University of Tokyo (2000-2002)

Principal Investigator

堀池 靖浩  独立行政法人物質・材料研究機構, 生体材料研究センター, フェロー (20209274)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 財満 鎭明  国立大学法人名古屋大学, 先端技術共同研究センター, 教授 (70158947)
霜垣 幸浩  国立大学法人東京大学, 大学院・工学系研究課, 助教授 (60192613)
角南 英夫  国立大学法人広島大学, ナノデバイス・システム研究センター, 教授 (10311804)
益 一哉  国立大学法人東京工業大学, 精密工学研究所, 教授 (20157192)
岩井 洋  国立大学法人東京工業大学, フロンティア創造共同研究センター, 教授 (40313358)
Project Period (FY) 2000 – 2004
Project Status Completed (Fiscal Year 2004)
Budget Amount *help
¥21,700,000 (Direct Cost: ¥21,700,000)
Fiscal Year 2004: ¥3,000,000 (Direct Cost: ¥3,000,000)
Fiscal Year 2003: ¥6,700,000 (Direct Cost: ¥6,700,000)
Fiscal Year 2002: ¥8,000,000 (Direct Cost: ¥8,000,000)
Fiscal Year 2001: ¥4,000,000 (Direct Cost: ¥4,000,000)
Keywordsインテグレーション / 集積回路 / シリコン / 超機能化 / システム / 微細加工 / インターフェース / 半導体 / ヘルスケアチップ / 多機能化 / 超機能グローバル / 超高速・低消費 / ヒューマン・インターフェース・デバイス / モバイル端末 / 異分野融合 / チップ搭載チップ / 半導体プロセス / 異種材料
Research Abstract

平成12年9月に発足した本特定領域研究は、最終年度に当たる平成15年度まで活発な研究活動及び研究広報活動を行い、注目すべき研究成果が多く得られた。具体的には学術論文681報、国際学会発表944件、研究会など308件、学術講演会などでの発表843件、解説記事・著書99件、出願特許(公開、成立を含む)180件、受賞42件、新聞発表72件の学術的成果に加え、本領域研究の成果がきっかけとなり設立されたベンチャー企業が10社、本領域研究の成果をもとに実用化された製品が4製品などである。平成16年3月1日、2日(東京、一ツ橋記念講堂)の最終報告会では、口頭発表21件、成果展示デモ47件、参加者280名におよんだが、これらの研究成果を研究成果報告書としてまとめて記録刊行し、かつ広く公開普及するために、以下の計画を実施した。(1)研究成果報告書の刊行:本特定領域研究での成果を広く発信するために、研究成果報告書を刊行した(総ページ数554頁)。この報告書は関係研究者へ配布した。(2)研究成果報告書を電子版(CD-ROM)として刊行した。(3)あわせてweb上に成果を公表した(URL http://masu-www.pi.titech.ac.jp/~global/pub/index.html)。Web上ではすでに成果の一部を常に公開してきたが、最終報告会の概要および研究成果概要集、事後評価の審査結果のお知らせ等、随時ホームページを更新した。(本ホームページはさらに1、2年間は継続予定。)平成16年10月18日に行なわれた科学技術・学術審議会学術分科会科学研究費補助金審査部会理工系委員会による事後評価の結果、本領域研究はA+(期待以上の研究の成果があった)の高い評価をいただいた。

Report

(5 results)
  • 2004 Annual Research Report
  • 2003 Annual Research Report
  • 2002 Annual Research Report
  • 2001 Annual Research Report
  • 2000 Annual Research Report
  • Research Products

    (30 results)

All Other

All Publications (30 results)

  • [Publications] N.Kaji, Y.Tezuka, Y.Takamura, M.Ueda, T.Nishimoto, H.Nakanishi, Y.Horiike, Y.Baba: "Fast Separation of Long DNA Molecules by Nanopillar Chips under a Direct Current Electric Field"Anal.Chem.. 76(1). 15-22 (2004)

    • Related Report
      2003 Annual Research Report
  • [Publications] A.Oki, H.Ogawa, Y.Takamura, Y.Horiike: "Biochip Which Examines Hepatic Function by Employing Colorimetric Method"Jpn.J.Appl.Phys.. 42(3B). L342-L345 (2003)

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      2003 Annual Research Report
  • [Publications] Y.Takamura, H.Onoda, H.Inokuchi, S.Adachi, A.Oki, Y.Horiike: "Low-voltage electroosmosis pump for stand-alone microfluidics devices"Electrophoresis. 24. 185-192 (2003)

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      2003 Annual Research Report
  • [Publications] M.Ueda, K.Taniguchi, Y.Takamura, Y.Horiike, Y.Baba: "Fluorescence Emission Control of Long Molecules Adsorbed on Microelectrode Surface by External Voltage"Jpn.J.Appl.Phys.. 42. L788-L790 (2003)

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      2003 Annual Research Report
  • [Publications] K.Taniguchi, T.Fukasawa, H.Yoshiki, Y.Horiike: "Generation of Integrated Atomospheric-Pressure Microplasma"Jpn.J.Appl.Phys.. 42. 6584-6589 (2003)

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      2003 Annual Research Report
  • [Publications] T.Ichiki, R.Taura, Y.Horiike: "Localized and ultrahigh-rate etching of silicon wafers using atmospheric-pressure microplasma jets"J.Appl.Phys.. 95(1). 35-39 (2003)

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      2003 Annual Research Report
  • [Publications] T.Ichiki, Y.Sugiyama, T.Ujiie, Y.Horiike: "Deep dry etching of borosilicate glass using fluorine-based high-density plasmas for microelectrochemical system fabrication"J.Vac.Sci.Tech.B. 21(5). 2188-2192 (2003)

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      2003 Annual Research Report
  • [Publications] T.Fukasawa, Y.Horiike: "Deep Dry Etching of Quartz Plate Over 100 μm in Depth Employing Ultra-Thick Photoresist (SU-8)"Jpn.J.Appl.Phys.. 42. 3702-3706 (2003)

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      2003 Annual Research Report
  • [Publications] A.Oki, M.Takai, H.Ogawa, Y.Takamura, T.Fukasawa, J.Kikuchi, Y.Ito, T.Ichiki, Y.Horiike: "Healthcare Chip for Checking Health Condition from Analysis of Trace Blood Collected by Painless Needle"Jpn.J.Appl.Phys.. 42. 3722-3727 (2003)

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      2003 Annual Research Report
  • [Publications] T.Fukasawa, Y.Horiike: "Anisotropic Etching of SiO_2 Film and Quartz Plate Employing Anhydrous HF"Jpn.J.Appl.Phys.. 42. 4009-4015 (2003)

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      2003 Annual Research Report
  • [Publications] T.Fukasawa, T.Hayashi, Y.Horiike: "Conelike Defect in Deep Quartz Etching Employing Neutral Loop Discharge"Jpn.J.Appl.Phys.. 42. 6691-6697 (2003)

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      2003 Annual Research Report
  • [Publications] 堀池靖浩, 片岡一則 共編: "バイオナノテクノロジー"オーム社. 224 (2004)

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      2003 Annual Research Report
  • [Publications] A.Oki, M.Takai, H.Ogawa, Y.Takamura, T.Fukasawa, J.Kikuchi, Y.Ito, T.Ichiki, Y.Horiike: "Healthcare Chip Checking Healthcare Condition from Analysis of Trace Blood Collected by Painless Needle"Jpn. J. Appl. Phys. (to be published).

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      2002 Annual Research Report
  • [Publications] A.Oki, H.Ogawa, Y.Takamura, Y.Horiike: "Biochip Which Examines Hepatic Function by Employing Colorimetric Method"Jpn. J. Appl. Phys.. 42(3B). L342-L345 (2003)

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      2002 Annual Research Report
  • [Publications] Y.Takamura, H.Onoda, H.Inokuchi, S.Adachi, A.Oki, Y.Horiike: "Low-voltage electroosmosis pump for stand-alone microfluidics devices"Electrophoresis. 24. 185-192 (2003)

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      2002 Annual Research Report
  • [Publications] M.Yanagisawa, S.Iida, Y.Horiike: "Numerically Controlled Dry Etching Technology for Flattening of Si Wafer which Employs SF_6/H_2 Downstream Plasma"Jpn. J. Appl. Phys.. 41. 2791-2795 (2002)

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      2002 Annual Research Report
  • [Publications] H.Yoshiki, A.Oki, H.Ogawa, Y.Horiike: "Generation of a capacitively coupled microplasma and its application"J. Vac. Sci. Technol.. A20(1). 24-29 (2002)

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      2002 Annual Research Report
  • [Publications] 堀池靖浩, 小川洋輝: "はじめての半導体洗浄技術"工業調査会. 250 (2002)

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      2002 Annual Research Report
  • [Publications] Hiroyuki Yoshiki, Akio Oki, Hiroki Ogawa, Yasuhiro Horiike: "Generation of a capacitively coupled microplasma and its application to the inner-wall modification of a poly(ethylene terephthalate) capillary"J. Vac. Sci. Technol.. A20(1). 24-29 (2002)

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      2001 Annual Research Report
  • [Publications] A.Oki, Y.Takamura, T.Fukasawa, H.Ogawa, Y.Ito, T.Ichiki, Y.Horiike: "Study on Elemental Technologies for Creation of Healthcare Chip Fabricated on Polyethylene Terephthalate Plate"IEICE transactions. E84-C(12). 1801-1806 (2001)

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      2001 Annual Research Report
  • [Publications] Hiroyuki Yoshiki, Yasuhiro Horiike: "Capacitively Coupled Microplasma Source on a Chip at Atmospheric Pressure"Jpn. J. Appi. Phys.. 40・4A. L360-L362 (2001)

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      2001 Annual Research Report
  • [Publications] A.Oki, S.Adachi, Y.Takamura, H.Onoda, Y.Ito, Y.Horiike: "Electrophoresis Velocity Measurement of Lymphocytes Under Suppression of pH Change of PBS in Microcapillary"Proceedings of Micro Total Analysis System 2001, Monterey, U.S.A.. 505-506 (2001)

    • Related Report
      2001 Annual Research Report
  • [Publications] Y.Takamura, H.Onoda, H.Inokuchi, S.Adachi, A.Oki, Y.Horiike: "Low-voltage Electroosmosis pump and its Application to on-chip Linear Stepping Pneumatic Pressure Source"Proceedings of Micro Total Analysis System 2001, Monterey, U.S.A. 230-232 (2001)

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      2001 Annual Research Report
  • [Publications] 堀池靖浩, 沖明男, 高村禅, 小川洋輝, 深澤孝之, 高井まどか, 斧田博之: "極微量全血分離・分析を目指したヘルスケアチップの創製"バイオメディカルエンジニアリング. 15(10). 2--7 (2001)

    • Related Report
      2001 Annual Research Report
  • [Publications] 堀池靖浩, 小川洋輝: "はじめての半導体洗浄技術"工業調査会. 250 (2002)

    • Related Report
      2001 Annual Research Report
  • [Publications] Hyun-Ho Doh, et.al: "Variation of Fluorocarbon Radicals and Ionic Species Desorbed from Hot Metal Stage : Dependence on Stage Temperature, Distance between Stage and Detection Point"Jpn.J.Appl.Phys.. 40・5A(in press). (2001)

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      2000 Annual Research Report
  • [Publications] Takekazu Ujiie, et.al: "Fabrication of Quartz Microcapillary Electrophoresis Chip Using Plasma Etching"Jpn.J.Appl.Phys.. 39・6A. 3677-3682 (2000)

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      2000 Annual Research Report
  • [Publications] Aki Oki, et.al: "Electroosmosis injection of blood serum into biocompatible microcapillary chip fabricated on quartz plate"Electrophoresis. 22. 341-347 (2001)

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      2000 Annual Research Report
  • [Publications] 堀池靖浩 他: "日々の健康管理-ヘルスケアデバイスの創製-"高分子. 49・9. 652-655 (2000)

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      2000 Annual Research Report
  • [Publications] Hiroyuki Yoshiki,Yasuhiro Horiike: "Capacitively Coupled Microplasma Source on a Chip at Atmospheric Pressure"Jpn.J.Appl.Phys.. (in printing). (2001)

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      2000 Annual Research Report

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Published: 2001-04-01   Modified: 2018-03-28  

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