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レーザビームの電気光学偏光によるマイクロ波影像装置の開発

Research Project

Project/Area Number 16656038
Research Category

Grant-in-Aid for Exploratory Research

Allocation TypeSingle-year Grants
Research Field Materials/Mechanics of materials
Research InstitutionTohoku University

Principal Investigator

巨 陽  東北大学, 大学院・工学研究科, 助教授 (60312609)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 村岡 幹夫  秋田大学, 工学資源学部, 助教授 (50190872)
祖山 均  東北大学, 大学院・工学研究科, 教授 (90211995)
Project Period (FY) 2004 – 2005
Project Status Completed (Fiscal Year 2005)
Budget Amount *help
¥3,500,000 (Direct Cost: ¥3,500,000)
Fiscal Year 2005: ¥900,000 (Direct Cost: ¥900,000)
Fiscal Year 2004: ¥2,600,000 (Direct Cost: ¥2,600,000)
Keywordsマイクロ波 / レーザ / 電気光学結晶 / CCD検出器 / 電気光学効果 / 影像装置 / シリコンウェーハ / 導電率
Research Abstract

本研究は,被検査体を透過したマイクロ波ビームの電場分布を電気光学結晶に入力されたレーザビームの偏光に置き換えることによりマイクロ波影像を得る装置を開発し,被検査体の電磁物性分布を画像化することを目的とするものである。高分解能なマイクロ波影像をリアルタイムで取得可能な装置の開発,さらにその応用としてシリコンウェーハの導電率分布の非接触計測への実用化を図る。2年継続により,(I)マイクロ波影像装置の開発,(II)マイクロ波周波数及び電気光学結晶の最適化,(III)シリコンウェーハの導電率分布の定量評価,なる3項目の研究を推進し,目標を達成する。本年度は以下の実績を得た。
1.マイクロ波周波数及び電気光学結晶の最適化
マイクロ波周波数,及び電気光学結晶の種類を変化させ,それぞれにおけるマイクロ波影像を得ることにより,マイクロ波影像装置におけるマイクロ波周波数,及び電気光学結晶の種別の影響を調べ,最適化を行った。これにより,高分解能,高感度の影像を実現した。
2.シリコンウェーハの導電率分布の定量評価
上記の研究成果を踏まえ,マイクロ波影像装置の応用例として,シリコンウェーハの導電率分布の非接触計測を実施した。種々の加工条件により導電率分布の違うシリコンウェーハ試験片を用いて,試験片を透過したマイクロ波の電場分布をマイクロ波影像装置により測定し,試験片の導電率分布によって変化するマイクロ波の応答を計測した。さらにマイクロ波の応答と従来の接触型測定法により評価される試験片の導電率から,マイクロ波による導電率の定量評価式を生成し,シリコンウェーハの導電率分布の非接触リアルタイム計測を実現した。

Report

(2 results)
  • 2005 Annual Research Report
  • 2004 Annual Research Report
  • Research Products

    (12 results)

All 2006 2005 2004

All Journal Article (12 results)

  • [Journal Article] Novel AFM Probe for Local Conductivity Measurement2006

    • Author(s)
      B.-F.Ju, (Y.Ju, M.Saka)
    • Journal Title

      International Journal of Nanoscience (印刷中)

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      2005 Annual Research Report
  • [Journal Article] Contactless Measurement of Electrical Conductivity of Si Wafers Independent of Wafer Thickness2005

    • Author(s)
      Y.Ju, (Y.Hirosawa, H.Soyama, M.Saka)
    • Journal Title

      Applied Physics Letters 87・16

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  • [Journal Article] Evaluation of the Shape and Size of 3-D Cracks Using Microwaves2005

    • Author(s)
      Y.Ju, (M.Saka, Y.Uchimura)
    • Journal Title

      NDT and E International 38・8

      Pages: 726-731

    • Related Report
      2005 Annual Research Report
  • [Journal Article] Microscopic Four-Point Atomic Force Microscope Probe Technique for Local Electrical Conductivity Measurement2005

    • Author(s)
      Y.Ju, (B.-F.Ju, M.Saka)
    • Journal Title

      Review of Scientific Instruments 76・8

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      2005 Annual Research Report
  • [Journal Article] Fabrication of a Microscopic Fur-Point Probe and Its Application to Local Conductivity Measurement2005

    • Author(s)
      B.-F.Ju, (Y.Ju, M.Saka)
    • Journal Title

      Journal of Micromechanics And Microengineering 15・2

      Pages: 2277-2281

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      2005 Annual Research Report
  • [Journal Article] A Systematic Method for Characterizing the Elastic Properties and Adhesion of a Thin Polymer Membrane2005

    • Author(s)
      B.-F.Ju, (Y.Ju, M.Saka et al.)
    • Journal Title

      International Journal of Mechanical Sciences 47・3

      Pages: 319-332

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      2005 Annual Research Report
  • [Journal Article] マイクロ波による半導体材料の導電率の定量評価手法の開発2005

    • Author(s)
      巨 陽, (大野 悌, 祖山 均, 坂 真澄)
    • Journal Title

      日本AEM学会誌 (印刷中)

    • NAID

      110003829065

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    • Author(s)
      Y.Ju, (Y.Ohno, M.Saka, H.Abe)
    • Journal Title

      JSME International Journal (Ser.A) 47・3

      Pages: 294-297

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    • Author(s)
      M.Saka, (Y.Ju, Y.Uchimura, T.Miyadu)
    • Journal Title

      Key Engineering Materials 261-263

      Pages: 955-961

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    • Author(s)
      Y.Ju, (Y.Ohno, M.Saka, H.Abe)
    • Journal Title

      Key Engineering Materials 270-273

      Pages: 41-45

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    • Author(s)
      M.Saka, (T.Miyadu, Y.Ju)
    • Journal Title

      Key Engineering Materials 270-273

      Pages: 913-920

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  • [Journal Article] Electrical Characterization of Doped Silicon Using High-Frequency Electromagnetic Waves2004

    • Author(s)
      Y.Ju, (Y.Ohno, H.Soyama, M.Saka)
    • Journal Title

      Journal of Materials Science and Technology 20・S1

      Pages: 123-124

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      2004 Annual Research Report

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Published: 2004-04-01   Modified: 2016-04-21  

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