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不錆高強度の鋼炭化物適用のマイクロファブリケーションの萌芽研究

Research Project

Project/Area Number 15656033
Research Category

Grant-in-Aid for Exploratory Research

Allocation TypeSingle-year Grants
Research Field Production engineering/Processing studies
Research InstitutionIbaraki University

Principal Investigator

江田 弘  茨城大学, 工学部, 教授 (60007995)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 谷山 久法  茨城工業高等専門学校, 機械工学科, 教授 (80110211)
周 立波  茨城大学, 工学部, 助教授 (90235705)
清水 淳  茨城大学, 工学部, 講師 (40292479)
尾嶌 裕隆  茨城大学, 工学部, 助手 (90375361)
Project Period (FY) 2003 – 2004
Project Status Completed (Fiscal Year 2004)
Budget Amount *help
¥3,100,000 (Direct Cost: ¥3,100,000)
Fiscal Year 2004: ¥900,000 (Direct Cost: ¥900,000)
Fiscal Year 2003: ¥2,200,000 (Direct Cost: ¥2,200,000)
Keywords炭素鋼 / セメンタイト / 引っかき / 電子顕微鏡 / 塑性変形 / き裂 / エッチング
Research Abstract

本研究は、不錆高強度の鋼炭化物であるセメンタイトを利用し、マイクロ機械要素等を製作する際に必要となる加工の基礎データを収集することを目的とする。
平成16年度は、セメンタイトをマイクロ機械加工あるいはマイクロ部品として用いるときの変形破壊挙動の検討として、セメンタイトのみを引っかくよう、試料の処理を改善し、電子顕微鏡内マイクロ引っかき実験を行なった。得られた成果を以下に示す。
1 試験片の熱処理工程やエッチング条件を的確に選定し、セメンタイトが試料表面に30μmほど比較的大きく突き出た過共析鋼試料を準備し、セメンタイトのみを引っかく実験を実現した。そして、セメンタイトの厚みが減少するにつれて、腐食の深い試料による微小引っかきの有効性を明らかにした。
2 層状セメンタイトが試料表面に対して垂直方向に成長している場合、引っかき方向に対して約90°に交わる方向に最初の亀裂が発生し、試料表面に対して水平方向に成長しているセメンタイトは、引っかき方向に最初の亀裂が発生することを明らかにした。
3 初析セメンタイトの微小引っかき実験において、塑性変形のみならず、脆性破壊までを観察することに成功した。
4 球状セメンタイトの微小引っかき実験により、弾性変形・塑性変形・切削除去している変形挙動を観察することができた。
5 本研究により、引っかきにおけるセメンタイトとフェライトの破壊形態や基礎力学特性を明らかにした。これは、マイクロ部品やマイクロデバイスを製作する際の重要なデータベースとなる有用なデータである。

Report

(2 results)
  • 2004 Annual Research Report
  • 2003 Annual Research Report
  • Research Products

    (28 results)

All 2005 2004 2003 Other

All Journal Article (13 results) Book (1 results) Patent(Industrial Property Rights) (2 results) Publications (12 results)

  • [Journal Article] パターンウエハの平坦化シミュレーション(モデルの理論構築)2005

    • Author(s)
      周 立波, 大久保瞳, 清水 淳, 江田 弘
    • Journal Title

      日本機械学会論文集C編 71・702

    • NAID

      110006264589

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      2004 Annual Research Report
  • [Journal Article] 高温高速液滴による皮膜形成素過程の分子動力学解析 (液滴の偏平過程と原子挙動)2005

    • Author(s)
      清水 淳, 大村悦二, 小林圭史, 清島祥一, 江田 弘
    • Journal Title

      日本機械学会論文集(C編) 71・701

      Pages: 298-303

    • NAID

      110006264528

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      2004 Annual Research Report
  • [Journal Article] Application of Molecular Dynamics Simulation in Micro/Nano Tribology2004

    • Author(s)
      H.Eda, J.Shimizu
    • Journal Title

      Japanese J.of Tribology 49・3

      Pages: 223-232

    • NAID

      10013113666

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      2004 Annual Research Report
  • [Journal Article] マイクロ・ナノトライボロジーにおける分子動力学 シミュレーションの適用2004

    • Author(s)
      江田 弘, 清水 淳
    • Journal Title

      トライボロジスト 49・6

      Pages: 466-472

    • NAID

      10013113666

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      2004 Annual Research Report
  • [Journal Article] Automated Cell Manipulation System by Use of Visual Information2004

    • Author(s)
      L.Zhou, Z.Qiu, K.Nishida, T.Ishikawa, J.Shimizu, H.Eda
    • Journal Title

      Proceedings of 4th International Workshop on Microfactories

      Pages: 152-159

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  • [Journal Article] Development of Recycling Type Filtration Machine by Means of Solid-Liquid Automation Separation System for Machining Fluids2004

    • Author(s)
      H.Eda, Y.Tomita, J.Shimizu
    • Journal Title

      Proc.of the Global Symposium on Recycling, Waste Treatment and Clean Technology (REWAS'2004), Spain

      Pages: 1999-2008

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  • [Journal Article] Simulation on Planarization Process of Device Wafer2004

    • Author(s)
      L.Zhou, H.Ohkubo, J.Shimizu, H.Eda
    • Journal Title

      Proc.of the 3rd Int. Conf.and Exhibition on Design and Production of Dies and Molds 7th Int.Symposium on Advances in Abrasive Technology, (ISAAT 2004), Turkey

      Pages: 393-396

    • NAID

      110002512007

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      2004 Annual Research Report
  • [Journal Article] Finish Grinding Conditions for Optimum Physical Properties and Metallurgic Structure in High-Temperature Rolling of Stainless Steels2004

    • Author(s)
      H.Eda, Y.Tomita, J.Shimizu
    • Journal Title

      Proc.of the 2nd Int.Conf.on Thermomechanical Processing of Steels (TMP 2004), Liege, Belgium

      Pages: 387-394

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      2004 Annual Research Report
  • [Journal Article] Development of Cell Manipulation System under Microscope2004

    • Author(s)
      Z.Qiu, L.Zhou, K.Nishida, J.Shimizu.H.Eda, T.Ishikawa
    • Journal Title

      Proceedings of 1st Int'l Conference on Precision Technology

      Pages: 457-461

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  • [Journal Article] Development of Manipulation System for Bio-applications2004

    • Author(s)
      L.Zhou, K.Nishida, Z.Qiu, J.Shimizu, H.Eda, T.Ishikawa
    • Journal Title

      Proceedings of 4th euspen International conference

      Pages: 165-166

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      2004 Annual Research Report
  • [Journal Article] Simulation on Effects of Ultra High-Frequency Vibration for Nanomachining,2004

    • Author(s)
      J.Shimizu, H.Tanaka, L.Zhou, H.Eda
    • Journal Title

      Proceedings of 4th euspen International conference

      Pages: 113-114

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  • [Journal Article] Molecular Dynamics Simulation on Flattening Process of a High-Temperature and High-Speed Droplet2004

    • Author(s)
      J.Shimizu, E.Ohmura, Y.Kobayashi, S.Kiyoshima, H.Eda
    • Journal Title

      Proc.Int.Thermal Spray Conf., (ITSC'2004), Osaka (CD-ROM)

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      2004 Annual Research Report
  • [Journal Article] Molecular Dynamics Analysis of Sliding Friction and Wear Mechanism - Behaviors of Zero Wear-Wear Transition Regions -2003

    • Author(s)
      J.Shimizu, H.Eda, L.Zhou
    • Journal Title

      Japanese J.of Tribology 48・5

      Pages: 437-452

    • NAID

      10011734712

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      2004 Annual Research Report
  • [Book] 超精密加工と非球面加工/「1.5章:大口径シリコンウエハの超精密研削」(分担)2004

    • Author(s)
      周 立波(分担)
    • Total Pages
      418
    • Publisher
      NTS
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  • [Patent(Industrial Property Rights)] 姿勢制御装置および精密加工装置2004

    • Inventor(s)
      江田 弘, 周 立波, 神谷 純生, 岩瀬 久雄
    • Industrial Property Rights Holder
      トヨタ自動車
    • Industrial Property Number
      2004-379810
    • Filing Date
      2004-12-28
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      2004 Annual Research Report
  • [Patent(Industrial Property Rights)] 精密加工装置および精密加工方法2004

    • Inventor(s)
      江田 弘, 周 立波, 神谷 純生, 岩瀬 久雄
    • Industrial Property Rights Holder
      トヨタ自動車
    • Industrial Property Number
      2004-380782
    • Filing Date
      2004-12-28
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      2004 Annual Research Report
  • [Publications] J.Shimizu, H.Tanaka, L.Zhou, H.Eda: "Molecular Dynamics Analysis of Ultra High-Acceleration and Vibration Cutting"Key Engineering Materials. 257-258. 21-26 (2004)

    • Related Report
      2003 Annual Research Report
  • [Publications] L.Zhou, J.Shimizu, H.Eda: "Axisymmetric Aspherical-form Generation for Large Diameter Optical Components"Key Engineering Materials. 257-258. 101-106 (2004)

    • Related Report
      2003 Annual Research Report
  • [Publications] H.Eda, T.Ishikawa, Y.Tomita, Y.Yamamoto, L.Zhou, T.Kawakami, J.Shimizu: "Development of Biological-Micro-Manipulation System in Scanning Electron Microscope"Proc.of 2003 Int.Symposium on Micromechatronics and Human Science. 211-214 (2003)

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      2003 Annual Research Report
  • [Publications] T.Ishikawa, H.Eda, Y.Yamamoto, T.Kawakami, L.Zhou, J.Shimizu: "Manipulation of the Universal Rotational Mechanism for Biological Application"Proc.of 2003 Int.Symposium on Micromechatronics and Human Science. 309-315 (2003)

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      2003 Annual Research Report
  • [Publications] 清水 淳, 江田 弘, 周 立波: "すべり摩擦・摩耗機構の分子動力学解析-ゼロ摩耗-摩耗遷移領域の挙動-"トライボロジスト. 48・9. 741-751 (2003)

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      2003 Annual Research Report
  • [Publications] 谷山久法, 江田 弘, 清水 淳, 周 立波, 中沢由加里: "金属粒子適用マイクロファブリケーションの基礎的研究-第1報:鋼の微小引っかきに及ぼす第2相合金の影響-"砥粒加工学会誌. 48・9. 263-268 (2003)

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  • [Publications] 佐川克雄, 江田 弘, 周 立波, 清水 淳, 白石昌武: "φ300シリコンウエハ超精密研削加工シミュレーション"砥粒加工学会誌. 47・8. 440-445 (2003)

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      2003 Annual Research Report
  • [Publications] J.Shimizu, H.Tanaka, L.Zhou, H.Eda: "Molecular Dynamics Simulation of Material Removal Mechanism beyond Propagation Speed of Plastic Wave"Proc.of int.Conf.on Leading Edge Manufacturing in 21st Century. 309-315 (2003)

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  • [Publications] L.Zhou, S.Kawai, S.Kimura, J.Shimizu, H.Eda: "Development of Chemo-Mechanical Grinding (CMG) Process"Proc.of Int.Conf.on Leading Edge Manufacturing in 21st Century. 47・8. 440-445 (2003)

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  • [Publications] H.Huang, L.Ying, L.Zhou: "High Speed Grinding of Silicon Nitride with Resin Bond Diamond Wheels"Journal of Materials Processing Technology. 141・3. 329-336 (2003)

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  • [Publications] L.Zhou, K.Shinohara, J.Shimizu, H.Eda: "Material Removal Mechanism Beyond Plastic Wave Propagation Rate"Precision Engineering. 27・2. 109-116 (2003)

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  • [Publications] L.Zhou, J.Shimizu, A.Muroya, H.Eda: "Three Dimensional Kinematical Analyses for Surface Grinding of Large Scale Substrate"Precision Engineering. 27・2. 175-184 (2003)

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Published: 2003-04-01   Modified: 2016-04-21  

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