新型複合干渉計と波長走査を用いたレンズ曲率半径の絶対値測定手法の開発
| Project/Area Number |
16K17993
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
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| Allocation Type | Multi-year Fund |
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| Research Field |
Production engineering/Processing studies
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| Research Institution | The University of Tokyo |
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Principal Investigator |
金 亮鎭 東京大学, 工学(系)研究科(研究院), 助教 (70755678)
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| Project Period (FY) |
2016-04-01 – 2017-03-31
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| Project Status |
Discontinued (Fiscal Year 2016)
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| Budget Amount *help |
¥4,160,000 (Direct Cost: ¥3,200,000、Indirect Cost: ¥960,000)
Fiscal Year 2017: ¥1,560,000 (Direct Cost: ¥1,200,000、Indirect Cost: ¥360,000)
Fiscal Year 2016: ¥2,600,000 (Direct Cost: ¥2,000,000、Indirect Cost: ¥600,000)
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| Keywords | 干渉計 / 波長走査 / 曲率半径 / レンズ |
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| Outline of Annual Research Achievements |
本研究では曲面レンズの絶対曲率半径の測定を目的として複合型干渉計の開発及び新しい位相検出アルゴリズムの開発を行う予定であった．途中中断により複合型干渉計の開発は行えなかったが，既存の位相検出アルゴリズムの性能を大幅に超える6N-5位相検出アルゴリズムの開発に成功し，透明試料の光学的厚さ分布の変動成分と表面形状の同時測定を研究期間中に行った．
6N-5位相検出アルゴリズムは同研究者の開発した4N-3位相検出アルゴリズムと同様にSurrelの特性多項式を基盤として開発された．特性単位円上に六重根を配置し，特性多項式を展開することによって6N-5位相検出アルゴリズムのサンプリング振幅が得られた．また，カップリング誤差にも注目して他位相検出アルゴリズムと性能評価を行った結果，6N-5位相検出アルゴリズムが一番優れた性能を示すことが分かった．6N-5位相検出アルゴリズムの開発を行う前に5N-4アルゴリズムの開発を行い，シリコンウエハーの表面形状の測定を行った．
6N-5位相検出アルゴリズムとFizeau型波長走査干渉計を用いて透明試料の光学的厚さ分布の変動成分と表面形状の同時測定を行い，いずれの結果も従来の位相検出アルゴリズムを用いた結果より高い精度で測定できることがわかった．
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Report
(1 results)
Research Products
(5 results)
