Development of Totally ultra-clean laboratory system of uni-sized material research modules
| Project/Area Number |
18205021
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
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| Allocation Type | Single-year Grants |
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| Section | 一般 |
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| Research Field |
Functional materials/Devices
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| Research Institution | The University of Tokyo |
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Principal Investigator |
KOINUMA Hideomi The University of Tokyo, 大学院・新領域創成科学研究科, 特任研究員 (70011187)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
CHIKYOW Toyohiro 独立行政法人物質, 材料研究機構・ナノマテリアル研究所, リサーチフェロー (10354333)
ITAKA Kenji 東京大学, 大学院・新領域創成科学研究科, 特任研究員 (40422399)
OHNISHI Tsuyoshi 東京大学, 物性研究所, 助教 (80345230)
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| Co-Investigator(Renkei-kenkyūsha) |
OHNISHI Tsuyoshi 東京大学, 物性研究所, 助教 (80345230)
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| Project Period (FY) |
2006 – 2008
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| Project Status |
Completed (Fiscal Year 2008)
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| Budget Amount *help |
¥50,960,000 (Direct Cost: ¥39,200,000、Indirect Cost: ¥11,760,000)
Fiscal Year 2008: ¥4,160,000 (Direct Cost: ¥3,200,000、Indirect Cost: ¥960,000)
Fiscal Year 2007: ¥22,230,000 (Direct Cost: ¥17,100,000、Indirect Cost: ¥5,130,000)
Fiscal Year 2006: ¥24,570,000 (Direct Cost: ¥18,900,000、Indirect Cost: ¥5,670,000)
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| Keywords | 電子・電気材料 / MBE、エピタキシャル / ナノ材料 / 超薄膜 / 表面・界面物性 |
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| Research Abstract |
物理的・化学的に超クリーンな環境で、合成から構造解析・物性評価に至るプロセスを一貫して進行させる高速かつ省エネルギーな革新的ものづくり研究開発システムの構築を目指し、超小型パルスレーザ薄膜堆積ユニットと、複数のモジュールを接続するフレキシブル試料搬送ユニット(中央制御機構)を開発した。超小型KrF レーザや板バネを用いた新搬送機構の採用によりスペースを従来システムの1/4以下にし、かつ自由度の高い薄膜・評価システムの構築を実現した。
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Report
(4 results)
Research Products
(74 results)
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[Journal Article] Thickness dependence of magnetic domain formation in La0.6Sr0.4MnO3 epitaxial thin films studied by XMCD-PEEM2007
Author(s)
T. Taniuchi, R. Yasuhara, H. Kumigashira, M. Kubota, H. Okazaki, T. Wakita, T. Yokoya, K. Ono, M. Oshima, M. Lippmaa, M. Kawasaki , H. Koinuma
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Journal Title
Surf. Sci 601
Pages: 4690-4693
Related Report
Peer Reviewed
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[Journal Article] Magnetic domain structure of a technically patterned ferromagnetic La0.6Sr0.4MnO3 thin film2007
Author(s)
M. Kubota, T. Taniuchi, R. Yasuhara, H. Kumigashira, M. Oshima, K. Ono, H. Okazaki, T. Wakita, T. Yokoya, H. Akinaga, M. Lippmaa, M. Kawasaki , H. Koinuma
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Journal Title
Appl. Phys. Lett 91
Pages: 182503-182503
Related Report
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