| Project/Area Number |
17655058
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Exploratory Research
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| Allocation Type | Single-year Grants |
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| Research Field |
Functional materials chemistry
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| Research Institution | The University of Tokyo |
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Principal Investigator |
田中 健太郎 東京大学, 大学院理学系研究科, 助教授 (40281589)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
塩谷 光彦 東京大学, 大学院理学系研究科, 教授 (60187333)
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| Project Period (FY) |
2005 – 2006
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| Project Status |
Completed (Fiscal Year 2006)
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| Budget Amount *help |
¥3,300,000 (Direct Cost: ¥3,300,000)
Fiscal Year 2006: ¥1,300,000 (Direct Cost: ¥1,300,000)
Fiscal Year 2005: ¥2,000,000 (Direct Cost: ¥2,000,000)
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| Keywords | シリコン / 有機単分子膜 / 原子間力顕微鏡 / ハイドロシリレーション / 自発的集積化 / 赤外分光 / 陽極酸化 |
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| Research Abstract |
シリコン基板上の有機単分子膜の構造・物性を制御することは、リソグラフィーや半導体産業などへの応用の観点から、今日まで広く研究されている。末端アルケンを用い、水素終端したシリコン(111)表面(H-Si(111))上にハイドロシリレーションによって作成した有機単分子膜は、(1)H-Si(111)の表面構造が原子レベルで規則的であること、(2)基板と有機分子がSi-C共有結合によって固定されることから、単分子膜の反応性と配向性がSi(111)の単結晶構造と有機分子の骨格構造の相関性に大きく影響されると考えられる。本研究では、ジアルキル型単分子膜2C18が、結晶性の非常に高い単分子膜を形成することを見出した。また、その結晶性の高さから、Si基板上で1層だけの有機単分子膜が安定な絶縁層となることを見出した。今後、有機FETなどの構築へ向けて検討を行う。
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