| Project/Area Number |
18360158
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
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| Allocation Type | Single-year Grants |
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| Section | 一般 |
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| Research Field |
Electron device/Electronic equipment
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| Research Institution | Tohoku University |
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Principal Investigator |
ODAGAWA Hiroyuki Tohoku University, 大学院・工学研究科, 准教授 (00250845)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
KUSHIBIKI Jun-ichi 東北大学, 大学院・工学研究科, 教授 (50108578)
ARAKAWA Mototaka 東北大学, 大学院・工学研究科, 助教 (00333865)
OHASHI Yuji 東北大学, 大学院・工学研究科, 助教 (50396462)
鹿田 真一 独立行政法人産業技術総合研究所, ダイヤモンド研究センター, 研究チーム長 (00415689)
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| Co-Investigator(Renkei-kenkyūsha) |
SHIKATA Shinichi 独立行政法人産業技術総合研究所, ダイヤモンド研究センター, 研究チーム長 (00415689)
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| Project Period (FY) |
2006 – 2008
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| Project Status |
Completed (Fiscal Year 2008)
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| Budget Amount *help |
¥16,370,000 (Direct Cost: ¥14,900,000、Indirect Cost: ¥1,470,000)
Fiscal Year 2008: ¥2,990,000 (Direct Cost: ¥2,300,000、Indirect Cost: ¥690,000)
Fiscal Year 2007: ¥3,380,000 (Direct Cost: ¥2,600,000、Indirect Cost: ¥780,000)
Fiscal Year 2006: ¥10,000,000 (Direct Cost: ¥10,000,000)
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| Keywords | ダイヤモンド / 超音波 / 超音波計測 / ダイヤモンド薄膜 / 弾性表面波 / 超精密計測 / 電子・電気材料 |
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| Research Abstract |
薄層の弾性特性を評価する技術を拡張して、基板上の薄膜の弾性特性を評価する方法について検討した。また、ダイヤモンド薄膜を用いたSAWデバイスの特性向上には、ダイヤモンド薄膜、ZnO圧電薄膜、SiO_2薄膜の音響特性の評価が不可欠である。それぞれについて、超音波マイクロスペクトロスコピー技術を基礎として、音響特性を評価する方法を検討し、実際にその評価を行った。
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