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Fabrication of nano-patterned organic polymer substrates with atomic steps for creation of functional nanostructures

Research Project

Project/Area Number 16K13636
Research Category

Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research

Allocation TypeMulti-year Fund
Research Field Nanomaterials engineering
Research InstitutionTokyo Institute of Technology

Principal Investigator

Yoshimoto Mamoru  東京工業大学, 物質理工学院, 教授 (20174998)

Research Collaborator Kaneko Satoru  
Matsuda Akifumi  
Shimada Koudai  
Goto Risa  
Kinoshita Taichiro  
Yamada Shiori  
Iwasa Ken  
Project Period (FY) 2016-04-01 – 2019-03-31
Project Status Completed (Fiscal Year 2018)
Budget Amount *help
¥3,640,000 (Direct Cost: ¥2,800,000、Indirect Cost: ¥840,000)
Fiscal Year 2017: ¥1,300,000 (Direct Cost: ¥1,000,000、Indirect Cost: ¥300,000)
Fiscal Year 2016: ¥2,340,000 (Direct Cost: ¥1,800,000、Indirect Cost: ¥540,000)
Keywordsナノインプリント / フレキシブル基板 / PMMA / ポリイミド / ナノパターン / 原子ステップ / ナノドット / ナノコンタクト転写 / ポリマー基板 / サファイアモールド / 金ナノ粒子 / ナノコンタクトプリント / 超平坦基板 / 有機工業化学 / ナノ構造 / 単原子レベル
Outline of Final Research Achievements

In this study, the thermal nanoimprinting process, which is one of the most promising techniques for simple, low-cost, and high-throughput nanopatterning, was applied for fabrication of flexible atomically nano-patterned polymer substrates with ultra-smooth surface and also for creation of functional nanostructures on the polymer substrates. As a result, the ultra-smooth 0.3-nm-high atomic step-and-terrace surface was developed on the polyimides and poly(methyl methacrylate) (PMMA) sheets. We performed the nanoscale scratch on the atomically smooth polyimide surface and could write a letter “T” by AFM-probe scanning. Furthermore, large area Au nanoparticle arrays of dots or meshes were produced onto 0.3-nm-high stepped PMMA sheets by applying a nanocontact-printing technique using Au-film-coated pillar or mesh molds.

Academic Significance and Societal Importance of the Research Achievements

これまでの量子機能電子デバイスやナノ構造を制御した光電子機能薄膜の構築にはシリコンやサファイアなどの無機系基板が広く用いられてきたが、本研究成果により、独自に作製された超平坦ポリマー基板は、次世代超機能フレキシブル電子デバイス用基板として極めて有望であることが実証された。また、高分子科学の観点からみて注目すべき点は、高分子材料のようにミクロンオーダーの巨大分子鎖が複雑に絡み合う表面においても、モノマー分子サイズ(約0.5 nm)よりも小さな原子スケール(約0.3nm)の段差パターンが転写されたことである。

Report

(4 results)
  • 2018 Annual Research Report   Final Research Report ( PDF )
  • 2017 Research-status Report
  • 2016 Research-status Report
  • Research Products

    (24 results)

All 2019 2018 2017 2016 Other

All Journal Article (5 results) (of which Peer Reviewed: 5 results,  Acknowledgement Compliant: 3 results) Presentation (17 results) (of which Int'l Joint Research: 1 results,  Invited: 1 results) Book (1 results) Remarks (1 results)

  • [Journal Article] Solid-phase epitaxy and pressure-induced topotaxy of the VO2 and V2O3 thin films on sapphire using annealing under uniaxial compression2019

    • Author(s)
      Akifumi Matsuda, Yasuhisa Nozawa, Satoru Kaneko, and Mamoru Yoshimoto
    • Journal Title

      Applied Surface Science

      Volume: 480 Pages: 956-961

    • DOI

      10.1016/j.apsusc.2019.01.189

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      S. Kaneko, T. Tokumasu, M. Yasuii, Musa, A. Matsuda, and M. Yoshimoto
    • Journal Title

      Jpn. J. Appl. Phys. Vol.58 (2019)

      Volume: 58 Issue: SA Pages: SAAD06-SAAD06

    • DOI

      10.7567/1347-4065/aaec11

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    • Journal Title

      Jpn. J. Appl. Phys.

      Volume: 55 Issue: 9 Pages: 098002-098002

    • DOI

      10.7567/jjap.55.098002

    • NAID

      210000147084

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      Goon Tan, Kodai Shimada, Yasuhisa Nozawa, Satoru Kaneko, Tatsuhiro Urakami, Koji Koyama, Motonori Komura, Akifumi Matsuda, and Mamoru Yoshimoto
    • Journal Title

      Nanotechnology

      Volume: 27 Issue: 29 Pages: 295603-295603

    • DOI

      10.1088/0957-4484/27/29/295603

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    • Journal Title

      Polymer Journal

      Volume: 48 Issue: 2 Pages: 225-227

    • DOI

      10.1038/pj.2015.99

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      応用物理学会 2016秋季年会
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      2016-09-13
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      応用物理学会 2016秋季年会
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      新潟市内朱鷺メッセ
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      2016-09-13
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    • Organizer
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    • Place of Presentation
      Boston, Hynes Convention Center, USA
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      吉本 護
    • Organizer
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    • Place of Presentation
      東京工業大学蔵前会館
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    • Author(s)
      Goon TAN, Kodai SHIMADA, Satoru KANEKO, Koji KOYAMA, Masahiro MITA, Tatsuhiro URAKAMI, Motonori KOMURA, Akifumi MATSUDA, and Mamoru YOSHIMOTO
    • Organizer
      高分子学会年次大会
    • Place of Presentation
      神戸国際会議場
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  • [Book] ナノインプリント技術ハンドブック2019

    • Author(s)
      応用物理学会ナノインプリント技術研究会(吉本護:分担執筆)
    • Total Pages
      700
    • Publisher
      株式会社 オーム社
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  • [Remarks] 東京工業大学物質理工学院 吉本・松田研究室

    • URL

      http://www.yoshimoto.iem.titech.ac.jp/

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      2018 Annual Research Report 2017 Research-status Report 2016 Research-status Report

URL: 

Published: 2016-04-21   Modified: 2020-03-30  

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