Development of Micro Cilium Actuators in Group
| Project/Area Number |
16078206
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
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| Allocation Type | Single-year Grants |
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| Review Section |
Science and Engineering
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| Research Institution | Tokyo Institute of Technology |
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Principal Investigator |
IWATSUKI Nobuyuki Tokyo Institute of Technology, 大学院・理工学研究科, 教授 (70193753)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
MORIKAWA Koichi 東京工業大学, 大学院・理工学研究科, 助教 (00282830)
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| Project Period (FY) |
2004 – 2008
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| Project Status |
Completed (Fiscal Year 2008)
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| Budget Amount *help |
¥48,600,000 (Direct Cost: ¥48,600,000)
Fiscal Year 2008: ¥6,400,000 (Direct Cost: ¥6,400,000)
Fiscal Year 2007: ¥6,200,000 (Direct Cost: ¥6,200,000)
Fiscal Year 2006: ¥12,300,000 (Direct Cost: ¥12,300,000)
Fiscal Year 2005: ¥9,100,000 (Direct Cost: ¥9,100,000)
Fiscal Year 2004: ¥14,600,000 (Direct Cost: ¥14,600,000)
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| Keywords | 圧電アクチュエータ / マイクロアクチュエータ / マイクロマシン / 知能機械 / 運動制御 / 群の制御 / 共振駆動 / 繊毛アクチュエータ群 / 水熱合成法 / パイプモルフアクチュエータ / 静電植毛法 / ニッケルめっき / はんだぬれ性 / 繊毛運動 / アクチュエータ群 / ニッケルメッキ / パルプモルフアクチュエータ / 電極形成 |
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| Research Abstract |
実用的なマイクロ/ナノマシンに利用可能な人工のマイクロ繊毛アクチュエータ群の開発を目的とし, はんだ付け静電植毛法と電気ニッケルめっきによるチタン製内部電極群の配向整列接合, 水熱合成法による圧電セラミクス薄膜形成, マスキング利用真空蒸着法による選択的外部電極形成の主要製造プロセスを明らかにしてマイクロ繊毛アクチュエータ群の試作に成功し, 駆動実験を行って, アクチュエータの共振駆動ならびにマイクロ搬送機に適用し, 6mm四方の微小シートの搬送に成功した.
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Report
(6 results)
Research Products
(56 results)
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[Presentation] Micro Cilium Actuators in Group2008
Author(s)
Nobuyuki Iwatsuki, Koichi Morikawa
Organizer
The 2nd International Symposium on Next-Generation Actuators Leading Breakthroughs
Place of Presentation
APA hotel Tokyo-bay
Year and Date
2008-04-17
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[Presentation] Micro Cilium Actuators in Group2007
Author(s)
Nobuyuki Iwatsuki, Koichi Morikawa
Organizer
Proc. of The 4th Public Symposium on Next-Generation Actuators Leading Breakthroughs
Place of Presentation
Okinawa International Convention Center
Year and Date
2007-11-19
Related Report
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[Presentation] Micro Cilium Actuators in Group2007
Author(s)
Nobuyuki Iwatsuki
Organizer
The 4th Public Symposium on Next-Generation Actuators Leading Breakthroughs
Place of Presentation
Okinawa International Convention Center, Naha, Okinawa
Year and Date
2007-11-19
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