Studies on the Hybrid Simulation System of Molecular Dynamics and Monte Carlo Methods for Electrodeposition
Project/Area Number |
18560059
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Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
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Allocation Type | Single-year Grants |
Section | 一般 |
Research Field |
Engineering fundamentals
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Research Institution | Kyoto University |
Principal Investigator |
KANEKO Yutaka Kyoto University, 大学院・情報学研究科, 助教 (00169583)
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Project Period (FY) |
2006 – 2008
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Project Status |
Completed (Fiscal Year 2008)
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Budget Amount *help |
¥3,850,000 (Direct Cost: ¥3,400,000、Indirect Cost: ¥450,000)
Fiscal Year 2008: ¥910,000 (Direct Cost: ¥700,000、Indirect Cost: ¥210,000)
Fiscal Year 2007: ¥1,040,000 (Direct Cost: ¥800,000、Indirect Cost: ¥240,000)
Fiscal Year 2006: ¥1,900,000 (Direct Cost: ¥1,900,000)
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Keywords | めっき / 分子動力学法 / モンテカルロ法 / 添加剤 |
Research Abstract |
分子スケールでのめっきの新しいシミュレーション法として分子動力学法とモンテカルロ法を統合した方法を開発し、表面処理分野に必要なめっきのシミュレーションシステムを構築した。このシステムを用いて、溶液中の添加剤の作用を解析し、添加剤の平滑作用と孔埋め込みへの影響について多くの知見を得た。さらに、めっきによるLSI配線作成の動的モンテカルロ計算のプログラムを開発し、欠陥を含まない配線作成に最適な添加剤の条件の探索を可能とした。
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Report
(4 results)
Research Products
(21 results)