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次世代多層配線プロセス新微細加工技術の研究

Research Project

Project/Area Number 13025212
Research Category

Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas

Allocation TypeSingle-year Grants
Review Section Science and Engineering
Research InstitutionNational Institute for Materials Science (2003)
The University of Tokyo (2001-2002)

Principal Investigator

堀池 靖浩  独立行政法人物質・材料研究機構, 生体材料研究センター, フェロー (20209274)

Project Period (FY) 2001 – 2003
Project Status Completed (Fiscal Year 2003)
Budget Amount *help
¥91,300,000 (Direct Cost: ¥91,300,000)
Fiscal Year 2003: ¥27,200,000 (Direct Cost: ¥27,200,000)
Fiscal Year 2002: ¥37,000,000 (Direct Cost: ¥37,000,000)
Fiscal Year 2001: ¥27,100,000 (Direct Cost: ¥27,100,000)
Keywords多層配線 / ヘルスケアチップ / スクリーン印刷 / カーボン電極 / 銀 / 塩化銀電極 / イオンセンサ / 絶縁性ポリピロール / MPCポリマー / 次世代多層配線 / 化学的機械研磨 / ドライ平坦化 / 石英高アスペクト比加工 / 肝機能診断チップ / 長鎖DNAの捕獲チップ / 超高速DNA分離 / 無水フッ酸 / 電気化学センサー / BUN / クレアチニン / 平坦化電極 / カーボンナノチューブ
Research Abstract

最終年度は、ヘルスケアチップにおける「健康・疾病マーカ」の電気化学的検出のための多層配線技術を研究した。本チップは基本的に安価・使い捨てでなければならないので、スクリーン印刷を研究した。チップは流路パターンが射出成型法によって形成されたポリカーボネート基板と多層電極ポリエステル基板からなり、両基板を電極孔を予め抜いた光エポキシ重合性膜を介して常温で貼り付ける。ポリエステル基板上には、数μmのメッシュを用いたスクリーンによって、まずカーボン銀を用いて配線を形成し、その上にマスク合わせをしてセンサ電極としてカーボン、参照電極として銀/塩化銀を多層に形成後、パッドとして銀ペーストを用いる。その際、カーボン電極では、表面が電気的特性を左右するので、粒子径やバインダーなど種々の材料を検討した。これらの電極(有効面積:320μmφ)上にNa^+、K^+イオンセンサとして各々Bis(12-crown-4)とBis(benzo-15-crown-5)のイオン感応膜をアニオン排除剤と可塑剤を導入してPVCで固定化した。pHセンサとして電解重合によりカーボン電極上に絶縁性ポリピロールを形成した。グルコースセンサは、グルコースオキシダーゼとメディエータとしてフェロセンを含ませたものをポリイオンコンプレックス法によりカーボン電極上に固定化した。BUNセンサは、カーボン電極上に絶縁性ポリピロールを形成した後にポリイオンコンプレックス法によりウレアーゼを塗布し、その上からポリ-L-リシン膜で覆い固定したもので形成した。ここでイオンセンサおよびBUNセンサは電位検知のポテンショメトリ法であり、グルコースセンサは電流検知のアンペノメトリ法で計測した。なお、チップ内流路表面は血球などの付着を抑制し、生態適合化を図るためにMPCポリマーを塗布した。

Report

(3 results)
  • 2003 Annual Research Report
  • 2002 Annual Research Report
  • 2001 Annual Research Report
  • Research Products

    (24 results)

All Other

All Publications (24 results)

  • [Publications] N.Kaji, Y.Tezuka, Y.Takamura, M.Ueda, T.Nishimoto, H.Nakanishi, Y.Horiike, Y.Baba: "Fast Separation of Long DNA Molecules by Nanopillar Chips under a Direct Current Electric Field"Anal.Chem.. 76(1). 15-22 (2004)

    • Related Report
      2003 Annual Research Report
  • [Publications] A.Oki, H.Ogawa, Y.Takamura, Y.Horiike: "Biochip Which Examines Hepatic Function by Employing Colorimetric Method"Jpn.J.Appl.Phys.. 42(3B). L342-L345 (2003)

    • Related Report
      2003 Annual Research Report
  • [Publications] Y.Takamura, H.Onoda, H.Inokuchi, S.Adachi, A.Oki, Y.Horiike: "Low-voltage electroosmosis pump for stand-alone microfluidics devices"Electrophoresis. 24. 185-192 (2003)

    • Related Report
      2003 Annual Research Report
  • [Publications] M.Ueda, K.Taniguchi, Y.Takamura, Y.Horiike, Y.Baba: "Fluorescence Emission Control of Long Molecules Adsorbed on Microelectrode Surface by External Voltage"Jpn.J.Appl.Phys.. 42. L788-L790 (2003)

    • Related Report
      2003 Annual Research Report
  • [Publications] K.Taniguchi, T.Fukasawa, H.Yoshiki, Y.Horiike: "Generation of Integrated Atomospheric-Pressure Microplasma"Jpn.J.Appl.Phys.. 42. 6584-6589 (2003)

    • Related Report
      2003 Annual Research Report
  • [Publications] T.Ichiki, R.Taura, Y.Horiike: "Localized and ultrahigh-rate etching of silicon wafers using atmospheric-pressure microplasma jets"J.Appl.Phys.. 95(1). 35-39 (2003)

    • Related Report
      2003 Annual Research Report
  • [Publications] T.Ichiki, Y.Sugiyama, T.Ujiie, Y.Horiike: "Deep dry etching of borosilicate glass using fluorine-based high-density plasmas for microelectrochemical system fabricatio"J.Vac.Sci.Tech.B. 21(5). 2188-2192 (2003)

    • Related Report
      2003 Annual Research Report
  • [Publications] T.Fukasawa, Y.Horiike: "Deep Dry Etching of Quartz Plate Over 100 μm in Depth Employing Ultra-Thick Photoresist (SU-8)"Jpn.J.Appl.Phys.. 42. 3702-3706 (2003)

    • Related Report
      2003 Annual Research Report
  • [Publications] A.Oki, M.Takai, H.Ogawa, Y.Takamura, T.Fukasawa, J.Kikuchi, Y.Ito, T.Ichiki, Y.Horiike: "Healthcare Chip for Checking Health Condition from Analysis of Trace Blood Collected by Painless Needle"Jpn.J.Appl.Phys.. 42. 3722-3727 (2003)

    • Related Report
      2003 Annual Research Report
  • [Publications] T.Fukasawa, Y.Horiike: "Anisotropic Etching of SiO_2 Film and Quartz Plate Employing Anhydrous HF"Jpn.J.Appl.Phys.. 42. 4009-4015 (2003)

    • Related Report
      2003 Annual Research Report
  • [Publications] T.Fukasawa, T.Hayashi, Y.Horiike: "Conelike Defect in Deep Quartz Etching Employing Neutral Loop Discharge"Jpn.J.Appl.Phys.. 42. 6691-6697 (2003)

    • Related Report
      2003 Annual Research Report
  • [Publications] 堀池靖浩, 片岡一則 共編: "バイオナノテクノロジー"オーム社. 224 (2004)

    • Related Report
      2003 Annual Research Report
  • [Publications] A.Oki, M.Takai, H.Ogawa, Y.Takamura, T.Fukasawa, J.Kikuchi, Y.Ito, T.Ichiki, Y.Horiike: "Healthcare Chip Checking Healthcare Condition from Analysis of Trace Blood Collected by Painless Needle"Jpn. J. Appl. Phys. (to be published).

    • Related Report
      2002 Annual Research Report
  • [Publications] A.Oki, H.Ogawa, Y.Takamura, Y.Horiike: "Biochip Which Examines Hepatic Function by Employing Colorimetric Method"Jpn. J. Appl. Phys.. 42(3B). L342-L345 (2003)

    • Related Report
      2002 Annual Research Report
  • [Publications] Y.Takamura, H.Onoda, H.Inokuchi, S.Adachi, A.Oki, Y.Horiike: "Low-voltage electroosmosis pump for stand-alone microfluidics devices"Electrophoresis. 24. 185-192 (2003)

    • Related Report
      2002 Annual Research Report
  • [Publications] M.Yanagisawa, S.Iida, Y.Horiike: "Numerically Controlled Dry Etching Technology for Flattening of Si Wafer which Employs SF_6/H_2 Downstream Plasma"Jpn. J. Appl. Phys.. 41. 2791-2795 (2002)

    • Related Report
      2002 Annual Research Report
  • [Publications] H.Yoshiki, A.Oki, H.Ogawa Y.Horiike: "Generation of a capacitively coupled microplasma and its application"J. Vac. Sci. Technol.. A20(1). 24-29 (2002)

    • Related Report
      2002 Annual Research Report
  • [Publications] 堀池靖浩, 小川洋輝: "はじめての半導体洗浄技術"工業調査会. 250 (2002)

    • Related Report
      2002 Annual Research Report
  • [Publications] Hiroyuki Yoshiki, Akio Oki, Hiroki, Ogawa, Yasuhiro Horiike: "Generation of a capacitively coupled microplasma and its application to the inner-wall modification of a poly(ethylene terephthalate) capillary"J. Vac. Sci. Technol.. A20(1). 24-29 (2002)

    • Related Report
      2001 Annual Research Report
  • [Publications] Hyun-Ho Doh, Yasuhiro Horiike: "Gas Residence Time Effects on Plasma Parameters : Comparison between Ar and C_4F_8"Jpn. J. Appl. Phys.. 40・5A. 3419-3426 (2001)

    • Related Report
      2001 Annual Research Report
  • [Publications] Hiroyuki Yoshiki, Yasuhiro Horiike: "Capacitively Coupled Microplasma Source on a Chip at Atmospheric Pressure"Jpn. J. Appl. Phys.. 40・4A. L360-L362 (2001)

    • Related Report
      2001 Annual Research Report
  • [Publications] T.Kuriyagawa, Y.Tezuka, T.Fukasawa, Y.Takamura, Y.Horiike: "Effect of O_2 Plasma Cleaning and Subsequent H_2 addition to C_4F_8 in Deep Si Etching Process"Process, Proc. Plasma Sci. Symp. 2001/18th Symp. Plasma Processing, Kyoto. 663-664 (2001)

    • Related Report
      2001 Annual Research Report
  • [Publications] A.Oki, H.Ogawa, Y.Takamura, M.Takai, T.Fukasawa, J.Kikuchi, Y.Ito, T.Ichiki, Y.Horiike: "Biochip Checking Health Condition from Analysis of Trace Blood Collected by Painless Needle"Extracted Abstracts of the 2001 International Conference on Solid State Devices and Materials. 460-461 (2001)

    • Related Report
      2001 Annual Research Report
  • [Publications] A.Oki, Y.Takamura, T.Fukasawa, H.Ogawa, Y.Ito, T.Ichiki, Y.Horiike: "Study on Elemental Technologies for Creation of Healthcare Chip Fabricated on Polyethylene Terephthalate Plate"IEICE transactions. E84-C(12). 1801-1806 (2001)

    • Related Report
      2001 Annual Research Report

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Published: 2001-04-01   Modified: 2018-03-28  

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