Development of a compact vacuum ultraviolet laser using a hollow fiber for plasma regulation and applications to photo-materials processing
| Project/Area Number |
18360040
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
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| Allocation Type | Single-year Grants |
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| Section | 一般 |
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| Research Field |
Applied optics/Quantum optical engineering
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| Research Institution | University of Miyazaki |
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Principal Investigator |
KUBODERA Shoichi University of Miyazaki, 工学部, 教授 (00264359)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
KAWANAKA Junji 大阪大学, レーザーエネルギー学研究センター, 准教授 (50264362)
KATTO Masahito 宮崎大学, 産学連携センター, 准教授 (80268466)
YOKOTANI Atsushi 宮崎大学, 工学部, 教授 (00183989)
KAKU Masanori 宮崎大学, 工学部, 助教 (10425621)
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| Project Period (FY) |
2006 – 2008
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| Project Status |
Completed (Fiscal Year 2008)
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| Budget Amount *help |
¥9,220,000 (Direct Cost: ¥7,900,000、Indirect Cost: ¥1,320,000)
Fiscal Year 2008: ¥1,690,000 (Direct Cost: ¥1,300,000、Indirect Cost: ¥390,000)
Fiscal Year 2007: ¥4,030,000 (Direct Cost: ¥3,100,000、Indirect Cost: ¥930,000)
Fiscal Year 2006: ¥3,500,000 (Direct Cost: ¥3,500,000)
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| Keywords | 真空紫外光 / 希ガスエキシマ / 光電界電離 / 中空ファイバー / 超短パルス高強度レーザー / 光物質プロセス / 真空紫外 / 卓上型レーザー / 高強度レーザー / 光プロセス / 短波長光源技術 |
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| Research Abstract |
アルゴンで充たされた中空ファイバー内に高強度レーザー励起の光電界電離プラズマを生成し, 波長126nmの真空紫外アルゴンエキシマ増幅を行い, その特性を評価した. また希ガスを非線形媒質として超短パルス赤外光の第7高調波(波長126nm)の最適化を行った. 一台の励起用超短パルス高強度レーザーを用いて, アルゴンプラズマ増幅器と第7高調波を発生する増幅システムを構成し, 第7高調波出力の増幅を観測した. これらと並行して各種真空紫外光エネルギーに対する物質の脱離, 解離, 分解等の基礎過程を明らかにした.
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Report
(4 results)
Research Products
(52 results)
