Development of an optical profiling sensor suppressing outliers and able to deal with inclinations

• Project/Area Number: 18560120
• Research Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• Allocation Type: Single-year Grants
• Section: 一般
• Research Field: Production engineering/Processing studies
• Research Institution: Tokyo Metropolitan College of Industrial Technology
• Principal Investigator: FUKATSU Hiroya Tokyo Metropolitan College of Industrial Technology, ものづくり工学科, 教授 (80228866)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): YANAGI Kazuhisa 長岡技術科学大学, 工学部, 教授 (80108216)
• Project Period (FY): 2006 – 2008
• Project Status: Completed (Fiscal Year 2008)
• Budget Amount: ¥4,070,000 (Direct Cost: ¥3,500,000、Indirect Cost: ¥570,000); Fiscal Year 2008: ¥650,000 (Direct Cost: ¥500,000、Indirect Cost: ¥150,000); Fiscal Year 2007: ¥1,820,000 (Direct Cost: ¥1,400,000、Indirect Cost: ¥420,000); Fiscal Year 2006: ¥1,600,000 (Direct Cost: ¥1,600,000)
• Keywords: 非接触表面性状測定 / 光触針 / スペックルノイズ / 楕円スポット / 表面性状測定 / 半導体レーザ / 小穴計測 / 共焦点方式 / 輪郭形状測定 / 非接触式 / スペックル / 輪郭形状

Research Abstract

(1)照射スポット形状を円形から楕円形に変換した共焦点式光触針式センサの光学系を構築し、楕円照射スポットがスペックルノイズ低減-異常値の抑制に大きな効果を持つことを実証した。
(2)楕円形スポット-共焦点式光触針式センサの実用化を目指し、センサの小型化を行った(外形寸法は95mm×75mm×52mm)

Research Products

• [Journal Article] 非接触式倣いプローブの開発 (2007)
  • Author(s): 深津拡也, 柳 和久
  • Journal Title: 精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 Pages: 321-322
  • NAID: 130005028452
• [Journal Article] 楕円スポットを用いた共焦点式輪郭形状センサの開発 (2006)
  • Author(s): 深津拡也, 柳 和久
  • Journal Title: 精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集 Pages: 161-162
  • NAID: 130004658001
• [Presentation] 小径穴内面形状測定センサの開発 (2008)
  • Author(s): 石川貴之
  • Organizer: 日本設計工学会
  • Place of Presentation: 明星大学
  • Year and Date: 2008-05-23
• [Presentation] Development of a confocal probe with elliptical spot (2008)
  • Author(s): Hiroya FUKATSU、 Kazuhisa Yanagi
  • Organizer: 7th International Conference of the euspen
  • Place of Presentation: Bremen, Germany
  • Year and Date: 2008-05-22
• [Presentation] Development of a Internal Profile Measurement Sensor for Small-diameter holes (2008)
  • Author(s): Hiroya FUKATSU
  • Organizer: 10th International Conference of the euspen
  • Place of Presentation: Zurich, Switzerland
  • Year and Date: 2008-05-20
• [Book] 現場で役立つ モノづくりのための精密測定 (2008)
  • Author(s): 深津拡也
  • Total Pages: 157
  • Publisher: 日刊工業新聞社
• [Book] 機械技術 (2006)
  • Author(s): 初心者のための表面測定技術
  • Total Pages: 20
  • Publisher: 日刊工業新聞社
• [Patent(Industrial Property Rights)] 距離測定装置および距離測定法 (2006)
  • Inventor(s): 深津 拡也
  • Industrial Property Rights Holder: 株式会社ナノテックス
  • Industrial Property Number: 2006-312261
  • Filing Date: 2006-11-17