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超短パルスレーザーによる金属表面ナノ構造自己形成の機構解明と高効率加工法の開発

Research Project

Project/Area Number 12J04282
Research Category

Grant-in-Aid for JSPS Fellows

Allocation TypeSingle-year Grants
Section国内
Research Field Material processing/treatments
Research InstitutionKyoto University

Principal Investigator

清水 雅弘  京都大学, 化学研究所, 特別研究員(PD)

Project Period (FY) 2012 – 2014-03-31
Project Status Declined (Fiscal Year 2013)
Budget Amount *help
¥2,200,000 (Direct Cost: ¥2,200,000)
Fiscal Year 2013: ¥1,100,000 (Direct Cost: ¥1,100,000)
Fiscal Year 2012: ¥1,100,000 (Direct Cost: ¥1,100,000)
Keywordsフェムト秒レーザー / 金属 / アブレーション / 閾値
Research Abstract

前年度までに、4種の金属(Cu, Pt, W, Mo)にアブレーション閾値以下のフルーエンスで超短パルスレーザーを照射した時に形成される表面ナノ構造のSEM観察を終えた。Cu, Mo, W表面にはクラックの発生が確認されたが、Ptにおいてクラックは観察されなかった。本年度は、この結果を踏まえて、Ptとその他の金属の違いを議論するために、金属の光・熱・機械物性の観点から、電磁界分布シミュレーションおよび文献調査により議論した。また、アブレーション閾値以上のレーザー照射を行い、SEM観察を行った。
時間領域差分法によるレーザー照射時の電界分布の計算より、金属表面の窪みが起点となってクラック発生し、成長することがわかった。クラックが一定の長さ以上に成長すると、クラック端の電場強度は弱くなり、成長が止まることがわかった。これより、入射パルス数を変化させてもクラックの長さの分布が変化しないことを説明できた。文献調査により、Ptは他の金属と比べて延性・展性に富んでいることがわかり、これが原因でクラックが発生しないことがわかった。以上の結果を前年度の結果と合わせ論文化した。応用物理分野でトップレベルの国際学術誌であるApplied Physics Lettersに掲載された。
アブレーション閾値以上における入射パルス数の増加に伴うナノ周期構造の形成過程が明らかになった。表面に窪みを起点に散乱波が生じ、それにより表面プラズモンが励起される。それが入射波と干渉しあってナノ周期構造が形成されることが分かった。

Current Status of Research Progress
Current Status of Research Progress

2: Research has progressed on the whole more than it was originally planned.

Reason

ナノ粒子と超短パルスレーザーとの相互作用の解明は未だに遠成できていないが、金属表面におけるナノ構造形成に対してモデルを提案し、論文化できたことは評価できる。

Strategy for Future Research Activity

ナノ構造形成過程のその場観察を行うことにより、今回提案したモデルが正しいことを実証する。

Report

(2 results)
  • 2013 Annual Research Report
  • 2012 Annual Research Report
  • Research Products

    (12 results)

All 2013 2012

All Journal Article (6 results) (of which Peer Reviewed: 5 results) Presentation (6 results)

  • [Journal Article] Unidirectionally oriented nanocracks on metal surfaces irradiated by low-fluence femtosecond laser pulses2013

    • Author(s)
      Masahiro Shimizu, et al.
    • Journal Title

      Applied Physics Letters

      Volume: 103

    • Related Report
      2013 Annual Research Report
    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Metal-like self-organization of periodic nanostructures on silicon and silicon carbide under femtosecond laser pulses2013

    • Author(s)
      Laura Gemini, et al.
    • Journal Title

      Journal of Applied Physics

      Volume: 114

    • Related Report
      2013 Annual Research Report
    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Shape control of elemental distributions inside a glass by simult aneous femtosecond laser irradiation at multiple spots2013

    • Author(s)
      Masaaki Sakakura, et al.
    • Journal Title

      Optics Letters

      Volume: 38 Pages: 4939-4942

    • Related Report
      2013 Annual Research Report
    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] フェムト秒レーザーによる金属表面ナノ構造自己形成2013

    • Author(s)
      清水雅弘, ほか
    • Journal Title

      電気学会研究会資料

      Volume: LAV-12-16 Pages: 3-6

    • NAID

      10031141967

    • Related Report
      2012 Annual Research Report
  • [Journal Article] Plasmonically enhanced Faraday effect in metal and ferrite nanoparticles composite precipitated inside glass2012

    • Author(s)
      Seisuke Nakashima, ほか
    • Journal Title

      Optics Express

      Volume: 20 Issue: 27 Pages: 28191-28199

    • DOI

      10.1364/oe.20.028191

    • Related Report
      2012 Annual Research Report
    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Homogeneous and elongation-free 3D microfabrication by a femtosecond laser pulse and hologram2012

    • Author(s)
      Masahiro Yamaji, Hayato Kawashima, Jun' ichi Suzuki, Shuhei Tanaka, Masahiro Shimizu, Kazuyuki Hirao, Yasuhiko Shimotsuma, Kiyotaka Miura
    • Journal Title

      Journal of Applied Physics

      Volume: 111 Issue: 8

    • DOI

      10.1063/1.4705286

    • Related Report
      2012 Annual Research Report
    • Peer Reviewed
  • [Presentation] フェムト秒レーザーによる金属表面ナノ構造自己形成~金属種により異なる表面構造~2013

    • Author(s)
      清水雅弘, ほか
    • Organizer
      日本物理学会 第68回年次大会
    • Place of Presentation
      広島大学
    • Year and Date
      2013-03-29
    • Related Report
      2012 Annual Research Report
  • [Presentation] フェムト秒レーザーによって形成される金属表面ナノ構造のレーザーパルス数依存2013

    • Author(s)
      清水雅弘, ほか
    • Organizer
      第33回レーザー学会学術講演会
    • Place of Presentation
      姫路商工会議所
    • Year and Date
      2013-01-28
    • Related Report
      2012 Annual Research Report
  • [Presentation] フェムト秒レーザーによる金属表面ナノ構造自己形成2012

    • Author(s)
      清水雅弘, ほか
    • Organizer
      電気学会光応用・視覚研究会
    • Place of Presentation
      大阪産業大学
    • Year and Date
      2012-12-21
    • Related Report
      2012 Annual Research Report
  • [Presentation] フェムト秒レーザー照射によるガラス内部の局所温度上昇評価と構造変化メカニズムの検討2012

    • Author(s)
      清水雅弘, ほか
    • Organizer
      第53回ガラスおよびフォトニクス材料討論会
    • Place of Presentation
      北海道大学
    • Year and Date
      2012-10-25
    • Related Report
      2012 Annual Research Report
  • [Presentation] フェムト秒レーザーアプレーションによる金属表面ナノ構造形成の機構解明2012

    • Author(s)
      清水雅弘, ほか
    • Organizer
      日本物理学会 2012年秋季大会
    • Place of Presentation
      横浜国立大学
    • Year and Date
      2012-09-20
    • Related Report
      2012 Annual Research Report
  • [Presentation] フェムト秒レーザーによる金属表面ナノ構造自己形成~アプレーション閾値近傍フルーェンスにおける表面構造のパルス数依存性~2012

    • Author(s)
      清水雅弘, ほか
    • Organizer
      2012年秋季第73回応用物理学会学術講演会
    • Place of Presentation
      愛媛大学
    • Year and Date
      2012-09-12
    • Related Report
      2012 Annual Research Report

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Published: 2013-04-25   Modified: 2024-03-26  

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