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表面プラズモンを用いた可変カラーフィルタの製作

Research Project

Project/Area Number 15J06109
Research Category

Grant-in-Aid for JSPS Fellows

Allocation TypeSingle-year Grants
Section国内
Research Field Electron device/Electronic equipment
Research InstitutionToyohashi University of Technology

Principal Investigator

本間 浩章  豊橋技術科学大学, 工学研究科, 特別研究員(DC2)

Project Period (FY) 2015-04-24 – 2017-03-31
Project Status Declined (Fiscal Year 2016)
Budget Amount *help
¥1,900,000 (Direct Cost: ¥1,900,000)
Fiscal Year 2016: ¥900,000 (Direct Cost: ¥900,000)
Fiscal Year 2015: ¥1,000,000 (Direct Cost: ¥1,000,000)
Keywords表面プラズモン / 可変プラズモニックカラーフィルタ / MEMS
Outline of Annual Research Achievements

本研究では、金属ナノ格子と周期構造を制御するMEMSアクチュエータの一体化により、表面プラズモン異常透過の励起波長の連続可変制御を達成した。
周期500 nmのアルミ格子と静電アクチュエータを微小バネにより接続し基板貫通孔上に配置した表面プラズモン可変フィルタを設計,製作した。静電アクチュエータに印加される駆動電圧を0 Vから60 Vへ増加させることで、静電アクチュエータの横変位が得られアルミ格子の周期は500 nmから642 nmへ拡張された。これにより、表面プラズモンの励起波長は周期に依存するため可視域において124 nmの連続シフトが得られた。また、可変フィルタからの透過光の色度は、電圧の増加に伴い円を描き色度図上をシフトした。
これらの結果はMEMSアクチュエータによる表面プラズモン励起波長の連続制御に成功したことを示しており,周囲の誘電率を変化させる既存の方法と比較し帯域が広く、100 nm以上の連続シフトを可視域に与えることに成功した。また、色度の変化は透過光の色変化を表しており、可視域の全色を電圧制御により選択的に透過させる機能を持つ可能性を示した。
さらに、彩度向上のため、表面プラズモン異常透過を強める金属と誘電体の中空積層格子をMEMSアクチュエータと一体化した可変プラズモニックカラーフィルタを提案した。予備検討として、アルミとシリコン酸化膜の積層格子を基板貫通孔上に配置した中空プラズモニックカラーフィルタを製作し、励起波長における90%以上の透過率を実現した。
よって、1素子で複数の波長帯域を選択的に透過させる可変プラズモニックカラーフィルタの実現の見通しが立ったと言える.これは、表示素子に限らず1 μm以下の微小領域においてカラースペクトルを得ることも可能になると予想され、バイオ・メディカル分野に新たな知見を与えることが期待できる.

Research Progress Status

翌年度、交付申請を辞退するため、記入しない。

Strategy for Future Research Activity

翌年度、交付申請を辞退するため、記入しない。

Report

(1 results)
  • 2015 Annual Research Report
  • Research Products

    (9 results)

All 2016 2015

All Journal Article (2 results) (of which Peer Reviewed: 2 results,  Acknowledgement Compliant: 1 results) Presentation (7 results) (of which Int'l Joint Research: 4 results)

  • [Journal Article] Continuously controlled excitation wavelength of surface plasmons by nanomechanical stretched subwavelength grating2016

    • Author(s)
      H. Honma, K. Takahashi, M. Ishida, and K. Sawada
    • Journal Title

      Applied Physics Express

      Volume: 9 Issue: 2 Pages: 027201-027201

    • DOI

      10.7567/apex.9.027201

    • Related Report
      2015 Annual Research Report
    • Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant
  • [Journal Article] Fabrication of free-standing subwavelength metal-insulator-metal gratings using high aspect ratio nanoimprint techniques2016

    • Author(s)
      H. Honma, Masato Mitsudome, Shintaro Itoh, Makoto Ishida, Kazuaki Sawada, and Kazuhiro Takahashi
    • Journal Title

      Japan Journal of Applied Physics

      Volume: 55

    • Related Report
      2015 Annual Research Report
    • Peer Reviewed
  • [Presentation] Widely tunable plasmonic bandpass filter integrated with Al subwavelength grating and comb-drive actuators2016

    • Author(s)
      H. Honma, K. Takahashi, M. Ishida, and K. Sawada
    • Organizer
      Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology 2016
    • Place of Presentation
      金沢,日本
    • Year and Date
      2016-06-26
    • Related Report
      2015 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Highly transmissive plasmonic color filter by free-standing metal-insulator-metal subwavelength grating2016

    • Author(s)
      M. Mitsudome, H. Honma, S. Itoh, M. Ishida, K. Sawada, and K. Takahashi
    • Organizer
      The 11th Annual IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems 2016
    • Place of Presentation
      宮城,日本
    • Year and Date
      2016-04-17
    • Related Report
      2015 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] MEMS技術による表面プラズモン異常透過現状の励起波長連続可変制御2016

    • Author(s)
      本間浩章,高橋一浩,石田誠,澤田和明
    • Organizer
      第63回応用物理学会春季学術講演会
    • Place of Presentation
      東京,日本
    • Year and Date
      2016-03-19
    • Related Report
      2015 Annual Research Report
  • [Presentation] Fabrication of metal-insulator-metal sub-micron gratings by high aspect ratio nanoimprint2015

    • Author(s)
      M. Mitsudome, H. Honma, S. Itoh, M. Ishida, K. Sawada, and K. Takahashi
    • Organizer
      International Microprocesses and Nanotechcology Conference 2015
    • Place of Presentation
      富山,日本
    • Year and Date
      2015-11-10
    • Related Report
      2015 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] 金属ナノ周期構造を利用したプラズモニックカラーシートの製作2015

    • Author(s)
      熊谷隼人,本間浩章,石田誠,澤田和明,高橋一浩
    • Organizer
      電子情報通信学会 電子デバイス研究会
    • Place of Presentation
      東京,日本
    • Year and Date
      2015-08-03
    • Related Report
      2015 Annual Research Report
  • [Presentation] 静電櫛歯アクチュエータを用いた表面プラズモン可変カラーフィルタの製作2015

    • Author(s)
      本間浩章,高橋一浩,石田誠,澤田和明
    • Organizer
      電気学会 センサ・マイクロマシン部門 平成27年度総合研究会
    • Place of Presentation
      福岡,日本
    • Year and Date
      2015-07-02
    • Related Report
      2015 Annual Research Report
  • [Presentation] Fabrication of tunable plasmonic color filter using Al subwavelength grating integrated with electrostatic comb-drive actuator2015

    • Author(s)
      H. Honma, K. Takahashi, M. Ishida, and K. Sawada
    • Organizer
      International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Transducers 2015
    • Place of Presentation
      アラスカ,アメリカ
    • Year and Date
      2015-06-21
    • Related Report
      2015 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research

URL: 

Published: 2015-11-26   Modified: 2024-03-26  

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