• Search Research Projects
  • Search Researchers
  • How to Use
  1. Back to previous page

コロッサル型磁気低抗効果のソフト磁性化

Research Project

Project/Area Number 16656193
Research Category

Grant-in-Aid for Exploratory Research

Allocation TypeSingle-year Grants
Research Field Physical properties of metals
Research InstitutionNagoya University

Principal Investigator

松井 正顯  名古屋大学, 大学院・工学研究科, 教授 (90013531)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 浅野 秀文  名古屋大学, 大学院・工学研究科, 助教授 (50262853)
Project Period (FY) 2004 – 2005
Project Status Completed (Fiscal Year 2005)
Budget Amount *help
¥3,000,000 (Direct Cost: ¥3,000,000)
Fiscal Year 2005: ¥1,100,000 (Direct Cost: ¥1,100,000)
Fiscal Year 2004: ¥1,900,000 (Direct Cost: ¥1,900,000)
Keywordsコロッサル型磁気抵抗効果 / ソフト磁性化 / ペロブスカイト型酸化物 / 微細加工 / 電子リソグラフィー
Research Abstract

1.前年度に作製したCMR薄膜の高品質La_<0.7>Sr_<0.3>MnO_3(LSMO)薄膜とNiFe膜の周期ギャップ型素子では、微細加工の際のアルゴンミリングによるLSMO膜の劣化により、電気抵抗が低温で10,000倍近くにまで増大し、温度特性が半導体的になってしまうことが判明した。しかし、その劣化は900〜1000℃のアニールでほぼ完全に回復することがわかった(高温アニール効果)。そこで、微細加工の中間段階でアニールができるように、微細加工プロセスを再構築したところ、素子においてもほぼ完全に特性が回復することができた(日本金属学会2006年春期講演会に発表)。
2.設計した周期ギャップ素子の場合においては、LSMO膜とNiFe膜の複合ハイブリッド膜としたとき、それらが両方とも強磁性体であるので、体積の大きい方の膜の磁気特性が優勢になりハイブリッド膜の磁気特性を支配することが分かったので、NiFe膜が優性になる磁化比を測定したところ、NiFe/LSMO>1.3とする必要があることが判明した。
3.フォトリソグラフィ法による周期ギャップ素子では、数ミクロンメートル幅のLSMOとNiFeを交互に埋め込んでおり、その際はLSMO薄膜の膜厚も数ミクロンメートル程度にしないと、アスペクト比が小さいために漏洩磁場効果が小さくなり、センサーとして使用することができないことが分かった。しかし、数ミクロンのLSMO厚膜を作製するのは困難であるので、LSMOのアスペくト比を改善するために電子リソグラフィー法を採用することにし、素子の設計と微細加工プロセスを構築した。
4.本研究の結果、当初目的のCMR効果の弱磁場化(ソフト化)には成功したが、それを使用して高感度素子にするためには、電子リソグラフィーを使用した微細加工が必要である。

Report

(2 results)
  • 2005 Annual Research Report
  • 2004 Annual Research Report
  • Research Products

    (8 results)

All 2006 2005

All Journal Article (8 results)

  • [Journal Article] アンドレーフ反射によるLa_<0.7>Sr_<0.3>MnO_3界面スピン分極率の測定2006

    • Author(s)
      今枝和正, 浅野秀文, 伊藤正康, 杉山幹人, 松井正顯
    • Journal Title

      日本用磁気学会誌 30(印刷中)

    • NAID

      110004718722

    • Related Report
      2005 Annual Research Report
  • [Journal Article] Sr_2FeMoO_6エピタキシャル薄膜の表面特性2006

    • Author(s)
      小塚規史, 浅野秀文, 今枝和正, 高橋祐介, 松井正顯
    • Journal Title

      日本応用磁気学会誌 30(印刷中)

    • NAID

      110004718723

    • Related Report
      2005 Annual Research Report
  • [Journal Article] Study on Magentoresistance for Trilayer with Pe_3O_4 Film2005

    • Author(s)
      A.Kida, K.Kodera, K.Ohmori, H.Asano, M.Matsui
    • Journal Title

      Materials Science Forum 475-479

      Pages: 2183-2286

    • Related Report
      2005 Annual Research Report
  • [Journal Article] 高品質Co_2MnX(X=Si, Ge)薄膜の作製とその強磁性トンネル接合の特性2005

    • Author(s)
      竹田陽一, 角田航介, 大森和彦, 浅野秀文, 松井正顯
    • Journal Title

      日本応用磁気学会誌 29

      Pages: 282-285

    • NAID

      110002811785

    • Related Report
      2005 Annual Research Report
  • [Journal Article] Magnetic and Junction Properties of Half-Metallic Double-Perovskite Thin Films2005

    • Author(s)
      H.Asano, N.Kozuka, K.Imaeda, M.Sugiyama, M.Matsui
    • Journal Title

      IEEE Transaction on Magnetism 41

      Pages: 2811-2813

    • Related Report
      2005 Annual Research Report
  • [Journal Article] Growth and properties of half-metallic double perovskite thin films2005

    • Author(s)
      H.Asano, N.Kozuka, M.Sugiyama, M.Matsui
    • Journal Title

      Materials Science Forum 475・479巻

      Pages: 2197-2202

    • Related Report
      2004 Annual Research Report
  • [Journal Article] Electron Microscopy of La_<0.7>Ca_<0.3>MnO_32005

    • Author(s)
      M.Arita, K.Hamada, M.Matsui, 他3名
    • Journal Title

      Jpn.J.of Appl.Phys 44

      Pages: 304-308

    • NAID

      10014322530

    • Related Report
      2004 Annual Research Report
  • [Journal Article] アンドレーフ反射による強磁性体接合界面のスピン分極率測定2005

    • Author(s)
      今枝和正, 浅野秀文, 伊藤正康, 杉山幹人, 小塚規史, 松井正顯
    • Journal Title

      日本応用磁気学会誌 29(印刷中)

    • NAID

      10013768996

    • Related Report
      2004 Annual Research Report

URL: 

Published: 2004-04-01   Modified: 2016-04-21  

Information User Guide FAQ News Terms of Use Attribution of KAKENHI

Powered by NII kakenhi