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中間バンド型Ge量子ドット太陽電池の実現に向けた量子ドットの形成・積層

Research Project

Project/Area Number 16J01701
Research Category

Grant-in-Aid for JSPS Fellows

Allocation TypeSingle-year Grants
Section国内
Research Field Crystal engineering
Research InstitutionTohoku University

Principal Investigator

伊藤 友樹  東北大学, 工学研究科, 特別研究員(DC2)

Project Period (FY) 2016-04-22 – 2018-03-31
Project Status Completed (Fiscal Year 2017)
Budget Amount *help
¥2,300,000 (Direct Cost: ¥2,300,000)
Fiscal Year 2017: ¥1,100,000 (Direct Cost: ¥1,100,000)
Fiscal Year 2016: ¥1,200,000 (Direct Cost: ¥1,200,000)
Keywords結晶成長 / ゲルマニウム / 量子ドット / 電子デバイス / 光素子 / IV族半導体 / カーボン
Outline of Annual Research Achievements

本研究では、カーボン(C)媒介を利用したGe量子ドット(QD)の形成と、Si1-xCx歪補償層導入による歪フリー積層を実現し、高効率中間バンド型Ge QD太陽電池形成の基盤技術を確立する。本年度は2年計画の最終年度として、C媒介とSi1-xCx歪補償層を利用した歪フリーGe QD積層について検討した。
1.Si1-xCxスペーサ上のQD形成において、QD/Si1-xCxスペーサ界面に0.25原子層以上のCを媒介することで、1層目のQDとほぼ同じ粒径のQDをSi1-xCxスペーサ上に形成できることを見出し、QDがVolmer-Weberモードで成長した孤立ドットであることを明らかにした。また、QD形成機構の解析に、ケルビンプローブ顕微法と低角入射インプレーンX線回折法を導入し、Si1-xCxスペーサ表面の圧縮歪によるGe/Si1-xCx界面の格子不整合の増大により、C媒介によるQD縮小効果が増大することを解明した。
2.積層構造の形成において、C含有量=1.5 at.%のSi1-xCx歪補償スペーサを利用して、QD/スペーサの積層ペア毎にQD内の圧縮応力を緩和することによって、多重積層により生じるQDの肥大化を抑制し、歪フリーで多重積層できることを実証した。これらは、混晶組成の自由度が小さいIV族系半導体において、QDとSi1-xCxスペーサを組合せて歪制御することによって、III-VもしくはII-VI族系半導体と同様に、QDを必要に応じて積層できることを示した重要な成果である。これらの結果は、中間バンド型Ge QD太陽電池を形成するための基盤技術だけなく、高効率発光素子の形成にも応用が期待できる。
本研究で確立したC媒介と歪補償に基づくGe QD積層法は、中間バンド型Ge QD太陽電池形成の基盤技術であり、今後、これらの知見が十二分に活かせると考えている。

Research Progress Status

29年度が最終年度であるため、記入しない。

Strategy for Future Research Activity

29年度が最終年度であるため、記入しない。

Report

(2 results)
  • 2017 Annual Research Report
  • 2016 Annual Research Report
  • Research Products

    (34 results)

All 2018 2017 2016 Other

All Int'l Joint Research (1 results) Journal Article (6 results) (of which Peer Reviewed: 6 results,  Acknowledgement Compliant: 3 results) Presentation (27 results) (of which Int'l Joint Research: 12 results)

  • [Int'l Joint Research] Innovations for High Performance (IHP)(ドイツ)

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    • Author(s)
      Y. Itoh, T. Kawashima, K. Washio
    • Journal Title

      IEEE Trans. Nanotechnol.

      Volume: 16 Issue: 4 Pages: 595-599

    • DOI

      10.1109/tnano.2017.2679721

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    • Author(s)
      Y. Itoh, K. Takeshima, T. Kawashima, K. Washio
    • Journal Title

      Materials Science in Semiconductor Processing

      Volume: 印刷中 Pages: 167-172

    • DOI

      10.1016/j.mssp.2016.09.011

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    • Author(s)
      K. Yasuta, Y. Itoh, T. Kawashima, K. Washio
    • Journal Title

      Materials Science in Semiconductor Processing

      Volume: 印刷中 Pages: 173-177

    • DOI

      10.1016/j.mssp.2016.11.004

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    • Author(s)
      K. Takeshima, Y. Itoh, T. Kawashima, K. Washio
    • Journal Title

      Materials Science in Semiconductor Processing

      Volume: 印刷中 Pages: 178-182

    • DOI

      10.1016/j.mssp.2016.11.025

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    • Author(s)
      Y. Itoh, T. Kawashima, K. Washio
    • Journal Title

      Phys. Status Solidi (c)

      Volume: 14 Issue: 12 Pages: 1700197-1700197

    • DOI

      10.1002/pssc.201700197

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    • Author(s)
      Y. Satoh, Y. Itoh, T. Kawashima, K. Washio
    • Journal Title

      Thin Solid Films

      Volume: 621 Pages: 42-46

    • DOI

      10.1016/j.tsf.2016.11.032

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      K. Takeshima, Y. Itoh, T. Kawashima, K. Washio
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  • [Presentation] 固相成長によるC媒介Ge量子ドットの積層構造の検討2018

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      井上 友貴, 武島 開斗, 伊藤 友樹, 川島 知之, 鷲尾 勝由
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      Y. Yamamoto, Y. Itoh, P. Zaumseil, M. A. Schubert, G. Capellini, K. Washio, and B. Tillack,
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      M. A. Schubert, Y. Yamamoto, Y. Itoh, P. Zaumseil, G. Capellini, K. Washio, and B. Tillack
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      9th International SiGe Technology and Device Meeting
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      Y. Yamamoto, Y. Itoh, P. Zaumseil, M. A. Schubert, G. Capellini, K. Washio, and B. Tillack
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      Americans International Meeting on Electrochemistry and Solid State Science
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      Y. Itoh, T. Kawashima, K. Washio
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      European Materials Research Society
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      Strasbourg (France)
    • Year and Date
      2017-05-22
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  • [Presentation] Si1-xCx歪補償中間層上のカーボン媒介によるGe量子ドットの自己組織的成長2017

    • Author(s)
      伊藤 友樹, 川島 知之, 鷲尾 勝由
    • Organizer
      第64回 応用物理学会春季学術講演会
    • Place of Presentation
      パシフィコ横浜 (神奈川県・横浜市)
    • Year and Date
      2017-03-14
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  • [Presentation] Siスペーサ層上の固相成長によるカーボン媒介Ge量子ドットの形成2017

    • Author(s)
      武島 開斗, 伊藤 友樹, 川島 知之, 鷲尾 勝由
    • Organizer
      第64回 応用物理学会春季学術講演会
    • Place of Presentation
      パシフィコ横浜 (神奈川県・横浜市)
    • Year and Date
      2017-03-14
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      2016 Annual Research Report
  • [Presentation] Ge量子ドットとSiキャップ層の形状と歪へのカーボン被覆の影響2017

    • Author(s)
      有田 誠, 伊藤 友樹, 川島 知之, 鷲尾 勝由
    • Organizer
      第64回 応用物理学会春季学術講演会
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      パシフィコ横浜 (神奈川県・横浜市)
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      2017-03-14
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      第64回 応用物理学会春季学術講演会
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      パシフィコ横浜 (神奈川県・横浜市)
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      2017-03-14
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      Y. Itoh, T. Kawashima, K. Washio
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      10th International Workshop on New Group IV Semiconductor Nanoelectronics
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      Tohoku University, Sendai (Japan)
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      Y. Kawaguchi, Y. Itoh, T. Kawashima, K. Washio
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      10th International Workshop on New Group IV Semiconductor Nanoelectronics
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      Tohoku University, Sendai (Japan)
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      2017-02-13
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      10th International Workshop on New Group IV Semiconductor Nanoelectronics
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      Tohoku University, Sendai (Japan)
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      2017-02-13
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      Y. Itoh, T. Kawashima, K. Washio
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      有田 誠, 伊藤 友樹, 川島 知之, 鷲尾 勝由
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      伊藤 友樹, 川島 知之, 鷲尾 勝由
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      第72回応用物理学会東北支部学術講演会
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      第71回 応用物理学会東北支部学術講演会
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      東北大学 (宮城県・仙台市)
    • Year and Date
      2016-12-01
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      Y. Itoh, T. Kawashima, K. Washio
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      29th International Microprocesses and Nanotechnology Conference
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      ANA Crowne Plaza Kyoto, Kyoto (Japan)
    • Year and Date
      2016-11-08
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      伊藤 友樹, 川島 知之, 鷲尾 勝由
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      朱鷺メッセ (新潟県・新潟市)
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      2016-09-13
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      武島 開斗, 伊藤 友樹, 川島 知之, 鷲尾 勝由
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      第77回 応用物理学会秋季学術講演会
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      朱鷺メッセ (新潟県・新潟市)
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      2016-09-13
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      第77回 応用物理学会秋季学術講演会
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      朱鷺メッセ (新潟県・新潟市)
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      2016-09-13
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      河口 大和, 伊藤 友樹, 川島 知之, 鷲尾 勝由
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      第77回 応用物理学会秋季学術講演会
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      朱鷺メッセ (新潟県・新潟市)
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      2016-09-13
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      Y. Itoh, T. Kawashima, K. Washio
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      IEEE 16th International Conference on Nanotechnology
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      Sendai International Center, Sendai (Japan)
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      2016-08-22
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      Y. Itoh, T. Kawashima, K. Washio
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    • Year and Date
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  • [Presentation] Effect of Crystallinity of As-Deposited Ge Film on Quantum Dot Formation in Carbon-Mediated Solid-Phase Epitaxy2016

    • Author(s)
      K. Takeshima, Y. Itoh, T. Kawashima, K. Washio
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      International SiGe Technology and Device Meeting 2016
    • Place of Presentation
      Nagoya University, Nagoya (Japan)
    • Year and Date
      2016-06-07
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    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Transition of Ge Quantum Dot Growth Mode by Using C-Mediated Si(100) Surface Management2016

    • Author(s)
      K. Yasuta, Y. Satoh, Y. Itoh, T. Kawashima, K. Washio
    • Organizer
      International SiGe Technology and Device Meeting 2016
    • Place of Presentation
      Nagoya University, Nagoya (Japan)
    • Year and Date
      2016-06-07
    • Related Report
      2016 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research

URL: 

Published: 2016-05-17   Modified: 2024-03-26  

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