• Search Research Projects
  • Search Researchers
  • How to Use
  1. Back to previous page

Controlling N distribution in dilute nitride semiconductor materials by atomic layer epitaxy

Research Project

Project/Area Number 16K17515
Research Category

Grant-in-Aid for Young Scientists (B)

Allocation TypeMulti-year Fund
Research Field Crystal engineering
Research InstitutionUniversity of Miyazaki

Principal Investigator

Suzuki Hidetoshi  宮崎大学, 工学部, 准教授 (00387854)

Research Collaborator Fukuyama Atsuhiko  
Project Period (FY) 2016-04-01 – 2019-03-31
Project Status Completed (Fiscal Year 2018)
Budget Amount *help
¥4,160,000 (Direct Cost: ¥3,200,000、Indirect Cost: ¥960,000)
Fiscal Year 2018: ¥1,430,000 (Direct Cost: ¥1,100,000、Indirect Cost: ¥330,000)
Fiscal Year 2017: ¥1,430,000 (Direct Cost: ¥1,100,000、Indirect Cost: ¥330,000)
Fiscal Year 2016: ¥1,300,000 (Direct Cost: ¥1,000,000、Indirect Cost: ¥300,000)
Keywords希薄窒化物半導体 / 原子層エピタキシー / 太陽電池 / 結晶成長 / 窒素局在準位 / III-V族半導体 / GaAsN / Atomic Layer Epitaxy / Photo Reflectance / Dilute Nitride / 半導体物性
Outline of Final Research Achievements

GaAsN, which is one of dilute nitride semiconductor materials, has been expected as a material for multi-junction solar cells, however, its electrical properties were poor to apply actual devices. One of possible origin for this degradation is suggested to be inhomogeneous distribution of N atoms in GaAsN.
In this study, we have been grown GaAsN films with intentionally controlling N distribution by atomic layer epitaxy, which can control growth film in single atomic layer. We directly observed that N distribution in GaAsN films modified electrical properties of the films.

Academic Significance and Societal Importance of the Research Achievements

本研究では、希薄窒化物半導体中のN原子分布を意図的に制御した薄膜の作製に成功し、N原子分布が電気特性に影響を与えることを直接観察した。この結果は、本材料系の高品質化に重要な知見であるとともに、希薄窒化物半導体の物性を明らかにする上での学術的意義が大きい。本材料系は、太陽電池以外にもレーザーあるいは光電子集積回路への応用も期待されたおり、新規デバイス作成へにつながる成果である。

Report

(4 results)
  • 2018 Annual Research Report   Final Research Report ( PDF )
  • 2017 Research-status Report
  • 2016 Research-status Report
  • Research Products

    (8 results)

All 2019 2018 2017 2016

All Presentation (8 results) (of which Int'l Joint Research: 1 results)

  • [Presentation] ALE法で意図的にN分布を変化させたGaAsN薄膜の電気特性の測定温度依存性2019

    • Author(s)
      河野 将大、上田 大貴、峰松 遼、原口 智宏、鈴木 秀俊
    • Organizer
      2019年 第66回応用物理学会春季学術講演会
    • Related Report
      2018 Annual Research Report
  • [Presentation] ALE法を用いて作製したGaAsN薄膜のアニール処理によるN分布と電気特性の関係2018

    • Author(s)
      河野 将大、上田 大貴、原口 智宏、鈴木 秀俊
    • Organizer
      第15回「次世代の太陽光システム」シンポジウム
    • Related Report
      2018 Annual Research Report
  • [Presentation] 原子層エピタキシー法を用いてN分布を意図的に変化させたGaAsN薄膜の作製と評価2017

    • Author(s)
      上田 大貴、横山 祐貴、原口 智宏、山内 俊浩、鈴木 秀俊
    • Organizer
      第78回応用物理学界秋季学術講演会
    • Related Report
      2017 Research-status Report
  • [Presentation] 偏光ラマン測定を用いたGaAsN薄膜のアニール処理が及ぼす影響の評価2017

    • Author(s)
      和田 季己、橋本 英明、横山 祐貴、前田 幸治、鈴木 秀俊
    • Organizer
      第78回応用物理学界秋季学術講演会
    • Related Report
      2017 Research-status Report
  • [Presentation] 原子層エピタキシー法を用いて作製したGaAsN薄膜のN分布と電気特性の関係2017

    • Author(s)
      吉田和麻、上田 大貴、横山 祐貴、原口 智宏、山内 俊浩、鈴木 秀俊
    • Organizer
      2017年応用物理学会九州支部学術講演会
    • Related Report
      2017 Research-status Report
  • [Presentation] 偏光ラマン測定を用いたN分布の異なるGaAsN薄膜の評価2017

    • Author(s)
      麻生大輝、和田季己、横山祐貴、堀切将、上田大貴、鈴木秀俊
    • Organizer
      2017年応用物理学会九州支部学術講演会
    • Related Report
      2017 Research-status Report
  • [Presentation] The Influence of Substrate Orientation on Localized Nitrogen State in GaAsN Films Grown on Vicinal GaAs (001) Substrates2016

    • Author(s)
      M. Horikiri, W. Ding, Y. Yokoyama, H. Suzuki, T. Ikari, Y. Ohshita, M. Yamaguchi, A. Fukuyama
    • Organizer
      2016 International Conference on Solid State Devices and Materials
    • Place of Presentation
      Tsukuba International congress center
    • Year and Date
      2016-09-28
    • Related Report
      2016 Research-status Report
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] ALE成長SiドープGaAsN薄膜のアニール処理が比抵抗に与える影響2016

    • Author(s)
      横山祐貴、堀切将、原口智宏、山内俊浩、鈴木秀俊、碇哲雄、福山敦彦
    • Organizer
      第77回応用物理学会秋季学術講演会
    • Place of Presentation
      新潟県新潟市朱鷺メッセ
    • Year and Date
      2016-09-16
    • Related Report
      2016 Research-status Report

URL: 

Published: 2016-04-21   Modified: 2020-03-30  

Information User Guide FAQ News Terms of Use Attribution of KAKENHI

Powered by NII kakenhi