| Project/Area Number |
13031066
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas (A)
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| Allocation Type | Single-year Grants |
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| Review Section |
Science and Engineering
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| Research Institution | Kyushu University |
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Principal Investigator |
高原 淳 九州大学, 有機化学基礎研究センター, 教授 (20163305)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
大塚 英幸 九州大学, 有機化学基礎研究センター, 助教授 (00293051)
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| Project Period (FY) |
2001
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| Project Status |
Completed (Fiscal Year 2001)
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| Budget Amount *help |
¥1,800,000 (Direct Cost: ¥1,800,000)
Fiscal Year 2001: ¥1,800,000 (Direct Cost: ¥1,800,000)
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| Keywords | アルキルシラン / フルオロアルキルシラン / パターン形成 / パターニング / 真空紫外光 / 単分子膜形成 / 水平力顕微鏡 / 飛行時間型二次イオン質量分析 |
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| Research Abstract |
アルキルトリメトキシシランあるいほフルオロアルキルトリメトキシランの気相からの化学吸着重合、あるいはアルキルトリクロロシランあるいはフルオロアルキルトリクロロシラン液相からの化学吸着重合により有機シラン単分子膜をシリコンウエハー基板上に固定化した。単分子膜の形成は接触角測定による表面自由エネルギー測定、X線光電子分光測定(XPS)ならびに赤外吸収分光測定に基づき評価した。得られた単一成分の有機シラン単分子膜にフォトマスクを通して波長172nmの真空紫外光を照射し、局所的な光分解を行った。光分解した部分にはシラノール基が露出していることをXPSと飛行時間型二次イオン質量分析測定(ToF-SIMS)による二次イオン分布のイメージングで確認した。Siの露出した領域に異なる表面自由エネルギーを有する有機シラン単分子膜を固定した。二成分系有機シラン単分子膜の形成は水平力顕微鏡観察による摩擦力の違いの分布とToF-SIMSによる二次イオン分布のイメージングにより確認した。さらにラインパターンの方向を90°変化させて、膜形成、露光による分解、膜形成を繰り返し、表面自由エネルギーの著しく異なるアルキル、フルオロアルキル、アミノ基を有する3成分系の相分離表面の構築し、各相の表面物性の違いをLFM測定に基づき明らかにした。
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