Surface Forces between Multi-layers in Nano-scale and Application to MEMS/NEMS
| Project/Area Number |
18360078
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
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| Allocation Type | Single-year Grants |
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| Section | 一般 |
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| Research Field |
Design engineering/Machine functional elements/Tribology
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| Research Institution | Tottori University |
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Principal Investigator |
MATSUOKA Hiroshige Tottori University, 大学院・工学研究科, 准教授 (10314569)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
FUKUI Shigehisa 鳥取大学, 大学院・工学研究科, 教授 (40273883)
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| Project Period (FY) |
2006 – 2008
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| Project Status |
Completed (Fiscal Year 2008)
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| Budget Amount *help |
¥14,670,000 (Direct Cost: ¥12,900,000、Indirect Cost: ¥1,770,000)
Fiscal Year 2008: ¥1,040,000 (Direct Cost: ¥800,000、Indirect Cost: ¥240,000)
Fiscal Year 2007: ¥6,630,000 (Direct Cost: ¥5,100,000、Indirect Cost: ¥1,530,000)
Fiscal Year 2006: ¥7,000,000 (Direct Cost: ¥7,000,000)
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| Keywords | ナノ複合膜 / 表面・界面物性 / ナノマシン / 機械要素 / 超精密計測 / ヘッド・ディスク・インターフェース / 原子間力顕微鏡 / ナノトライボロジー / トライボロジー |
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| Research Abstract |
複数の任意の物質で構成されるナノ複合膜間の表面間相互作用の特性解明とその応用を目指し、理論的取扱い手法, 計測手法を開発するとともに、実際の微小機械、具体的には、磁気ディスクのヘッド・ディスク・インターフェース(HDI)および原子間力顕微鏡(AFM)のカンチレバー振動の特性解析に応用し、それらの挙動に与える影響を明らかにした。
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Report
(4 results)
Research Products
(36 results)
