| Budget Amount *help |
¥17,560,000 (Direct Cost: ¥14,800,000、Indirect Cost: ¥2,760,000)
Fiscal Year 2008: ¥5,200,000 (Direct Cost: ¥4,000,000、Indirect Cost: ¥1,200,000)
Fiscal Year 2007: ¥6,760,000 (Direct Cost: ¥5,200,000、Indirect Cost: ¥1,560,000)
Fiscal Year 2006: ¥5,600,000 (Direct Cost: ¥5,600,000)
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| Research Abstract |
本申請研究では, 将来型半導体の製造に欠かすことのできない超静粛フィールドの創成を目的に, 各種静粛化制御手法を提案した. まず, 波動制御およびActive Boundary Control の観点から, 無振動・無騒音状態の生成手法を提案した. また, 振動と音の連成問題に着目し, 当該現象における直交因子を見出した. さらに, 繰り返し構造物におけるモード・ローカライゼーション制御を提案し, 当該構造物の外乱点近傍に振動エネルギを定在させる制御法を提案した.
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