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原子間力顕微鏡の固体表面像分解能と二次元量子摩擦現象の解明に関する研究

Research Project

Project/Area Number 13750113
Research Category

Grant-in-Aid for Young Scientists (B)

Allocation TypeSingle-year Grants
Research Field 設計工学・機械要素・トライボロジー
Research InstitutionIbaraki University

Principal Investigator

清水 淳  茨城大学, 工学部, 助手 (40292479)

Project Period (FY) 2001 – 2002
Project Status Completed (Fiscal Year 2002)
Budget Amount *help
¥1,900,000 (Direct Cost: ¥1,900,000)
Fiscal Year 2002: ¥700,000 (Direct Cost: ¥700,000)
Fiscal Year 2001: ¥1,200,000 (Direct Cost: ¥1,200,000)
Keywords原子間力顕微鏡 / 摩擦力顕微鏡 / 分子動力学法 / カンチレバ / 剛性 / プローブ / 固体表面像 / スティックスリップ
Research Abstract

本研究は、原子間力顕微鏡(AFM)による固体表面観察においてプロープと固体表面との間に生ずる原子間相互作用を、カンチレパの剛性を考慮した分子動力学シミュレーションを通じ動力学的に明らかにすることを目的とする.
平成14年度は、摩擦力顕微鏡的な使用に着目し解析した.プローブ先端の大きさが反作用力像とプローブの運動挙動に及ぼす影響を明らかにするため、プロープ先端原子の数が1からダイヤモンド4格子となりほぼ平面とみなせる状態までを想定し、銅{100}面のスキャンを解析した。得られた成果を以下に示す.
1単原子プローブの場合、試料表面原子と試料表面原子との中間のポテンシャルエネルギーが極小となる領域にスティックし、原子スケールの2次元スティックスリップ現象が生じるとともに、鮮明な原子像が得られる。
2プローブ先端の原子数が試料表面原子の間隔(ここでは1格子定数)程度になると、試料表面原子と試料表面原子との間の領域にスティックしにくくなり、原子スケールの2次元スティックスリップ現象が生じにくくなるとともに,原子像は不鮮明となる.
3平坦な先端を有するプローブ(ここでは4格子定数)以上では、試料表面原子間隔の周期で存在するプロープ先端形状に応じたポテンシャルエネルギーの極小点においてスティックを起こし、原子スケールの2次元スティックスリップ現象が生じるとともに、鮮明な原子像が得られる。このことから、試料表面原子の周期性によって摩擦力顕微鏡でも原子像は得られることが判明した.
4研究成果は「Tribotest Journal」および「J.Materials Processing Technology」に掲載された.国際会議ASIATRIB'2002(Korea),IMCC'2002(China)、その他に国内の諸学会等で発表された。最終的に研究成果報告書としてまとめられた.

Report

(2 results)
  • 2002 Annual Research Report
  • 2001 Annual Research Report
  • Research Products

    (12 results)

All Other

All Publications (12 results)

  • [Publications] J.Shimizu, L.Zhou, H.Eda: "Molecular Dynamics Simulation of the Contact Process in AFM Surface Observations"Tribotest Journal. 9・2. 101-115 (2002)

    • Related Report
      2002 Annual Research Report
  • [Publications] J.Shimizu, L.Zhou, H.Eda: "Simulation and Experimental Analysis of Super High-Speed Grinding of Ductile Material"Journal of Materials Processing Technology. 129・1-3. 19-24 (2002)

    • Related Report
      2002 Annual Research Report
  • [Publications] L.Zhou, J.Shimizu, A.Muroya, H.Eda: "Material removal mechanism beyond plastic wave propagation rate"Precision Engineering. 27・2. 109-116 (2003)

    • Related Report
      2002 Annual Research Report
  • [Publications] L.Zhou, J.Shimizu, K.Shinohara, H.Eda: "Three-dimensional kinematical analyses for surface grinding of large scale substrate"Precision Engineering. 27・2. 175-184 (2003)

    • Related Report
      2002 Annual Research Report
  • [Publications] H.Taniyama, H.Eda, L.Zhou, J.Shimizu, J.Sato: "Experimental Investigation of Micro Scratching on Two Phases Alloy Steel-Plastic Flow Mechanism of Ferrite and Cementite Phase-"Key Engineering Materials. 238-239. 15-18 (2003)

    • Related Report
      2002 Annual Research Report
  • [Publications] J.Shimizu, L.Zhou, H.Eda: "Molecular Dynamics Simulation of Contact Process in AFM/FFM Surface Observation"Proceedings of 2nd Asia International Conference on Tribology(ASIATRIB'2002), Korea. 61-62 (2002)

    • Related Report
      2002 Annual Research Report
  • [Publications] J.Shimizu, L.Zhou, H.Eda: "Simulation Analysis of Contact Process in AFM Surface Observation"Tribotest Journal. 8・(掲載予定). (2002)

    • Related Report
      2001 Annual Research Report
  • [Publications] J.Shimizu, H.Eda, L.Zhou: "Molecular Dynamics Simulation on Dependence of Atomic-Scale Stick-Slip Phenomenon upon Probe Tip Shape"Initiatives of Precision Engineering at the Beginning of a Millennium(Proc.Int.Conf.10th ICPE,Yokohama). 759-763 (2001)

    • Related Report
      2001 Annual Research Report
  • [Publications] J.Shimizu, L.Zhou, H.Eda: "Simulation Analysis of Contact Process in AFM Surface Observation"Proc.2nd World Tribology Congress,WTC2001,Austria. (M-12-22-157-SHIMIZU.pdf). (2001)

    • Related Report
      2001 Annual Research Report
  • [Publications] J.Shimizu, H.Eda, L.Zhou, T.Asano, Y.Nakazawa: "Microscopic Analysis of Friction Phenomena in Surface Observation by Atomic Force Microscope"Proc.Int.Tribology Conf.,ITC2000,Nagasaki. 687-692 (2001)

    • Related Report
      2001 Annual Research Report
  • [Publications] H.Eda, L.Zhou, H.Nakano, R.Kondo, J.Shimizu: "Development of Single Step Grinding System for Large Scale φ300 Si Wafer:A Total Integrated Fixed-Abrasive Solution"Annals of the CIRP. 50・1. 225-228 (2001)

    • Related Report
      2001 Annual Research Report
  • [Publications] 江田 弘, 周 立波, 中野博民, 近藤 良, 清水 淳, 田島琢二: "大口径φ300mmSiウエハ用超加工機械の開発"精密工学会誌. 67・10. 1693-1697 (2001)

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      2001 Annual Research Report

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Published: 2001-04-01   Modified: 2016-04-21  

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