固体表面からのO^-イオンラジカルの生成機構の解明
| Project/Area Number |
13305055
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
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| Allocation Type | Single-year Grants |
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| Section | 一般 |
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| Research Field |
反応・分離工学
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| Research Institution | The University of Tokyo |
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Principal Investigator |
定方 正毅 東京大学, 大学院・工学系研究科, 教授 (30011175)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
西岡 将輝 東京大学, 大学院・工学系研究科, 助手 (00282575)
李 全新 東京大学, 大学院・工学系研究科, 助教授 (60312998)
越 光男 東京大学, 大学院・工学系研究科, 教授 (20133085)
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| Project Period (FY) |
2001 – 2004
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| Project Status |
Completed (Fiscal Year 2002)
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| Budget Amount *help |
¥15,600,000 (Direct Cost: ¥12,000,000、Indirect Cost: ¥3,600,000)
Fiscal Year 2002: ¥6,500,000 (Direct Cost: ¥5,000,000、Indirect Cost: ¥1,500,000)
Fiscal Year 2001: ¥9,100,000 (Direct Cost: ¥7,000,000、Indirect Cost: ¥2,100,000)
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| Keywords | 酸素負イオン / O^- / 12CaO・7A1_2O_3 / 時間飛行型質量分析器 / アルミナセメント / Cl2A7 / イットリア安定化ジルコニア / C12A7 |
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| Research Abstract |
本研究では、高活性で工業的な応用が期待できるO^-イオンラジカルの固体表面からの生成機構の解明を目的とする。
本年度は、平成13年度に、発見された活性酸素包摂材料「12CaO・7Al_2O_3」(通称C12A7)に関して研究を進め、以下の知見を得ることが出来た。
(1)気相中に発生できるO^-の量は、C12A7にあらかじめ包摂されている活性酸素の量により決まることがわかった。、標準サイズのペレット(18φ,1mm厚)・1uA/cm^2のイオン放出を行った場合、12時間程度で半減することがわかった。
(2)O^-の放出が終わったC12A7を、酸素中800℃に保持し、電圧を印加することで、60分程度で回復する。回復後のC12A7からは、再び、気相中にO^-を発生させることができる。
(3)片側の閉じた筒状(タンマン管形状)のC12A7を用いることで、片側から酸素を供給し、他端から連続的にO^-を放出させることができた。これにより、5日以上にわたるO^-放出を確認した。
(4)C12A7の酸素極に塗布する電極の材質により、O^-発生が影響を受けることがわかった。
(5)C12A7中の活性酸素とSO_2の酸化除去を試み、SO_2とC12A7中のカルシウムが反応し、石膏を形成することを確認した。
(6)C12A7から発生させたO^-により、シリコンウエハーを酸化させることができた。これは、高真空(10^<-5>torr)の条件での酸化処理であり、クリーン度の高い酸化処理法として、応用が期待,まれる。
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Report
(2 results)
Research Products
(12 results)
