Production of Hybrid Plasma Based on Shunting Arc Discharge and its Application for Surface Treatments
| Project/Area Number |
18340181
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
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| Allocation Type | Single-year Grants |
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| Section | 一般 |
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| Research Field |
Plasma science
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| Research Institution | Iwate University |
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Principal Investigator |
TAKAKI Koichi Iwate University, 工学部, 准教授 (00216615)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
MUKAIGAWA Seiji 岩手大学, 工学部, 助教 (60333754)
FUJIWARA Tamiya 岩手大学, 工学部, 教授 (70042207)
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| Project Period (FY) |
2006 – 2008
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| Project Status |
Completed (Fiscal Year 2008)
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| Budget Amount *help |
¥13,840,000 (Direct Cost: ¥11,500,000、Indirect Cost: ¥2,340,000)
Fiscal Year 2008: ¥2,080,000 (Direct Cost: ¥1,600,000、Indirect Cost: ¥480,000)
Fiscal Year 2007: ¥8,060,000 (Direct Cost: ¥6,200,000、Indirect Cost: ¥1,860,000)
Fiscal Year 2006: ¥3,700,000 (Direct Cost: ¥3,700,000)
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| Keywords | プラズマ応用 / プラズマ / シャンティングアーク / DLC / PBII / アーク放電 / 成膜 / 複合プラズマ / イオン注入 / カーボン |
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| Research Abstract |
金属線やロッドに電流を流すとジュール加熱で, 材料表面から電子放出や材料の気化が起き, 材料近傍の絶縁耐圧が低下し, 放電へと至る. 本研究では, この放電プラズマの高密度化, 大体積化, 複合化を目的に, 磁気駆動, ロッドの長大化および並列駆動, 雰囲気ガスや, 電極およびロッド材の組合せによる, 複合プラズマの生成を行った. 窒素中で炭素シャンティングアーク放電を生成し, 窒素と炭素の複合プラズマの生成に成功した. このプラズマを用いて成膜を行ったところ, N/C比率は窒素気圧2Pa, ターゲット電圧-2kVで0.58となった. またチタン電極と炭素ロッドの組合せで, Ti含有のDLC膜が堆積できた.
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Report
(4 results)
Research Products
(50 results)
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[Book]2008
Author(s)
行村建編著(高木浩一, 藤原民也分筆)
Publisher
EE Text放電プラズマ工学,オーム社
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