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シリコンフォトニクス用電流注入型ゲルマニウムレーザーの開拓

Research Project

Project/Area Number 17J10044
Research Category

Grant-in-Aid for JSPS Fellows

Allocation TypeSingle-year Grants
Section国内
Research Field Optical engineering, Photon science
Research InstitutionThe University of Tokyo

Principal Investigator

八子 基樹  東京大学, 工学系研究科, 特別研究員(DC2)

Project Period (FY) 2017-04-26 – 2019-03-31
Project Status Completed (Fiscal Year 2018)
Budget Amount *help
¥1,900,000 (Direct Cost: ¥1,900,000)
Fiscal Year 2018: ¥900,000 (Direct Cost: ¥900,000)
Fiscal Year 2017: ¥1,000,000 (Direct Cost: ¥1,000,000)
Keywordsシリコンフォトニクス / ゲルマニウム / 結晶成長 / 貫通転位 / 半導体レーザー
Outline of Annual Research Achievements

本研究の目的は、高速・大容量通信を可能にするとされるシリコンフォトニクス技術においてボトルネックとなっているレーザー光源を開拓することである。Si基板上に直接集積することができ、光通信波長帯において発光するGeが発光材料として有望視されているが、これまでに報告されているGe発光素子(レーザー)は動作エネルギーが理論値よりも二桁程度大きく、実用化には程遠いものであった。この理由として、Si基板上に集積されたGeには内部及びSiとGeの界面付近に非常に高密度に欠陥が存在し、その欠陥によって発光効率が著しく低下するためと考えられてきた。
本研究では平成29年度までにGe中の欠陥(貫通転位)の密度を低減するために逆リブ構造(SiとGeの界面付近に部分的に空隙をもつ構造)が有用であることを報告してきた。平成30年度は、逆リブ構造による貫通転位密度の低減効果を、理論モデル・貫通転位密度測定及び透過型電子顕微鏡観察により実証した結果を学術論文において発表した。
加えて、SiとGeの界面において発光を大きく妨げる機構が働くこと、及びGeの表面を酸素雰囲気中で熱処理することでGe表面における光損失が著しく低減されることを実験的に示し、国際学会及び学術論文にて発表した。
逆リブ構造と酸素雰囲気中での熱処理によって発光効率が増大したと期待されるGeを用いて発光素子の試作を行い、試作した素子からの発光を測定した。レーザーとしての動作を確認することはできなかったが、逆リブ構造のない、従来構造のGeと比較して良好な発光特性が見られ、高効率Geレーザーの実現に向けた進歩が見られた。この結果は学術論文において発表した。

Research Progress Status

平成30年度が最終年度であるため、記入しない。

Strategy for Future Research Activity

平成30年度が最終年度であるため、記入しない。

Report

(2 results)
  • 2018 Annual Research Report
  • 2017 Annual Research Report
  • Research Products

    (15 results)

All 2019 2018 2017 Other

All Int'l Joint Research (4 results) Journal Article (5 results) (of which Int'l Joint Research: 4 results,  Peer Reviewed: 4 results) Presentation (6 results) (of which Int'l Joint Research: 3 results)

  • [Int'l Joint Research] Massachusetts Institute of Technology(米国)

    • Related Report
      2018 Annual Research Report
  • [Int'l Joint Research] Kookmin University(韓国)

    • Related Report
      2018 Annual Research Report
  • [Int'l Joint Research] マサチューセッツ工科大学(米国)

    • Related Report
      2017 Annual Research Report
  • [Int'l Joint Research] 国民大学校(韓国)

    • Related Report
      2017 Annual Research Report
  • [Journal Article] Impact of interface recombination on direct-gap photoluminescence from Ge epitaxial layers on Si2019

    • Author(s)
      Yako Motoki、Higashitarumizu Naoki、Ishikawa Yasuhiko
    • Journal Title

      Japanese Journal of Applied Physics

      Volume: 58 Issue: SB Pages: SBBE08-SBBE08

    • DOI

      10.7567/1347-4065/aafd96

    • NAID

      210000135389

    • Related Report
      2018 Annual Research Report
    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] High concentration phosphorus doping in Ge for CMOS-integrated laser applications2019

    • Author(s)
      Park Chan-Hyuck、Yako Motoki、Wada Kazumi、Ishikawa Yasuhiko、Ahn Donghwan
    • Journal Title

      Solid-State Electronics

      Volume: 154 Pages: 43-49

    • DOI

      10.1016/j.sse.2019.02.007

    • Related Report
      2018 Annual Research Report
    • Peer Reviewed / Int'l Joint Research
  • [Journal Article] Coalescence induced dislocation reduction in selectively grown lattice-mismatched heteroepitaxy: Theoretical prediction and experimental verification2018

    • Author(s)
      Yako Motoki、Ishikawa Yasuhiko、Wada Kazumi
    • Journal Title

      Journal of Applied Physics

      Volume: 123 Issue: 18 Pages: 185304-185304

    • DOI

      10.1063/1.5011421

    • Related Report
      2018 Annual Research Report
    • Peer Reviewed / Int'l Joint Research
  • [Journal Article] Defects and their reduction in Ge selective epitaxy and coalescence layer on Si with semicylindrical voids on SiO<formula> <tex>$_{2}$</tex> </formula> masks2018

    • Author(s)
      Yako Motoki、Ishikawa Yasuhiko、Abe Eiji、Wada Kazumi
    • Journal Title

      IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics

      Volume: Vol. 24 Pages: 1-1

    • DOI

      10.1109/jstqe.2018.2846027

    • Related Report
      2018 Annual Research Report
    • Peer Reviewed / Int'l Joint Research
  • [Journal Article] Reduction of threading dislocations by image force in Ge selective epilayers on Si2018

    • Author(s)
      Yako Motoki、Ishikawa Yasuhiko、Abe Eiji、Wada Kazumi
    • Journal Title

      Proceedings of SPIE Photonics Asia

      Volume: 108230F Pages: 14-14

    • DOI

      10.1117/12.2501081

    • Related Report
      2018 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] チップ上光源に向けたSi上inverted-rib Ge層の発光特性評価2019

    • Author(s)
      八子 基樹、Chan-Hyuck Park、Donghwan Ahn、和田 一実、石川 靖彦
    • Organizer
      第66回応用物理学会春季学術講演会
    • Related Report
      2018 Annual Research Report
  • [Presentation] トンネル状空隙の導入によるSi上Ge層の貫通転位密度低減2018

    • Author(s)
      八子 基樹、石川 靖彦、和田 一実
    • Organizer
      電子情報通信学会 シリコン・デバイス研究会
    • Related Report
      2018 Annual Research Report
  • [Presentation] Order-of-magnitude enhancement of direct-gap photoluminescence from patterned Ge epitaxial layers on Si induced by a wet chemical treatment2018

    • Author(s)
      八子 基樹、石川 靖彦
    • Organizer
      2018 International Conference on SSDM
    • Related Report
      2018 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Reduction of threading dislocations by image force in Ge selective epilayers on Si2018

    • Author(s)
      八子 基樹、石川 靖彦、阿部 英司、和田 一実
    • Organizer
      SPIE Photonics Asia, Asia
    • Related Report
      2018 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Si 基板上 inverted-rib 構造 Ge 選択成長層における貫通転位密度低減2018

    • Author(s)
      八子基樹、石川靖彦、和田一実
    • Organizer
      第65回応用物理学会春季学術講演会
    • Related Report
      2017 Annual Research Report
  • [Presentation] Threading dislocation trapping by air tunnels in Ge-on-Si2017

    • Author(s)
      M. Yako, Y. Ishikawa, E. Abe and K. Wada
    • Organizer
      The 29th International Conference on Defects in Semiconductors
    • Related Report
      2017 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research

URL: 

Published: 2017-05-25   Modified: 2024-03-26  

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