High Speed and High Precision Measurement of Nanometric 3D Edge Profiles of Next Generation Diamond Micro-Tools
| Project/Area Number |
18206016
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
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| Allocation Type | Single-year Grants |
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| Section | 一般 |
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| Research Field |
Production engineering/Processing studies
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| Research Institution | Tohoku University |
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Principal Investigator |
GAO Wei Tohoku University, 大学院・工学研究科, 教授 (70270816)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
ONO Takahito 東北大学, 大学院・工学研究科, 准教授 (90282095)
KURIYAGAWA Tsunemoto 東北大学, 大学院・工学研究科, 教授 (90170092)
SHIMIZU Hiroki 九州工業大学, 工学部, 准教授 (50323043)
荒井 義和 東北大学, 大学院・工学研究科, 助教 (20455801)
居 冰峰 東北大学, 大学院工学研究科, 助手 (10431529)
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| Project Period (FY) |
2006 – 2008
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| Project Status |
Completed (Fiscal Year 2008)
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| Budget Amount *help |
¥50,050,000 (Direct Cost: ¥38,500,000、Indirect Cost: ¥11,550,000)
Fiscal Year 2008: ¥8,840,000 (Direct Cost: ¥6,800,000、Indirect Cost: ¥2,040,000)
Fiscal Year 2007: ¥10,400,000 (Direct Cost: ¥8,000,000、Indirect Cost: ¥2,400,000)
Fiscal Year 2006: ¥30,810,000 (Direct Cost: ¥23,700,000、Indirect Cost: ¥7,110,000)
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| Keywords | エッジ / 3次元形状 / 計測 / マイクロ / 工具 / 光プローブ / アライメント / AFM / 三次元形状 |
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| Research Abstract |
先端のコ-ナ半径が非常に小さな(1μm程度)超精密切削加工用のダイヤモンドツールのエッジの形状を原子間力顕微鏡(AFM)により計測するため, 専用の計測装置を製作した. また, 計測の際に必要となるAFMプローブとツールとの位置合わせ(アライメント)を実現するため, 光プローブを利用したアライメント機構を開発した.
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Report
(4 results)
Research Products
(37 results)
