| Budget Amount *help |
¥51,400,000 (Direct Cost: ¥51,400,000)
Fiscal Year 2008: ¥5,800,000 (Direct Cost: ¥5,800,000)
Fiscal Year 2007: ¥10,900,000 (Direct Cost: ¥10,900,000)
Fiscal Year 2006: ¥9,500,000 (Direct Cost: ¥9,500,000)
Fiscal Year 2005: ¥11,500,000 (Direct Cost: ¥11,500,000)
Fiscal Year 2004: ¥13,700,000 (Direct Cost: ¥13,700,000)
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| Research Abstract |
マイクロマシン技術の実用化にあたっては従来の寸法の機械とのギャップを埋める必要性がある.本研究では,アザラシ型機構を用いて物体を操作・観察するシステムを開発した.ビジュアルフィードバックにより操作対象物を位置決めした.要素技術として,真空中で移動するアザラシ型機構,電流パルスを用いた圧電アクチュエータの変位制御法,ナノメータ精度の位置決め機構,力覚デバイスのためのブレーキ機構についても検討した.
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