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システムインパッケージにおける光配線導入のための3次元ポリマー細線技術の開発

Research Project

Project/Area Number 16J11581
Research Category

Grant-in-Aid for JSPS Fellows

Allocation TypeSingle-year Grants
Section国内
Research Field Communication/Network engineering
Research InstitutionTokyo Institute of Technology

Principal Investigator

コ シチン  東京工業大学, 理工学研究科, 特別研究員(DC2)

Project Period (FY) 2016-04-22 – 2018-03-31
Project Status Completed (Fiscal Year 2017)
Budget Amount *help
¥2,300,000 (Direct Cost: ¥2,300,000)
Fiscal Year 2017: ¥1,100,000 (Direct Cost: ¥1,100,000)
Fiscal Year 2016: ¥1,200,000 (Direct Cost: ¥1,200,000)
Keywordsシステムインパッケージ / オンチップ光配線 / 受光器 / フォトニック結晶 / 半導体 / 光配線 / 光検出器
Outline of Annual Research Achievements

近年、半導体に対する多機能化や高性能化に対する要求が高まり、1パッケージに高度なシステム機能を詰め込んだSiP (System in Package)が盛んに研究されている。SiPにおいて、重要なポイントは各コンポーネントにおける接続手法であり、全体の消費電力や速度を制限することから、適切な配線技術が望まれている。本研究では、電気配線でよく見られるような伝送遅延・電磁波干渉など問題を解決するため、SiP上光配線技術の導入を目指している。システムインパッケージ上光配線における指標として、「光源」「光伝送路」「受光素子」の一連の光コンポーネントをパッケージ上に構築し、fJ/bitの低消費電力で伝送を行うことが必須とされている。本研究の二年目の成果として、3次元ポリマー細線を用いる光伝送の研究に取り組む前に、一年目において設計したSiP上光配線に向けた小型・極低消費電力の半導体薄膜受光器の作製および評価を行った。その結果、ストライプ幅0.7 μm、吸収長30 μmの一般的導波路型素子において0.95 A/Wの受光感度が得られた。また、各素子の感度データをまとめることで、吸収長を10 μm程度まで短縮できることが分かった。つぎに、この素子の動特性評価を行い、バイアス電圧-3 Vにおいて3dB帯域13.3 GHzを得ると共に、20 Gbit/sの大信号測定を行い、平均受信電力-10 dBmにおいてビット誤り率 10-9以下の受光動作を実現した。
以上の研究進捗状況から、素子長短縮による寄生容量の低減により、高負荷抵抗と接続するのみで電子回路の動作を保証するのに十分な電気信号が得られ、増幅回路を必要としないため消費電力の大幅低減が見込まれる。また、三次元ポリマー細線を用いて光源と低損失に接続することにより、SiP上極低消費電力信号伝送が実現できると見込まれる。

Research Progress Status

29年度が最終年度であるため、記入しない。

Strategy for Future Research Activity

29年度が最終年度であるため、記入しない。

Report

(2 results)
  • 2017 Annual Research Report
  • 2016 Annual Research Report
  • Research Products

    (9 results)

All 2018 2017 2016

All Journal Article (3 results) (of which Peer Reviewed: 3 results,  Open Access: 1 results,  Acknowledgement Compliant: 1 results) Presentation (6 results)

  • [Journal Article] 20 Gbps operation of membrane-based GaInAs/InP waveguide-type p?i?n photodiode bonded on Si substrate2018

    • Author(s)
      Zhichen Gu, Daisuke Inoue, Tomohiro Amemiya, Nobuhiko Nishiyama, Shigehisa Arai
    • Journal Title

      Applied Physics Express

      Volume: 11 Issue: 2 Pages: 022102-022102

    • DOI

      10.7567/apex.11.022102

    • Related Report
      2017 Annual Research Report
    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] On-chip membrane-based GaInAs/InP waveguide-type p-i-n photodiode fabricated on silicon substrate2017

    • Author(s)
      Zhichen Gu, Tatsuya Uryu, Nagisa Nakamura, Daisuke Inoue, Tomohiro Amemiya, Nobuhiko Nishiyama, Shigehisa Arai
    • Journal Title

      Applied Optics

      Volume: 56 Issue: 28 Pages: 7841-7848

    • DOI

      10.1364/ao.56.007841

    • Related Report
      2017 Annual Research Report
    • Peer Reviewed / Open Access
  • [Journal Article] Study of Slow-light-enhanced Membrane Photodetector for Realizing On-chip Interconnection with Low Power Consumption2017

    • Author(s)
      Zhichen Gu, Takuo Hiratani, Tomohiro Amemiya, Nobuhiko Nishiyama, Shigehisa Arai
    • Journal Title

      Journal of Optical Society of America

      Volume: vol.34 Issue: 2 Pages: 440-446

    • DOI

      10.1364/josab.34.000440

    • Related Report
      2016 Annual Research Report
    • Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant
  • [Presentation] Si上GaInAs/InP p-i-n薄膜光検出器の20 Gbps動作2018

    • Author(s)
      コ シチン, 鄭 叙, 雨宮 智宏, 西山 伸彦, 荒井 滋久
    • Organizer
      第65回応用物理会春季学術講演会
    • Related Report
      2017 Annual Research Report
  • [Presentation] Si基板上オンチップ光配線に向けたInP系メンブレン光検出器の設計2017

    • Author(s)
      コシチン、平谷拓生、雨宮智宏、西山伸彦、荒井滋久
    • Organizer
      電子情報通信学会 光エレクトロニクス研究会(OPE)
    • Place of Presentation
      伊勢市民観光文化会館
    • Year and Date
      2017-01-18
    • Related Report
      2016 Annual Research Report
  • [Presentation] Si上GaInAs/InP p-i-n 薄膜光検出器の感度特性の評価2017

    • Author(s)
      コ シチン, 瓜生 達也, 中村 なぎさ, 井上 大輔, 雨宮 智宏, 西山 伸彦, 荒井 滋久
    • Organizer
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
    • Related Report
      2017 Annual Research Report
  • [Presentation] Design of Low-power-consumption Membrane Photodiode Toward On-chip Optical Interconnection2017

    • Author(s)
      Zhichen Gu, Takuo Hiratani, Tomohiro Amemiya, Nobuhiko Nishiyama, Shigehisa Arai
    • Organizer
      The 24th Congress of the International Commission for Optics (ICO-24)
    • Related Report
      2017 Annual Research Report
  • [Presentation] Membrane-based GaInAs/InP waveguide-type p-i-n photodetector fabricated on Si substrate using Benzocyclobutene bonding2017

    • Author(s)
      Zhichen Gu, Tatsuya Uryu, Daisuke Inoue, Tomohiro Amemiya, Nobuhiko Nishiyama, Shigehisa Arai
    • Organizer
      International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2017)
    • Related Report
      2017 Annual Research Report
  • [Presentation] スローライト効果を用いた半導体薄膜光検出器の周波数帯域の検討2016

    • Author(s)
      コシチン、井上大輔、平谷拓生、雨宮智宏、西山伸彦、荒井滋久
    • Organizer
      第77回応用物理学会秋季学術講演会
    • Place of Presentation
      新潟県新潟市朱鷺メッセ
    • Year and Date
      2016-09-13
    • Related Report
      2016 Annual Research Report

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Published: 2016-05-17   Modified: 2024-03-26  

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