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シリコン基板上に作製した超薄膜・希土類金属酸化物の誘電率制御指針の構築

Research Project

Project/Area Number 13450122
Research Category

Grant-in-Aid for Scientific Research (B)

Allocation TypeSingle-year Grants
Section一般
Research Field Electronic materials/Electric materials
Research InstitutionThe University of Tokyo

Principal Investigator

鳥海 明  東京大学, 大学院・工学系研究科, 教授 (50323530)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 弓野 健太郎  東京大学, 大学院・工学系研究科, 講師 (40251467)
Project Period (FY) 2001 – 2003
Project Status Completed (Fiscal Year 2001)
Budget Amount *help
¥14,100,000 (Direct Cost: ¥14,100,000)
Fiscal Year 2001: ¥14,100,000 (Direct Cost: ¥14,100,000)
Keywordsシリコン
Research Abstract

基盤研究(B)(2)のスタートにあたって、当該分野の最先端の現状を精査するためにVLSIシンポジウム(京都で開催)に参加した。ここでは、技術的な側面が多く議論されたが、基礎的側面の取り組みの重要性が再認識された。そこには、異種材料の界面の電子状態をどう取り扱うかなども含まれている。
その後すぐに、本研究分野をより広く包含した基盤研究(S)の採択が通知されたため、基盤研究(B)(2)に関しては打ち切った。

Report

(1 results)
  • 2001 Annual Research Report

URL: 

Published: 2001-04-01   Modified: 2016-04-21  

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