STUDY ON PRECISE TEMPERATURE CONTROL TECHNOLOGY

• Project/Area Number: 18560199
• Research Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• Allocation Type: Single-year Grants
• Section: 一般
• Research Field: Thermal engineering
• Research Institution: Kobe University
• Principal Investigator: HIRASAWA Shigeki Kobe University, 大学院・工学研究科, 教授 (70403300)
• Project Period (FY): 2006 – 2008
• Project Status: Completed (Fiscal Year 2008)
• Budget Amount: ¥3,580,000 (Direct Cost: ¥3,100,000、Indirect Cost: ¥480,000); Fiscal Year 2008: ¥1,040,000 (Direct Cost: ¥800,000、Indirect Cost: ¥240,000); Fiscal Year 2007: ¥1,040,000 (Direct Cost: ¥800,000、Indirect Cost: ¥240,000); Fiscal Year 2006: ¥1,500,000 (Direct Cost: ¥1,500,000)
• Keywords: 温熱制御 / 熱・物質移動

Research Abstract

電子線描画装置の高精度温度制御をモデルにして, 外乱温度変動の1%以下(外乱温度変動0.1℃の環境にて対象物の温度変動を0.001℃以下)にするための制御方法を数値解析と実験で検討した。解析的な検討により, ステップ応答モデルを使ったモデル予測制御法により外乱温度変動の0.1%にできることを示した。また, ふく射加熱による温度上昇速度の制御も検討した。検討結果をまとめて, 制御対象に応じた最適制御条件や, 制御の限界を明らかにした。

Research Products

• [Journal Article] ランプ急速熱処理装置における昇温速度の高精度制御方法の検討 (2008)
  • Author(s): 平澤茂樹, 戸田禎孝
  • Journal Title: 日本機械学会論文集, B編 74巻 Pages: 767-773
  • NAID: 110006655808
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] ランプ急速熱処理装置における昇温速度の高精度制御方法の検討 (2008)
  • Author(s): 平澤茂樹, 戸田禎孝
  • Journal Title: 日本機械学会論文集 74巻740号B編(掲載決定)
  • NAID: 110006655808
  • Peer Reviewed
• [Presentation] 発熱変動ある平板の温度変化を最小にする熱制御技術の検討モデル予測制御法 (2009)
  • Author(s): 平澤茂樹, 伊藤心也
  • Organizer: 第46回日本伝熱シンポジウム
  • Place of Presentation: 京都市
  • Year and Date: 2009-06-02
• [Presentation] Optimum Heating Control Method to Keep a Given TemperatureRising Speed of a Plate during Rapid Thermal Processing2008ASME (2008)
  • Author(s): Hirasawa, S.,Toda, S.
  • Organizer: International Mechanical Engineering Congress
  • Place of Presentation: アメリカ, ボストン市
  • Year and Date: 2008-11-03
• [Presentation] Optimum Heating Control Method to Keep a Given Temperature Rising Speed of a Plate during Rapid Thermal Processing (2008)
  • Author(s): Hirasawa, S., Toda, S.
  • Organizer: 2008 ASME International Mechanical Engineering Congress
  • Place of Presentation: アメリカ, ボストン市
  • Year and Date: 2008-11-03
• [Presentation] ランプ熱処理装置における昇温速度の高精度制御方法の検討 (2008)
  • Author(s): 平澤茂樹, 戸田禎孝
  • Organizer: 第45回日本伝熱シンポジウム
  • Place of Presentation: つくば市
  • Year and Date: 2008-05-21
• [Presentation] S., Analytical Study of Thermal Control Method to Minimize Temperature Change of a Plate with Changing Heat Generation (2007)
  • Author(s): Hirasawa, S., Ito, S.
  • Organizer: 2007 ASME-JSME Thermal Engineering Summer Heat Transfer Conferenc
  • Place of Presentation: カナダ, バンクーバー市
  • Year and Date: 2007-07-11
• [Presentation] Analytical Study of Thermal Control Method to Minimize Temperature Change of a Plate with Changing Heat Generation (2007)
  • Author(s): Shigeki Hirasawa, Shinya Ito
  • Organizer: 2007 ASME-JSME Thermal Engineering Summer Heat Transfer Conference
  • Place of Presentation: カナダ国,バンクーバ市
  • Year and Date: 2007-07-11
• [Presentation] 発熱変動ある平板の温度変化を最小にする熱制御技術の検討 (2007)
  • Author(s): 平澤茂樹, 伊藤心也
  • Organizer: 第44回日本伝熱シンポジウム
  • Place of Presentation: 長崎市
  • Year and Date: 2007-05-24
• [Presentation] 発熱変動ある平板の温度変化を最小にする熱制御技術の解析的検討 (2006)
  • Author(s): 平澤茂樹, 伊藤心也, 福嶋芳雅
  • Organizer: 第43回日本伝熱シンポジウム
  • Place of Presentation: 名古屋市
  • Year and Date: 2006-05-31
• [Remarks]
  • URL: http://www.research.kobe-u.ac.jp/eng-ene/