Study on a real-time monitoring technique of electromagnetic discharge in a plasma chamber
| Project/Area Number |
18560407
|
|---|
| Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
|
| Allocation Type | Single-year Grants |
|---|
| Section | 一般 |
|---|
| Research Field |
Measurement engineering
|
|---|
| Research Institution | Ibaraki University |
|---|
Principal Investigator |
OBOTE Shigeki Ibaraki University, 工学部, 准教授 (50323209)
|
|---|
| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
KENICHI Kagoshima 茨城大学, 工学部, 教授 (70292472)
池畑 隆 茨城大学, 理工学研究科, 教授 (00159641)
佐藤 直幸 茨城大学, 理工学研究科, 准教授 (80225979)
|
|---|
| Co-Investigator(Renkei-kenkyūsha) |
TAKACHI Ikehata 茨城大学, 理工学研究科, 教授 (00159641)
NAOYUKI Sato 茨城大学, 理工学研究科, 准教授 (80225979)
|
|---|
| Project Period (FY) |
2006 – 2008
|
| Project Status |
Completed (Fiscal Year 2008)
|
| Budget Amount *help |
¥3,560,000 (Direct Cost: ¥3,200,000、Indirect Cost: ¥360,000)
Fiscal Year 2008: ¥910,000 (Direct Cost: ¥700,000、Indirect Cost: ¥210,000)
Fiscal Year 2007: ¥650,000 (Direct Cost: ¥500,000、Indirect Cost: ¥150,000)
Fiscal Year 2006: ¥2,000,000 (Direct Cost: ¥2,000,000)
|
|---|
| Keywords | 計測システム / プラズマチャンバー / 異常放電 / 位置推定 / アンテナ / 到来方向推定 |
|---|
| Research Abstract |
半導体製造工程のひとつに金属の円筒であるプラズマチャンバ内でのエッチング工程があり, その工程において異常放電が問題となっている. 異常放電の発生箇所を推定することができれば適切なメンテナンス箇所や時期の決定につながるため有効である. 本研究では, アレーアンテナを用いた到来方向推定技術を用いた放電箇所推定の可能性について検討している. 直径650mmの金属製のチャンバーにおいて, 4素子半波長等間隔リニアアレーアンテナを用いた到来方向推定実験を行った結果, 到来方向推定に基づく位置推定の実現が可能である見通しを得た.
|
Report
(4 results)
Research Products
(9 results)
