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高品質光渦レーザーによる電子線波面の制御

Research Project

Project/Area Number 16H06626
Research Category

Grant-in-Aid for Research Activity Start-up

Allocation TypeSingle-year Grants
Research Field Optical engineering, Photon science
Research InstitutionTohoku University

Principal Investigator

上杉 祐貴  東北大学, 多元物質科学研究所, 助教 (60780682)

Project Period (FY) 2016-08-26 – 2018-03-31
Project Status Completed (Fiscal Year 2016)
Budget Amount *help
¥2,990,000 (Direct Cost: ¥2,300,000、Indirect Cost: ¥690,000)
Fiscal Year 2016: ¥1,560,000 (Direct Cost: ¥1,200,000、Indirect Cost: ¥360,000)
Keywords光渦 / 電子渦 / 点欠陥ミラー / レーザー干渉加工 / 応用光学 / 高性能レーザー / 電子顕微鏡
Outline of Annual Research Achievements

電子渦生成のためのホログラムをレーザー干渉を用いて作製するための基盤技術の開発を行った.そのために,フォトリソグラフィーに用いる紫外波長領域の光渦光源の開発と,波長1μm領域のフェムト秒レーザーを用いたレーザー干渉加工の実証の,2つを行った.
まずHe-Cdガスレーザーに点欠陥ミラーを導入して紫外波長領域の光渦光源を開発した.He-Cdレーザーは442 nmの青色と325 nmの紫外光の2つの波長で発振する.442 nmでは比較的品質の良い光渦を生成することに成功しが,325 nmではLG01モードの比率が低かった.複数の点欠陥ミラーを設計してLG01モード比の変化を系統的に観察したが大きな改善は得られなかった.考察の後,品質を制限する要因がHc-Cdガスの放電管の設計に依っていることが判かった.LG01モードの光渦をマッハチェンダー干渉計に導いてチャージ2の位相特異点を有するフォーク型の干渉縞が生成できることを確認した.計画ではガウスビームとLG01モードの光渦を用いてチャージ1のパターン生成を目指しているため,周波数位相同期して干渉に利用するためのHe-Cdガスレーザーをもう1台導入するかどうか,検討が必要である.
並行して,パルスエネルギー40uJのフェムト秒レーザーを用いてレーザー干渉加工によりホログラムを作製することを試みた.レーザーを分岐した後に片方のビームを空間位相変調器を用いてLG01モードの光渦に変換した.光渦,ガウシアンビーム,試料表面のための観察系の3つの光学系を組み合わせたレーザー加工光学系を設計し,2つのビームの焦点と照射位置,および光学遅延器を用いて時間同期を行い,レーザー干渉加工を行った.その結果,シリコン試料の表面にフォーク状の干渉模様を加工することに成功した.今後は加工パターンの精度向上が課題である.

Research Progress Status

翌年度、交付申請を辞退するため、記入しない。

Strategy for Future Research Activity

翌年度、交付申請を辞退するため、記入しない。

Report

(1 results)
  • 2016 Annual Research Report
  • Research Products

    (1 results)

All 2016

All Presentation (1 results)

  • [Presentation] 点欠陥ミラーを用いたHe-Cdレーザーからの光渦生成2016

    • Author(s)
      上杉 祐貴, 小澤 祐市, 佐藤 俊一
    • Organizer
      第77回応用物理学会秋季学術講演会
    • Place of Presentation
      朱鷺メッセ(新潟県新潟市)
    • Year and Date
      2016-09-13
    • Related Report
      2016 Annual Research Report

URL: 

Published: 2016-09-02   Modified: 2018-01-16  

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