Research Project
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
本年度は、SPring-8 BL47XUにおいて、定量的なデータを取得するための、標準物質のCT撮影などを行った。試料の調整は、昨年度購入した小型自動研磨機や本年度購入した真空加熱脱泡装置を用いておこなわれた。昨年度問題となっていた、7-10keVの領域におけるデータの質の低下は、光軸パスを改善し、照射X線のエネルギー特性を調整することにより軽減され、ほぼ定量的なデータを取得することに成功した。これらの測定において、膨大な画像データを取得するため、大容量のHDDや画像処理システムを、本年度新たに整備した。また、安定したデータを迅速に取得する必要があることから、検出器のアップグレードなど測定システムの改造も行われ、測定時間の短縮が図られた。測定時間は1/5程度に短縮され、統計的なデータを取得することも現実的となってきた。これらの装置により達成された空間分解能は、約1μmである。濃度分解能は10%程度の吸収係数の差を見分けられる程度である。これは、測定システムの改善によるS/Nの向上により数%まで向上することが出来ると考えられており、今後の改善の主たる位置づけになるだろう。これらの成果の一部は、イタリアで開催された、18th International Conference on X-ray optics & Microanalysisにて申請者本人により報告された。また、共同研究者らにより、この成果を利用した多くの研究結果が発表されている(11項参照)。
All 2006 2005 2004
All Journal Article (7 results)
Japanese Journal of Applied Physics
Metallurgical and materials transactions A
まてりあ
10018160891
Proc.of 11th Symposium on Microjoining and Assembly Technology in Electronics
Pages: 189-194
Proc.of InterPACK'05, ASME
American Mineralogist 90
Pages: 132-132
AIP conference proceedings 705
