Formation of rugate-type multilayered porous silicon aiming at application to sensors
| Project/Area Number |
18350107
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
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| Allocation Type | Single-year Grants |
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| Section | 一般 |
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| Research Field |
Inorganic industrial materials
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| Research Institution | Kyoto University |
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Principal Investigator |
OGATA Yukio Kyoto University, エネルギー理工学・研究所, 教授 (30152375)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
SAKKA Tetsuo 京都大学, エネルギー理工学・研究所, 准教授 (10196206)
FUKAMI Kazuhiro 京都大学, エネルギー理工学・研究所, 助教 (60452322)
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| Project Period (FY) |
2006 – 2008
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| Project Status |
Completed (Fiscal Year 2008)
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| Budget Amount *help |
¥17,140,000 (Direct Cost: ¥14,800,000、Indirect Cost: ¥2,340,000)
Fiscal Year 2008: ¥3,640,000 (Direct Cost: ¥2,800,000、Indirect Cost: ¥840,000)
Fiscal Year 2007: ¥6,500,000 (Direct Cost: ¥5,000,000、Indirect Cost: ¥1,500,000)
Fiscal Year 2006: ¥7,000,000 (Direct Cost: ¥7,000,000)
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| Keywords | 多孔質シリコン / 半導体多層膜 / 光学センサー / 陽極酸化 |
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| Research Abstract |
電気化学的にシリコン表面を多孔質化し、その多孔構造を正弦波的に変化させた多層構造(ルゲート型構造)を作製した。ルゲート型構造は光学フィルターとして働く。アルコール蒸気環境下において、多孔層内に物質が凝縮することにより多層構造の屈折率が変化する。この結果生じる反射光の波長変化をアルコール蒸気の検出に応用した。センシングを目的とする多層構造の構造最適化を図り、物質の検出濃度限界を明らかにした。
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Report
(4 results)
Research Products
(50 results)
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[Presentation]2008
Author(s)
M. S. M. Salem, M. J. Sailor, 深見一弘, 作花哲夫, 尾形幸生
Organizer
表面技術協会第118回講演大会
Place of Presentation
近畿大学, 東大阪市
Year and Date
2008-09-01
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