• Search Research Projects
  • Search Researchers
  • How to Use
  1. Back to previous page

Chemical vapor deposition of highly ordered nanostructures under an intense laser field

Research Project

Project/Area Number 17H03426
Research Category

Grant-in-Aid for Scientific Research (B)

Allocation TypeSingle-year Grants
Section一般
Research Field Material processing/Microstructural control engineering
Research InstitutionYokohama National University

Principal Investigator

ITO Akihiko  横浜国立大学, 大学院環境情報研究院, 准教授 (20451635)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 吉川 彰  東北大学, 金属材料研究所, 教授 (50292264)
後藤 孝  長岡技術科学大学, 工学研究科, 特任教授 (60125549)
鎌田 圭  東北大学, 未来科学技術共同研究センター, 准教授 (60639649)
且井 宏和  国立研究開発法人産業技術総合研究所, 材料・化学領域, 主任研究員 (70610202)
Project Period (FY) 2017-04-01 – 2020-03-31
Project Status Completed (Fiscal Year 2019)
Budget Amount *help
¥18,200,000 (Direct Cost: ¥14,000,000、Indirect Cost: ¥4,200,000)
Fiscal Year 2019: ¥3,380,000 (Direct Cost: ¥2,600,000、Indirect Cost: ¥780,000)
Fiscal Year 2018: ¥3,900,000 (Direct Cost: ¥3,000,000、Indirect Cost: ¥900,000)
Fiscal Year 2017: ¥10,920,000 (Direct Cost: ¥8,400,000、Indirect Cost: ¥2,520,000)
Keywords化学気相析出 / 自己組織化 / コーティング / 配向制御 / 共晶 / セラミックス / レーザー工学 / ナノ構造制御 / 光学媒質
Outline of Final Research Achievements

Chemical vapor deposition of highly ordered nanostructures under an intense laser field improves freedom in design and material selection with following advantages: utilizing self-organized nanostructures as ceramic coatings, reducing processing temperature of single-crystalline materials by half in comparison to melt-solidification process, and designing coatings including non-thermodynamically stable phases and compositions. In this research project, alumina- and ferrite-based nanocomposite coatings have been synthesized and characterized in terms of mechanical, optical, and magnetic properties.
Hafnia coatings exhibited a self-orientation growth, and CVD route to transparent thick films of Eu-doped hafnia and lutetia for phosphors has been developed. Ceramic coatings with highliy ordered nanostructures have been synthesized in alumina-hafnia, -lutetia, and -yttira systems. Epitaxially grown strontium hexaferrite and yttrium iron garnet showed excellent magnetic properties.

Academic Significance and Societal Importance of the Research Achievements

セラミックス共晶体の合成は、2000°C以上の超高温融液からの凝固が常識である。もしセラミックス共晶体を気相から直接合成できれば、材料開発および組織設計の自由度が格段に高まり、(i) 共晶体の優れた特性をコーティング化して利用できる、(ii) プロセス温度を、溶融凝固法 (融点) に対して半減できる、(iii) 非平衡の気相プロセスを駆使することで熱力学的には難しい組成域・結晶相を利用した材料組織が設計できる、といった利点がある。これはコーティング分野において、新たな材料設計の可能性を拓くものであり、想定する応用先として、医療用高分解能撮像素子や過酷環境から基材を保護するコーティングがある。

Report

(4 results)
  • 2019 Annual Research Report   Final Research Report ( PDF )
  • 2018 Annual Research Report
  • 2017 Annual Research Report
  • Research Products

    (64 results)

All 2020 2019 2018 2017 Other

All Journal Article (11 results) (of which Int'l Joint Research: 1 results,  Peer Reviewed: 11 results,  Open Access: 1 results) Presentation (48 results) (of which Int'l Joint Research: 10 results,  Invited: 11 results) Remarks (3 results) Patent(Industrial Property Rights) (2 results)

  • [Journal Article] High-speed Epitaxial Growth of M-type Strontium Hexaferrite Films on Sapphire using Metal-Organic Chemical Vapor Deposition and Their Magnetic Property2020

    • Author(s)
      K. Kato, R. Watanuki, A. Ito
    • Journal Title

      Materials Letters

      Volume: 274 Pages: 128046-128046

    • DOI

      10.1016/j.matlet.2020.128046

    • Related Report
      2019 Annual Research Report
    • Peer Reviewed / Open Access
  • [Journal Article] High-speed epitaxial growth of SrTiO3 transparent thick films composed of close-packed nanocolumns using laser chemical vapor deposition2020

    • Author(s)
      J. Chen, A. Ito, T. Goto
    • Journal Title

      Vacuum

      Volume: 177 Pages: 109424-109424

    • DOI

      10.1016/j.vacuum.2020.109424

    • Related Report
      2019 Annual Research Report
    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Chemical vapor deposition route to transparent thick films of Eu3+-doped HfO2 and Lu2O3 for luminescent phosphors2020

    • Author(s)
      S. Matsumoto, A. Ito
    • Journal Title

      Optical Materials Express

      Volume: 10 Issue: 4 Pages: 899-906

    • DOI

      10.1364/ome.386425

    • Related Report
      2019 Annual Research Report
    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Self-oriented growth of β-Yb2Si2O7 and X1/X2-Yb2SiO5 coatings using laser chemical vapor deposition2020

    • Author(s)
      A. Ito, M. Sekiyama, T. Hara, T. Goto
    • Journal Title

      Ceramics International

      Volume: 46 Issue: 7 Pages: 9548-9553

    • DOI

      10.1016/j.ceramint.2019.12.217

    • Related Report
      2019 Annual Research Report
    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Highly self-oriented growth of (020) and (002) monoclinic HfO2 thick films using laser chemical vapor deposition2020

    • Author(s)
      S. Matsumoto, Y. Kaneda, A. Ito
    • Journal Title

      Ceramics International

      Volume: 46 Issue: 2 Pages: 1810-1815

    • DOI

      10.1016/j.ceramint.2019.09.156

    • Related Report
      2019 Annual Research Report
    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Selective self-oriented growth of (200), (002), and (020) δ-WO3 films via metal-organic chemical vapor deposition2020

    • Author(s)
      A. Ito, Y. Morishita
    • Journal Title

      Materials Letters

      Volume: 258 Pages: 126817-126817

    • DOI

      10.1016/j.matlet.2019.126817

    • Related Report
      2019 Annual Research Report
    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Fabrication of Lu2Ti2O7-Lu3NbO7 solid solution transparent ceramics by spark plasma sintering and their electrical conductivities2020

    • Author(s)
      L.Q. An, L. Wang, L. Wang, R. Fan, A. Ito, T. Goto
    • Journal Title

      Journal of the European Ceramic Society

      Volume: 40 Issue: 13 Pages: 4589-4594

    • DOI

      10.1016/j.jeurceramsoc.2020.05.008

    • Related Report
      2019 Annual Research Report
    • Peer Reviewed / Int'l Joint Research
  • [Journal Article] レーザーを援用した化学気相析出法によるセラミックスの自己配向成長2020

    • Author(s)
      伊藤暁彦
    • Journal Title

      セラミックス

      Volume: 55 Pages: 98-102

    • Related Report
      2019 Annual Research Report
    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] SiC繊維表面への界面制御コーティング技術と力学特性評価2020

    • Author(s)
      伊藤暁彦, 後藤健
    • Journal Title

      セラミックス

      Volume: 55 Pages: 431-435

    • Related Report
      2019 Annual Research Report
    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Self-oriented growth of (020) MgSiO3-orthopyroxene and (002) α-Mg2SiO4 films using metal-organic chemical vapor deposition2019

    • Author(s)
      Masakazu Ikai, Akihiko Ito
    • Journal Title

      Ceramics International

      Volume: 45 Issue: 10 Pages: 13567-13570

    • DOI

      10.1016/j.ceramint.2019.03.212

    • Related Report
      2018 Annual Research Report
    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] レーザを利用した高速CVDによるセラミックコーティングの新展開2019

    • Author(s)
      伊藤暁彦
    • Journal Title

      溶射

      Volume: 55 Pages: 176-182

    • Related Report
      2018 Annual Research Report
    • Peer Reviewed
  • [Presentation] 化学気相析出法による単斜晶HfO2膜の合成とその機械的特性評価2020

    • Author(s)
      松本昭源, 多々見純一, 伊藤暁彦
    • Organizer
      日本セラミックス協会
    • Related Report
      2019 Annual Research Report
  • [Presentation] Chemical Vapor Deposition and Microcantilever Beam Testing of Alumina-hafnia Eutectic Composite Films2020

    • Author(s)
      A. Ito
    • Organizer
      The American Ceramic Society
    • Related Report
      2019 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research / Invited
  • [Presentation] High-speed Epitaxial Growth of Functional Oxide Films Using Metal-organic Chemical Vapor Deposition and Their Luminescence and Magnetic Responses2020

    • Author(s)
      A. Ito
    • Organizer
      The American Ceramic Society
    • Related Report
      2019 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research / Invited
  • [Presentation] Yフェライトのエピタキシャル成長における結晶相制御と磁気特性2019

    • Author(s)
      相田穂乃香, 綿貫竜太, 伊藤暁彦
    • Organizer
      セラミックフェスタin神奈川実行委員会
    • Related Report
      2019 Annual Research Report
  • [Presentation] ハフニア膜の高速配向成長およびマイクロカンチレバー法による機械的特性評価2019

    • Author(s)
      松本昭源, 伊藤暁彦
    • Organizer
      セラミックフェスタin神奈川実行委員会
    • Related Report
      2019 Annual Research Report
  • [Presentation] 化学気相析出法を用いたSrフェライトの合成と磁気特性2019

    • Author(s)
      加藤起基, 綿貫竜太, 伊藤暁彦
    • Organizer
      セラミックフェスタin神奈川実行委員会
    • Related Report
      2019 Annual Research Report
  • [Presentation] Preparation of HfO2-Al2O3 composite films using chemical vapor deposition and their nanostructures2019

    • Author(s)
      S. Matsumoto, A. Ito
    • Organizer
      MRS-J
    • Related Report
      2019 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] SiC/SiC複合材料向けYbシリケート繊維コーティングの開発2019

    • Author(s)
      後藤健, 伊藤暁彦, 松田哲志
    • Organizer
      宇宙航空研究開発機構 宇宙科学研究所
    • Related Report
      2019 Annual Research Report
  • [Presentation] 化学気相析出法による耐環境性コーティングの合成とその機械特性評価2019

    • Author(s)
      伊藤暁彦, 松本昭源, 後藤健, 多々見純一
    • Organizer
      宇宙航空研究開発機構 宇宙科学研究所
    • Related Report
      2019 Annual Research Report
  • [Presentation] Optical and Mechanical Properties of HfO2 Films Prepared Using Metal organic Chemical Vapor Deposition2019

    • Author(s)
      A. Ito, S. Matsumoto
    • Organizer
      The Ceramic Society of Japan, and the Korean Ceramic Society
    • Related Report
      2019 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research / Invited
  • [Presentation] Preparation of HfO2 Thick Films Using Chemical Vapor Deposition and Their Mechanical Properties Measured with Microcantilever Beam2019

    • Author(s)
      S. Matsumoto, J. Tatami, A. Ito
    • Organizer
      The Ceramic Society of Japan
    • Related Report
      2019 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Multilayered Ytterbium Silicate Coatings on SiC fiber using Chemical Vapor Deposition for SiC Ceramic Matrix Composite2019

    • Author(s)
      A. Ito, T. Hara, K. Goto
    • Organizer
      The Ceramic Society of Japan
    • Related Report
      2019 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] 単斜晶HfO2厚膜の自己配向成長とマイクロカンチレバー試験片を用いた機械的特性評価2019

    • Author(s)
      松本昭源, 多々見純一, 伊藤暁彦
    • Organizer
      日本セラミックス協会 関西支部
    • Related Report
      2019 Annual Research Report
    • Invited
  • [Presentation] PLD法を用いたLu2Ti2O7薄膜の合成とその電気的特性2019

    • Author(s)
      佐藤瑛美香, 伊藤暁彦
    • Organizer
      日本セラミックス協会 関東支部
    • Related Report
      2019 Annual Research Report
  • [Presentation] 単結晶HfO2膜の化学気相析出とマイクロカンチレバ―法による機械的特性評価2019

    • Author(s)
      松本昭源, 多々見純一, 伊藤暁彦
    • Organizer
      日本セラミックス協会 関東支部
    • Related Report
      2019 Annual Research Report
  • [Presentation] MOCVDを用いたSrFe12O19膜の合成2019

    • Author(s)
      加藤起基, 伊藤暁彦
    • Organizer
      日本セラミックス協会 関東支部
    • Related Report
      2019 Annual Research Report
  • [Presentation] 化学気相析出法によるY3Fe5O12-YFeO3 系膜の合成と磁気特性評価2019

    • Author(s)
      相田穂乃香, 綿貫竜太, 伊藤暁彦
    • Organizer
      日本セラミックス協会 関東支部
    • Related Report
      2019 Annual Research Report
  • [Presentation] MOCVDを用いたTiO2/グラファイト複合材料の合成とその光触媒活性2019

    • Author(s)
      北村朱里, 伊藤暁彦
    • Organizer
      日本セラミックス協会 関東支部
    • Related Report
      2019 Annual Research Report
  • [Presentation] MOCVD法によるYIGおよびYIP 膜の合成と磁気特性2019

    • Author(s)
      相田穂乃香, 伊藤暁彦
    • Organizer
      日本セラミックス協会 エンジニアリングセラミックス部会
    • Related Report
      2019 Annual Research Report
  • [Presentation] ハフニア膜の気相合成とマイクロカンチレバー試験片を用いた機械的特性評価2019

    • Author(s)
      松本昭源, 伊藤暁彦
    • Organizer
      日本セラミックス協会 エンジニアリングセラミックス部会
    • Related Report
      2019 Annual Research Report
  • [Presentation] MOCVD法によるSrFe12O19膜の合成と磁気特性2019

    • Author(s)
      加藤起基, 伊藤暁彦
    • Organizer
      日本セラミックス協会 エンジニアリングセラミックス部会
    • Related Report
      2019 Annual Research Report
  • [Presentation] Ceramic Coatings for Structural and Functional Applications2019

    • Author(s)
      A. Ito
    • Organizer
      横浜国立大学
    • Related Report
      2019 Annual Research Report
    • Invited
  • [Presentation] Chemical Vapor Deposition of Ytterbium Silicate Coatings for SiC Ceramic Matrix Composite2019

    • Author(s)
      Akihiko Ito, Tomohiro Hara
    • Organizer
      ICACC 2019
    • Related Report
      2018 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] 化学気相析出法によるHfO2-Al2O3共晶系ナノ複合膜の合成2019

    • Author(s)
      松本昭源, 伊藤暁彦
    • Organizer
      日本セラミックス協会 2019年年会
    • Related Report
      2018 Annual Research Report
  • [Presentation] マイクロカンチレバー試験片で測定したSi-C-Oコーティングのメソスケール機械的特性2019

    • Author(s)
      多々見純一, 井本有美, 伊藤暁彦, 飯島志行, 矢矧束穂, 高橋拓実
    • Organizer
      日本セラミックス協会 2019年年会
    • Related Report
      2018 Annual Research Report
  • [Presentation] ZrO2界面相を有するSiC/SiCミニコンポジットの作製と界面力学特性の評価2019

    • Author(s)
      池田憲優, 後藤 健, 向後保雄, 井上 遼, 伊藤暁彦, 伊海雅和
    • Organizer
      日本セラミックス協会 2019年年会
    • Related Report
      2018 Annual Research Report
  • [Presentation] 化学気相析出法によるHfO2-Al2O3 共晶セラミックス被膜の合成2018

    • Author(s)
      松本昭源, 伊藤暁彦
    • Organizer
      第13回セラミックフェスタin神奈川
    • Related Report
      2018 Annual Research Report
  • [Presentation] 化学気相析出法を用いたHfO2-Al2O3共晶系ナノ複合膜の合成2018

    • Author(s)
      松本昭源, 伊藤暁彦
    • Organizer
      日本セラミックス協会 関西支部第21回 若手フォーラム
    • Related Report
      2018 Annual Research Report
    • Invited
  • [Presentation] MOCVD を用いたHfO2-Al2O3共晶系ナノ複合膜の合成における成膜温度が膜組織に及ぼす影響2018

    • Author(s)
      松本昭源, 伊藤暁彦
    • Organizer
      日本セラミックス協会 関東支部研究発表会
    • Related Report
      2018 Annual Research Report
  • [Presentation] MOCVD を用いたHfO2-Al2O3共晶系ナノ複合膜の合成2018

    • Author(s)
      松本昭源, 伊藤暁彦
    • Organizer
      日本セラミックス協会 第31回秋期シンポジウム
    • Related Report
      2018 Annual Research Report
  • [Presentation] 化学気相析出法によるYbシリケートの繊維コーティング2018

    • Author(s)
      原 朋弘, 伊藤暁彦
    • Organizer
      日本セラミックス協会 第31回秋期シンポジウム
    • Related Report
      2018 Annual Research Report
  • [Presentation] SiC/SiC向けYbシリケート繊維コーティングの開発2018

    • Author(s)
      後藤 健, 伊藤暁彦, 高橋誠治, 松田哲志, 北岡諭, 後藤孝
    • Organizer
      日本セラミックス協会 第31回秋期シンポジウム
    • Related Report
      2018 Annual Research Report
  • [Presentation] ZrO2界面相を有するSiC/SiCミニコンポジットの作製と界面力学特性の評価2018

    • Author(s)
      池田憲優, 松村佳子, 後藤 健, 向後保雄, 井上 遼, 伊藤暁彦, 伊海雅和
    • Organizer
      日本セラミックス協会 第31回秋期シンポジウム
    • Related Report
      2018 Annual Research Report
  • [Presentation] MOCVD 法による自己配向Y2O3膜の合成2018

    • Author(s)
      小澤祐哉, 伊藤暁彦
    • Organizer
      日本セラミックス協会 第31回秋期シンポジウム
    • Related Report
      2018 Annual Research Report
  • [Presentation] 気相法による新しい光学材料の合成法の開発2018

    • Author(s)
      伊藤暁彦
    • Organizer
      第13回次世代先端光科学研究会
    • Related Report
      2018 Annual Research Report
    • Invited
  • [Presentation] 気相からのHfO2-Al2O3共晶系ナノ複合膜の合成2018

    • Author(s)
      松本昭源, 伊藤暁彦
    • Organizer
      2018年度エンジニアリングセラミックス若手セミナー
    • Related Report
      2018 Annual Research Report
  • [Presentation] MOCVD法によるSrO-Fe2O3系膜の合成2018

    • Author(s)
      加藤起基, 伊藤暁彦
    • Organizer
      先進セラミックス研究会 若手セミナー2018
    • Related Report
      2018 Annual Research Report
  • [Presentation] MOCVD法によるTiO2膜コーティング2018

    • Author(s)
      北村朱里, 伊藤暁彦
    • Organizer
      先進セラミックス研究会 若手セミナー2018
    • Related Report
      2018 Annual Research Report
  • [Presentation] MOCVD法によるエピタキシャルY2O3膜の合成2018

    • Author(s)
      小澤祐哉, 伊藤暁彦
    • Organizer
      先進セラミックス研究会 若手セミナー2018
    • Related Report
      2018 Annual Research Report
  • [Presentation] 化学気相析出法によるYbシリケートの繊維コーティング2018

    • Author(s)
      原 朋弘, 伊藤暁彦
    • Organizer
      先進セラミックス研究会 若手セミナー2018
    • Related Report
      2018 Annual Research Report
  • [Presentation] MOCVD法によるY2O3-Fe2O3系薄膜の合成2018

    • Author(s)
      相田穂乃香, 伊藤暁彦
    • Organizer
      先進セラミックス研究会 若手セミナー2018
    • Related Report
      2018 Annual Research Report
  • [Presentation] MOCVD法を用いたWO3膜の合成2018

    • Author(s)
      森下裕貴, 伊藤暁彦
    • Organizer
      先進セラミックス研究会 若手セミナー2018
    • Related Report
      2018 Annual Research Report
  • [Presentation] ナノ構造制御した高機能ナノ複相膜コーティング技術2018

    • Author(s)
      伊藤暁彦
    • Organizer
      JSTイノベーション・ジャパン2018
    • Related Report
      2018 Annual Research Report
  • [Presentation] Chemical Vapor Deposition of Nanostructured Ceramic Coatings2018

    • Author(s)
      Akihiko Ito
    • Organizer
      ISAC-6
    • Related Report
      2017 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research / Invited
  • [Presentation] Nanostructured Ceramic Coatings Synthesized by Metal-Organic Chemical Vapor Deposition2018

    • Author(s)
      Akihiko Ito
    • Organizer
      ICACC 2018
    • Related Report
      2017 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research / Invited
  • [Presentation] 気相法とレーザープロセスを活用したセラミックスコーティング2017

    • Author(s)
      伊藤暁彦
    • Organizer
      第6回バルクセラミックス若手セミナー
    • Related Report
      2017 Annual Research Report
    • Invited
  • [Presentation] 化学気相析出法によるハフニア厚膜の高速合成2017

    • Author(s)
      松本昭源、伊藤暁彦
    • Organizer
      第6回バルクセラミックス若手セミナー
    • Related Report
      2017 Annual Research Report
  • [Presentation] High-speed Structural Control for Functionalization of Various Oxide Films2017

    • Author(s)
      Akihiko Ito
    • Organizer
      ICMCTF-2017
    • Related Report
      2017 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research / Invited
  • [Remarks] ITO LAB | YNU - 横浜国立大学大学院 環境情報研究院 伊藤研究室

    • URL

      https://itonium.net/ynu/

    • Related Report
      2019 Annual Research Report
  • [Remarks] 横浜国立大学 研究者総覧 - 伊藤暁彦

    • URL

      https://er-web.ynu.ac.jp/html/ITO_Akihiko/ja.html

    • Related Report
      2019 Annual Research Report
  • [Remarks] 伊藤暁彦研究室 :: 横浜国立大学大学院 環境情報研究院 :: 化学EP

    • URL

      http://itonium.net/ynu/

    • Related Report
      2018 Annual Research Report
  • [Patent(Industrial Property Rights)] セラミックス被膜とその製造方法2020

    • Inventor(s)
      伊藤暁彦, 松本昭源
    • Industrial Property Rights Holder
      伊藤暁彦, 松本昭源
    • Industrial Property Rights Type
      特許
    • Industrial Property Number
      2020-058685
    • Filing Date
      2020
    • Related Report
      2019 Annual Research Report
  • [Patent(Industrial Property Rights)] セラミックス蛍光体およびセラミックス蛍光体の製造方法2020

    • Inventor(s)
      伊藤暁彦, 松本昭源, 柳田健之, 河口範明
    • Industrial Property Rights Holder
      伊藤暁彦, 松本昭源, 柳田健之, 河口範明
    • Industrial Property Rights Type
      特許
    • Industrial Property Number
      2020-048265
    • Filing Date
      2020
    • Related Report
      2019 Annual Research Report

URL: 

Published: 2017-04-28   Modified: 2021-02-19  

Information User Guide FAQ News Terms of Use Attribution of KAKENHI

Powered by NII kakenhi