| Project/Area Number |
15K13317
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
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| Allocation Type | Multi-year Fund |
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| Research Field |
Nano/Microsystems
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| Research Institution | The University of Tokyo |
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Principal Investigator |
前田 悦男 東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 助教 (60644599)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
米谷 玲皇 東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 講師 (90466780)
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| Project Period (FY) |
2015-04-01 – 2018-03-31
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| Project Status |
Discontinued (Fiscal Year 2016)
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| Budget Amount *help |
¥3,900,000 (Direct Cost: ¥3,000,000、Indirect Cost: ¥900,000)
Fiscal Year 2017: ¥910,000 (Direct Cost: ¥700,000、Indirect Cost: ¥210,000)
Fiscal Year 2016: ¥1,300,000 (Direct Cost: ¥1,000,000、Indirect Cost: ¥300,000)
Fiscal Year 2015: ¥1,690,000 (Direct Cost: ¥1,300,000、Indirect Cost: ¥390,000)
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| Keywords | 表面増強ラマン散乱 / ナノマイクロ光デバイス / プラズモニック構造 |
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| Outline of Annual Research Achievements |
今年度の目標は集束イオンビーム励起表面反応堆積技術を用いたメタサーフェスの雛形試作および傾斜回転ステージを組込んだスパッタ装置を用いた金のコンフォーマル積層であった。
収束イオンビーム励起表面反応堆積技術を用いて設計したメタサーフェスの雛形を試作した。FIB-CVDを用いることで、nmオーダの構造を比較的簡便に試作することができる。雛形の材料としては、フェナントレンを原料ガスとしたDLC（diamond-like carbon）を用いた。FIB-CVDは所属機関所有の装置を用いて行った。
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| Current Status of Research Progress |
Current Status of Research Progress
2: Research has progressed on the whole more than it was originally planned.
Reason
昨年度の論文出版ののち、国際会議にて発表している。
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| Strategy for Future Research Activity |
昨年度得られた基板平面内の光束誘導については、さらなる検討が必要であることがわかった。また、試作用機器として集束イオンビーム加工装置だけでなく、ヘリウムイオン顕微鏡を用いることを検討している。
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