干渉したフェムト秒レーザーのレーザーアブレーションを用いた2次元周期構造の作製
| Project/Area Number |
13750048
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
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| Allocation Type | Single-year Grants |
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| Research Field |
Applied optics/Quantum optical engineering
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| Research Institution | Kyushu University |
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Principal Investigator |
中田 芳樹 九州大学, 大学院・システム情報科学研究院, 助手 (70291523)
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| Project Period (FY) |
2001 – 2002
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| Project Status |
Completed (Fiscal Year 2002)
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| Budget Amount *help |
¥500,000 (Direct Cost: ¥500,000)
Fiscal Year 2002: ¥500,000 (Direct Cost: ¥500,000)
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| Keywords | フェムト秒レーザー加工 / 回折格子 / 干渉 / レーザーアブレーション / 周期構造 / ナノワイヤー / マイクロ加工 / 内部加工 / ナノテクノロジー / フォトニック結晶 / 微細加工 / フェムト秒レーザー |
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| Research Abstract |
本研究者が提案している「新方式のレーザー干渉装置を用いたフェムト秒レーザーアブレーション加工」について、以下の研究・開発を行った。
1.透過型回折格子及びイメージング光学系を用いた広範囲に渡るフェムト秒レーザー干渉装置の開発
2.2光束干渉を用いたグレーティング構造の作製
3.4光束干渉を用いたマトリクス構造の作製
1.について、構成した装置を用いて実際に加工を行う事によって、2002年度末において世界最長となる6mmの周期ドット構造をシングルショットで加工することに成功した。本装置は回折格子を選択することで、多光束干渉一般に応用することが出来る。さらに、試料内部に集光することで内部加工に成功した。材料には、金薄膜、合成石英、サファイア、ポリスチレン、アクリル、スライドガラス等を用い、それらの加工に成功した。
2.について、1.で開発した装置に試料スキャン装置を組み合わせることで、任意の間隔を持つ周期ドット構造及びグレーティング構造を作製した。これらは透過・反射型回折格子として動作し、周期が縦・横方向共に均一であることが証明された。また、フルエンスを減少させることで、幅約380nm、深さ約11nmの溝の作製に成功した。
3.について、1.の装置を4光束干渉型に拡張することにより、シングルショットでマトリクス穴構造を作製することに成功した。ここで、縮小光学系を用いることで、ドット間隔1.7μm、穴径800nmの構造を作製することに成功した。
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Report
(2 results)
Research Products
(4 results)
