Synthesis of periodic nanoporous silica and silica phosphate films and their applications to electronic devices
| Project/Area Number |
18360374
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
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| Allocation Type | Single-year Grants |
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| Section | 一般 |
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| Research Field |
Properties in chemical engineering process/Transfer operation/Unit operation
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| Research Institution | Osaka University |
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Principal Investigator |
UEYAMA Korekazu Osaka University, 大学院・基礎工学研究科, 教授 (10092149)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
NISHIYAMA Norikazu 大阪大学, 大学院・基礎工学研究科, 准教授 (10283730)
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| Project Period (FY) |
2006 – 2008
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| Project Status |
Completed (Fiscal Year 2008)
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| Budget Amount *help |
¥18,240,000 (Direct Cost: ¥15,600,000、Indirect Cost: ¥2,640,000)
Fiscal Year 2008: ¥4,160,000 (Direct Cost: ¥3,200,000、Indirect Cost: ¥960,000)
Fiscal Year 2007: ¥7,280,000 (Direct Cost: ¥5,600,000、Indirect Cost: ¥1,680,000)
Fiscal Year 2006: ¥6,800,000 (Direct Cost: ¥6,800,000)
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| Keywords | 構造・機能材料 / ナノ材料 / 燃料電池 / 電子 / 電気材料 / 薄膜 / メソポーラスシリカ / Low-k / 電解質膜 / リン酸塩 / low-k |
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| Research Abstract |
規則配列した均一メソ孔を有するメソポーラスシリカの薄膜化を行った。メソポーラスシリカ薄膜の熱的、機械的安定性を向上させるために界面活性剤(有機テンプレート)薄膜にシリカ源を蒸気で供給する合成手法(蒸気合成法)を開発した。次世代Low-k材料や燃料電池電解質膜の開発を目指して、蒸気合成したシリカ薄膜およびリン酸シリケート薄膜の誘電率やプロトン伝導性を測定し、その可能性を示した
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Report
(4 results)
Research Products
(23 results)
