Indentation contact mechanics of inorganic/organic hybrid coating and its application to the technology of micro-patterning
| Project/Area Number |
18360315
|
|---|
| Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
|
| Allocation Type | Single-year Grants |
|---|
| Section | 一般 |
|---|
| Research Field |
Inorganic materials/Physical properties
|
|---|
| Research Institution | Toyohashi University of Technology |
|---|
Principal Investigator |
SAKAI Mototsugu Toyohashi University of Technology, 工学部, 教授 (50124730)
|
|---|
| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
SAKAI Mototsugu 豊橋技術科学大学, 工学部, 教授 (50124730)
MATSUDA Atsunori 豊橋技術科学大学, 工学部, 教授 (70295723)
MUTO Hiroyuki 豊橋技術科学大学, 工学部, 准教授 (20293756)
宮島 達也 豊橋技術科学大学, 工学部, 研究員 (10358129)
|
|---|
| Co-Investigator(Renkei-kenkyūsha) |
MIYAJIMA Tatsuya 産業技術総合研究所, 計測フロンティア研究部門, 研究員 (10358129)
|
|---|
| Project Period (FY) |
2006 – 2008
|
| Project Status |
Completed (Fiscal Year 2008)
|
| Budget Amount *help |
¥17,360,000 (Direct Cost: ¥14,600,000、Indirect Cost: ¥2,760,000)
Fiscal Year 2008: ¥3,900,000 (Direct Cost: ¥3,000,000、Indirect Cost: ¥900,000)
Fiscal Year 2007: ¥8,060,000 (Direct Cost: ¥6,200,000、Indirect Cost: ¥1,860,000)
Fiscal Year 2006: ¥5,400,000 (Direct Cost: ¥5,400,000)
|
|---|
| Keywords | 圧子力学 / 顕微インデンター / 弾性 / 弾塑性 / 粘弾性 / ハイブリド膜 / 膜 / 基板複合体 / 硬度 / ハイブリッド膜 / 複合体基板 / Meyer硬度 / 基板複層体 |
|---|
| Research Abstract |
圧子力学研究分野において長年の「夢」であった圧子接触面積の直接計測を可能とする顕微インデンターを開発し, ミクロ・ナノ領域における力学物性の定量計測・評価を実現し, さらに圧子力学の学問としての体系化を試みた。この計測システムを用い, 無機/有機ハイブリッド膜の弾塑性/粘弾性の定量評価を行い, マイクロレンズアレイ作製等で重要な技術要素となるマイクロパターニング技術への重要な知見を得た。
|
Report
(4 results)
Research Products
(40 results)
