Novel electrochemical nanofabrication process for developing precise micro-chemical analytical systems
| Project/Area Number |
18360357
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
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| Allocation Type | Single-year Grants |
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| Section | 一般 |
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| Research Field |
Material processing/treatments
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| Research Institution | Waseda University |
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Principal Investigator |
HOMMA Takayuki Waseda University, 理工学術院, 教授 (80238823)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
逢坂 哲彌 早稲田大学, 理工学術院, 教授 (20097249)
佐藤 裕崇 早稲田大学, 理工学術院, 助手 (90386607)
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| Project Period (FY) |
2006 – 2008
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| Project Status |
Completed (Fiscal Year 2008)
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| Budget Amount *help |
¥13,520,000 (Direct Cost: ¥11,600,000、Indirect Cost: ¥1,920,000)
Fiscal Year 2008: ¥4,290,000 (Direct Cost: ¥3,300,000、Indirect Cost: ¥990,000)
Fiscal Year 2007: ¥4,030,000 (Direct Cost: ¥3,100,000、Indirect Cost: ¥930,000)
Fiscal Year 2006: ¥5,200,000 (Direct Cost: ¥5,200,000)
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| Keywords | ナノ加工 / 電気化学反応 / シリコンプロセス / MEMS / ナノ構造体 / 機能ナノ構造体 |
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| Research Abstract |
金属析出やエッチングなど種々のナノ加工に適用される電気化学反応系を理論的・実験的手法により詳細に解析すると共に,その特徴を活かした新規なプロセスの開発を試みた.その結果,Si表面へサブμmサイズの微細リアクターアレイを形成できるプロセスを得るとともに,これを基にしたリアクター系の構築を実現した.さらに強磁性ナノドットアレイなど種々のシステムに適用可能な機能ナノ構造体の精密形成プロセスを確立した.
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Report
(4 results)
Research Products
(65 results)
