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Development of Micro Cilium Actuators in Group

Research Project

Project/Area Number 16078206
Research Category

Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas

Allocation TypeSingle-year Grants
Review Section Science and Engineering
Research InstitutionTokyo Institute of Technology

Principal Investigator

IWATSUKI Nobuyuki  Tokyo Institute of Technology, 大学院・理工学研究科, 教授 (70193753)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) MORIKAWA Koichi  東京工業大学, 大学院・理工学研究科, 助教 (00282830)
Project Period (FY) 2004 – 2008
Project Status Completed (Fiscal Year 2008)
Budget Amount *help
¥48,600,000 (Direct Cost: ¥48,600,000)
Fiscal Year 2008: ¥6,400,000 (Direct Cost: ¥6,400,000)
Fiscal Year 2007: ¥6,200,000 (Direct Cost: ¥6,200,000)
Fiscal Year 2006: ¥12,300,000 (Direct Cost: ¥12,300,000)
Fiscal Year 2005: ¥9,100,000 (Direct Cost: ¥9,100,000)
Fiscal Year 2004: ¥14,600,000 (Direct Cost: ¥14,600,000)
Keywords圧電アクチュエータ / マイクロアクチュエータ / マイクロマシン / 知能機械 / 運動制御 / 群の制御 / 共振駆動 / 繊毛アクチュエータ群 / 水熱合成法 / パイプモルフアクチュエータ / 静電植毛法 / ニッケルめっき / はんだぬれ性 / 繊毛運動 / アクチュエータ群 / ニッケルメッキ / パルプモルフアクチュエータ / 電極形成
Research Abstract

実用的なマイクロ/ナノマシンに利用可能な人工のマイクロ繊毛アクチュエータ群の開発を目的とし, はんだ付け静電植毛法と電気ニッケルめっきによるチタン製内部電極群の配向整列接合, 水熱合成法による圧電セラミクス薄膜形成, マスキング利用真空蒸着法による選択的外部電極形成の主要製造プロセスを明らかにしてマイクロ繊毛アクチュエータ群の試作に成功し, 駆動実験を行って, アクチュエータの共振駆動ならびにマイクロ搬送機に適用し, 6mm四方の微小シートの搬送に成功した.

Report

(6 results)
  • 2008 Annual Research Report   Final Research Report ( PDF )
  • 2007 Annual Research Report
  • 2006 Annual Research Report
  • 2005 Annual Research Report
  • 2004 Annual Research Report
  • Research Products

    (56 results)

All 2009 2008 2007 2006 2005 Other

All Journal Article (25 results) (of which Peer Reviewed: 8 results) Presentation (27 results) Remarks (4 results)

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  • [Presentation] Development of Micro Ciliary Actuators in Group2006

    • Author(s)
      Nobuyuki Iwatsuki, Koichi Morita, Kenjiro Morita
    • Organizer
      1st International Symposium on Next-Generation Actuators Leading Breakthrough
    • Place of Presentation
      幕張プリンスホテル
    • Year and Date
      2006-04-20
    • Related Report
      2008 Final Research Report
  • [Presentation] マイクロ繊毛アクチュエータ群の研究2005

    • Author(s)
      岩附信行, 森川広一
    • Organizer
      文部科学省科学研究費補助金特定領域研究「ブレイクスルーを生み出す次世代アクチュエータ研究」第2回公開シンポジウム
    • Place of Presentation
      岡山大学創立50周年記念館
    • Year and Date
      2005-12-02
    • Related Report
      2008 Final Research Report
  • [Presentation] マイクロ繊毛アクチュエータ群の研究2005

    • Author(s)
      岩附信行, 森川広一
    • Organizer
      文部科学省科学研究費補助金特定領域研究「ブレイクスルーを生み出す次世代アクチュエータ研究」第1回公開シンポジウム
    • Place of Presentation
      東京工業大学
    • Year and Date
      2005-01-25
    • Related Report
      2008 Final Research Report
  • [Remarks]

    • URL

      http://www.dynamics.mep.titech.ac.jp/japanese/index.html

    • Related Report
      2008 Final Research Report
  • [Remarks]

    • URL

      http://yokota-www.pi.titech.ac.jp/index-A.html

    • Related Report
      2008 Final Research Report
  • [Remarks]

    • URL

      http://www.dynamics.mep.titech.ac.jp/japanese/index.html

    • Related Report
      2008 Annual Research Report
  • [Remarks]

    • URL

      http://www.dynamics.mep.titech.ac.jp/japanese/index.html

    • Related Report
      2007 Annual Research Report

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Published: 2004-04-01   Modified: 2018-03-28  

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