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非晶質ゲルマニウム薄膜の結晶化及び単結晶ゲルマニウム中の欠陥回復過程に関する研究

Research Project

Project/Area Number 14J11196
Research Category

Grant-in-Aid for JSPS Fellows

Allocation TypeSingle-year Grants
Section国内
Research Field Electron device/Electronic equipment
Research InstitutionThe University of Tokyo

Principal Investigator

株柳 翔一  東京大学, 工学系研究科, 特別研究員(DC2)

Project Period (FY) 2014-04-25 – 2016-03-31
Project Status Completed (Fiscal Year 2015)
Budget Amount *help
¥1,700,000 (Direct Cost: ¥1,700,000)
Fiscal Year 2015: ¥800,000 (Direct Cost: ¥800,000)
Fiscal Year 2014: ¥900,000 (Direct Cost: ¥900,000)
Keywordsフリーキャリア効果 / 半導体物理 / ゲルマニウム / MOSトランジスタ / ナノデバイス / 電子物性 / 格子物性 / 縮退半導体
Outline of Annual Research Achievements

前年度はバンドギャップ狭化やフォノンのソフト化における不純物原子効果とフリーキャリア効果の区分けを行うことに注力していたが、今年度はフリーキャリア効果に着目するため、不純物濃度が1x1015 /cm3以下というほとんど真性のGeOI基板を用いた。この基板を用いてGeOI FETを作製し、バックゲート電圧を印加しながら表面側から分光測定を行うという「バイアスつき分光測定」を実施した。これにより、Geの結晶性や不純物濃度を変化させることなくフリーキャリア密度だけを制御できるため、バンドギャップやフォノン周波数のフリーキャリア密度依存性を直接測定することができる。
その結果、Ge薄膜内に正孔を蓄積させると、バンドギャップ狭化とフォノンのソフト化の両方が起きることが分かった。そして、これらの現象は結合描像の考え方により理解できることを示した。すなわち、共有結合に正孔を導入すると、結合が誘電遮蔽されることにより結合ギャップ、したがってバンドギャップが狭化されることになる。また、結合が弱まることによって原子間のばね定数が小さくなり、これによりフォノン周波数は減少する。この結合描像の考え方は直観的でありながら電子系と格子系の両方を記述できるものであり、さらにナノスケール化されている現代のFETにおいては、このような一つ一つの結合に着目したモデルの優位性はより増すと考えている。一方で、Ge薄膜中に電子を蓄積させた際には、バンドギャップ狭化は起きるもののフォノン周波数には有意な変化が見られないことが分かった。この結果に関しては、先行研究において提唱されていた再分配モデルの考え方を援用し、時定数の概念を導入することで理解可能であることを示した。さらに、正孔や電子という両方の効果について、密度汎関数理論に基づいた第一原理計算を行うことによって、上記のモデルの妥当性を検証することができた。

Research Progress Status

27年度が最終年度であるため、記入しない。

Strategy for Future Research Activity

27年度が最終年度であるため、記入しない。

Report

(2 results)
  • 2015 Annual Research Report
  • 2014 Annual Research Report
  • Research Products

    (14 results)

All 2016 2015 2014

All Journal Article (4 results) (of which Peer Reviewed: 4 results,  Open Access: 1 results,  Acknowledgement Compliant: 2 results) Presentation (10 results) (of which Int'l Joint Research: 3 results)

  • [Journal Article] Experimental evidence of zone-center optical phonon softening by accumulating holes in thin Ge2016

    • Author(s)
      Shoichi Kabuyanagi, Tomonori Nishimura, Takeaki Yajima and Akira Toriumi
    • Journal Title

      AIP Advances

      Volume: 6 Issue: 1

    • DOI

      10.1063/1.4941072

    • Related Report
      2015 Annual Research Report
    • Peer Reviewed / Open Access / Acknowledgement Compliant
  • [Journal Article] Gate-Bias Dependent Phonon Softening Observed in Ge MOSFETs2015

    • Author(s)
      Shoichi Kabuyanagi, Tomonori Nishimura, Takeaki Yajima and Akira Toriumi
    • Journal Title

      ECS Transactions

      Volume: 69

    • Related Report
      2015 Annual Research Report
    • Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant
  • [Journal Article] Non-destructive Characterization of Oxide/germanium Interface by Direct-gap Photoluminescence Analysis2015

    • Author(s)
      S. Kabuyanagi, T. Nishimura, T. Yajima and A. Toriumi
    • Journal Title

      Applied Physics Express

      Volume: 8 Issue: 5 Pages: 051301-051303

    • DOI

      10.7567/apex.8.051301

    • Related Report
      2014 Annual Research Report
    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Impacts of oxygen passivation on poly-crystalline germanium thin film transistor2014

    • Author(s)
      S. Kabuyanagi, T. Nishimura, K. Nagashio and A. Toriumi
    • Journal Title

      Thin Solid Films

      Volume: 557 Pages: 334-337

    • DOI

      10.1016/j.tsf.2013.11.133

    • Related Report
      2014 Annual Research Report
    • Peer Reviewed
  • [Presentation] Geにおける正孔と電子のフォノン周波数に対する影響の違い2016

    • Author(s)
      株柳 翔一
    • Organizer
      第63回応用物理学会春季学術講演会
    • Place of Presentation
      大岡山
    • Year and Date
      2016-03-20
    • Related Report
      2015 Annual Research Report
  • [Presentation] Effects of free-carriers on rigid band and bond descriptions in germanium - Key to designing and modeling in Ge nano-devices -2015

    • Author(s)
      Shoichi Kabuyanagi
    • Organizer
      2015 IEEE International Electron Devices Meeting
    • Place of Presentation
      Washington D.C.
    • Year and Date
      2015-12-09
    • Related Report
      2015 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Gate-Bias Dependent Phonon Softening Observed in Ge Mosfets2015

    • Author(s)
      Shoichi Kabuyanagi
    • Organizer
      228th ECS Meeting
    • Place of Presentation
      Phoenix
    • Year and Date
      2015-10-13
    • Related Report
      2015 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Direct Evidence of Freecarrier Induced Bandgap Narrowing in Ge2015

    • Author(s)
      Shoichi Kabuyanagi
    • Organizer
      2015 International Conference on Solid State Devices and Materials
    • Place of Presentation
      Sapporo
    • Year and Date
      2015-09-29
    • Related Report
      2015 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] フリーキャリア密度に依存したGeの電子物性およびフォノン物性2015

    • Author(s)
      株柳 翔一
    • Organizer
      第76回応用物理学会秋季学術講演会
    • Place of Presentation
      名古屋
    • Year and Date
      2015-09-16
    • Related Report
      2015 Annual Research Report
  • [Presentation] Validity of Direct-gap Photoluminescence Analysis for Nondestructive Characterization of Oxide/Germanium Interface2015

    • Author(s)
      S. Kabuyanagi, T. Nishimura, T. Yajima, K. Nagashio and A. Toriumi
    • Organizer
      International Conference on Solid State Devices and Materials
    • Place of Presentation
      筑波、つくば国際会議場
    • Year and Date
      2015-09-09 – 2015-09-11
    • Related Report
      2014 Annual Research Report
  • [Presentation] Non-destructive Characterization of Oxide/Ge Interface by Photoluminescence Measurement2015

    • Author(s)
      S. Kabuyanagi, T. Nishimura, T. Yajima and A. Toriumi
    • Organizer
      応用物理学会春季学術講演会
    • Place of Presentation
      平塚、東海大学
    • Year and Date
      2015-03-11 – 2015-03-14
    • Related Report
      2014 Annual Research Report
  • [Presentation] Phonon-softening in Germanium by Free Carrier Accumulation -Experimental Distinction between Impurity and Free Carrier Effect-2015

    • Author(s)
      S. Kabuyanagi, T. Nishimura, T. Yajima and A. Toriumi
    • Organizer
      応用物理学会春季学術講演会
    • Place of Presentation
      平塚、東海大学
    • Year and Date
      2015-03-11 – 2015-03-14
    • Related Report
      2014 Annual Research Report
  • [Presentation] 電子濃度および界面の境界条件に強く依存したGeの電子構造2015

    • Author(s)
      株柳 翔一, 西村 知紀, 矢嶋 赳彬, 鳥海 明
    • Organizer
      ゲートスタック研究会
    • Place of Presentation
      三島、東レ研修センター
    • Year and Date
      2015-01-30 – 2015-01-31
    • Related Report
      2014 Annual Research Report
  • [Presentation] Study of Raman Peak Shift in Heavily Doped Germanium - A new research opportunity using ultra-thin GeOI2015

    • Author(s)
      S. Kabuyanagi, T. Nishimura, T. Yajima and A. Toriumi
    • Organizer
      8th International WorkShop on New Group IV Semiconductor Nanoelectronics and JSPS Core-to-Core Program Joint Seminar
    • Place of Presentation
      仙台、東北大学
    • Year and Date
      2015-01-29 – 2015-01-30
    • Related Report
      2014 Annual Research Report

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Published: 2015-01-22   Modified: 2024-03-26  

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