AC面放電型PDPの誘電体上補助電極による放電特性の制御

• Project/Area Number: 12878076
• Research Category: Grant-in-Aid for Exploratory Research
• Allocation Type: Single-year Grants
• Research Field: プラズマ理工学
• Research Institution: Kochi University of Technology
• Principal Investigator: 加納 剛太 高知工科大学, 大学院工学研究科, 教授 (70320124)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): 綿森 道夫 高知工科大学, 工学部, 助教授 (80222412) ; 八田 章光 高知工科大学, 工学部, 助教授 (50243184)
• Project Period (FY): 2000 – 2001
• Project Status: Completed (Fiscal Year 2001)
• Budget Amount: ¥2,100,000 (Direct Cost: ¥2,100,000); Fiscal Year 2001: ¥900,000 (Direct Cost: ¥900,000); Fiscal Year 2000: ¥1,200,000 (Direct Cost: ¥1,200,000)
• Keywords: プラズマディスプレイパネル / 誘電体バリア放電 / プラズマ / 気体放電 / 誘電体 / 酸化マグネシウム

Research Abstract

本研究の目的は量産タイプのAC面放電型PDPの誘電体上に微細なパターンの金属電極(補助電極)を形成することにより、放電セル内部の電界分布を積極的に制御し、放電開始電圧の低減、プラズマの形状制御、及び安定化を試みることである。さらに、マイクロ放電の発生と制御に関する新たな視点や問題点を指摘し、マイクロ放電研究の足がかりを見いだすため、放電後の誘電体および補助電極の表面の物性を分析する。
量産型のAC型PDP放電セルと類似の形状でサイズの大きな放電セルを作製し、放電特性の評価を行った。放電電源は30kHzで最大800V程度の電圧源を作製した。さらに放電電流・電圧を測定するための回路を作製し、データをパソコンに取りこむためのシステムを構築した。量産型に用いられている誘電体保護膜とガスの組み合わせはMgOコーティングとXeガスであるが、本研究ではガラス上にアルミニウムやプラチナを蒸着しArガス又は空気を用いて放電実験を行った。
結果の一例として、Arガス圧24kPa、放電ギャップ1mmで補助電極がない場合の放電開始電圧は約800Vであるのに対し、外部電極と同形の補助電極側が陰極になった場合の放電開始電圧は500V以下まで低下し、放電電圧の低下を実証した。また、ガラス上に1mm又は2mm間隔で、直径約0.3mmアルミ電極をパターニングした場合、パターン電極がない場合と比べて、同一の電源で放電可能な圧力範囲が広くなることを確認した。