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グラフェンの化学気相成長過程における核形成機構と成長端での原子取込み機構の解明

Research Project

Project/Area Number 13J10382
Research Category

Grant-in-Aid for JSPS Fellows

Allocation TypeSingle-year Grants
Section国内
Research Field Applied materials science/Crystal engineering
Research InstitutionThe University of Tokyo

Principal Investigator

寺澤 知潮  東京大学, 理学系研究科, 特別研究員(DC2)

Project Period (FY) 2013-04-01 – 2015-03-31
Project Status Completed (Fiscal Year 2014)
Budget Amount *help
¥2,200,000 (Direct Cost: ¥2,200,000)
Fiscal Year 2014: ¥1,100,000 (Direct Cost: ¥1,100,000)
Fiscal Year 2013: ¥1,100,000 (Direct Cost: ¥1,100,000)
Keywordsグラフェン / 化学気相成長法 / その場観察 / 光学顕微鏡 / 表面科学 / 黒体輻射 / 結晶成長 / 成長機構 / 二層グラフェン
Outline of Annual Research Achievements

グラフェンの画期的な物性を産業的に応用するためには,大面積かつ単層の試料を再現性良く得ることが重要である.銅基板上での化学気相成長法はこのようなグラフェンの作製において有利と考えられている.本年度は前年度に引き続きグラフェンの化学気相成長法のその場観察の研究を行い,本研究の目的であるグラフェン化学気相成長法の機構の解明に寄与する結果を得た.また,産業応用に向けて成長条件の最適化の指針を提案した.以下に研究成果の内容について具体的に示す.
本研究ではグラフェンの化学気相成長法の機構解明のために光学顕微鏡を用いた新たなその場観察の手法開発を試みてきた.グラフェンの成長時にグラフェンと銅基板の黒体輻射の強度差に注目するとグラフェン成長のその場観察が可能であることはすでに昨年度に報告した.同時に原料気体であるメタンの流量や基板の温度がグラフェン成長に大きな影響を与えることをその場観察によっても明らかにしてきた.本年度は近年注目されている成長条件である系中に残留している酸素濃度に着目して研究を行った.その結果,系中の酸素濃度が高いほどグラフェンの核発生や成長速度が遅くなる一方で,グラフェンが除去される速度は高くなることが明らかになった.以上の結果を総括し,メタンからのグラフェン成長前駆体の生成と残留酸素による前駆体の消費の競合によってグラフェンの成長様式が決定されるという機構を考察した.さらに考察を進め,グラフェンの化学気相成長法における成長条件としては系中に不純物として存在する酸素の量を確定させた後に最後にメタン流量を決定するべきであるという指針を提案した.
以上の内容は応用物理学会において講演奨励賞を受賞するとともに,Nature Communications誌およびApplied Physics Express誌に掲載された.

Research Progress Status

26年度が最終年度であるため、記入しない。

Strategy for Future Research Activity

26年度が最終年度であるため、記入しない。

Report

(2 results)
  • 2014 Annual Research Report
  • 2013 Annual Research Report
  • Research Products

    (8 results)

All 2015 2014 2013

All Journal Article (3 results) (of which Peer Reviewed: 3 results,  Acknowledgement Compliant: 2 results) Presentation (5 results) (of which Invited: 1 results)

  • [Journal Article] Radiation Mode Optical Microscopy on the Growth of Graphene2015

    • Author(s)
      T. Terasawa and K. Saiki
    • Journal Title

      Nature Communications

      Volume: 6 Issue: 1 Pages: 6834-6834

    • DOI

      10.1038/ncomms7834

    • Related Report
      2014 Annual Research Report
    • Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant
  • [Journal Article] Effect of vapor-phase oxygen on chemical vapor deposition growth of graphene2015

    • Author(s)
      T. Terasawa and K. Saiki
    • Journal Title

      Applied Physics Express

      Volume: 8 Issue: 3 Pages: 035101-035101

    • DOI

      10.7567/apex.8.035101

    • Related Report
      2014 Annual Research Report
    • Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant
  • [Journal Article] Control of work function of graphene by plasma assisted nitrogen doping2014

    • Author(s)
      Keishi Akada, Tomo-o Terasawa, Gaku Imamura, Seiji Obata, and Koichiro Saiki
    • Journal Title

      Applied Physics Letters

      Volume: 104 Issue: 13 Pages: 131602-131602

    • DOI

      10.1063/1.4870424

    • Related Report
      2013 Annual Research Report
    • Peer Reviewed
  • [Presentation] グラフェンCVD成長における酸素分圧の影響2015

    • Author(s)
      寺澤知潮,斉木幸一朗
    • Organizer
      第62回応用物理学会春季学術講演会
    • Place of Presentation
      東海大学(神奈川県平塚市)
    • Year and Date
      2015-03-12
    • Related Report
      2014 Annual Research Report
  • [Presentation] 黒体輻射顕微法によるグラフェンCVD成長のその場観察2014

    • Author(s)
      寺澤知潮,斉木幸一朗
    • Organizer
      第75回応用物理学会秋季学術講演会
    • Place of Presentation
      北海道大学(北海道札幌市)
    • Year and Date
      2014-09-19
    • Related Report
      2014 Annual Research Report
    • Invited
  • [Presentation] 黒体輻射を用いたグラフェンCVD成長の光学顕微鏡観察2014

    • Author(s)
      寺澤知潮, 斉木幸一朗
    • Organizer
      第61回応用物理学会春季学術講演会
    • Place of Presentation
      青山学院大学, 相模原キャンパス
    • Year and Date
      2014-03-20
    • Related Report
      2013 Annual Research Report
  • [Presentation] Effect of Sublimation of Cu Substrates on Chemical Vapor Deposition Growth of Graphene2013

    • Author(s)
      T. Terasawa, S. Stauss, K. Terashima, and K. Saiki
    • Organizer
      Material Research an Society Fall Meeting & Exhibit
    • Place of Presentation
      Hynes Convention Center (Boston, USA)
    • Year and Date
      2013-12-06
    • Related Report
      2013 Annual Research Report
  • [Presentation] グラフェンCVD成長の光学顕微鏡観察2013

    • Author(s)
      寺澤知潮, 斉木幸一朗
    • Organizer
      第74回応用物理学会秋季学術講演会
    • Place of Presentation
      同志社大学, 京田辺キャンパス
    • Year and Date
      2013-09-17
    • Related Report
      2013 Annual Research Report

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Published: 2014-01-29   Modified: 2024-03-26  

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