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Study on a real-time monitoring technique of electromagnetic discharge in a plasma chamber

Research Project

Project/Area Number 18560407
Research Category

Grant-in-Aid for Scientific Research (C)

Allocation TypeSingle-year Grants
Section一般
Research Field Measurement engineering
Research InstitutionIbaraki University

Principal Investigator

OBOTE Shigeki  Ibaraki University, 工学部, 准教授 (50323209)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) KENICHI Kagoshima  茨城大学, 工学部, 教授 (70292472)
池畑 隆  茨城大学, 理工学研究科, 教授 (00159641)
佐藤 直幸  茨城大学, 理工学研究科, 准教授 (80225979)
Co-Investigator(Renkei-kenkyūsha) TAKACHI Ikehata  茨城大学, 理工学研究科, 教授 (00159641)
NAOYUKI Sato  茨城大学, 理工学研究科, 准教授 (80225979)
Project Period (FY) 2006 – 2008
Project Status Completed (Fiscal Year 2008)
Budget Amount *help
¥3,560,000 (Direct Cost: ¥3,200,000、Indirect Cost: ¥360,000)
Fiscal Year 2008: ¥910,000 (Direct Cost: ¥700,000、Indirect Cost: ¥210,000)
Fiscal Year 2007: ¥650,000 (Direct Cost: ¥500,000、Indirect Cost: ¥150,000)
Fiscal Year 2006: ¥2,000,000 (Direct Cost: ¥2,000,000)
Keywords計測システム / プラズマチャンバー / 異常放電 / 位置推定 / アンテナ / 到来方向推定
Research Abstract

半導体製造工程のひとつに金属の円筒であるプラズマチャンバ内でのエッチング工程があり, その工程において異常放電が問題となっている. 異常放電の発生箇所を推定することができれば適切なメンテナンス箇所や時期の決定につながるため有効である. 本研究では, アレーアンテナを用いた到来方向推定技術を用いた放電箇所推定の可能性について検討している. 直径650mmの金属製のチャンバーにおいて, 4素子半波長等間隔リニアアレーアンテナを用いた到来方向推定実験を行った結果, 到来方向推定に基づく位置推定の実現が可能である見通しを得た.

Report

(4 results)
  • 2008 Annual Research Report   Final Research Report ( PDF )
  • 2007 Annual Research Report
  • 2006 Annual Research Report
  • Research Products

    (9 results)

All 2008 2007 2006 Other

All Journal Article (6 results) (of which Peer Reviewed: 1 results) Presentation (1 results) Remarks (2 results)

  • [Journal Article] プラズマチャンバ内における異常放電発生箇所推定に関する検討2008

    • Author(s)
      秋山圭, 尾保手茂樹, 鹿子嶋憲一
    • Journal Title

      電気学会東京支部茨城支所研究発表会 PA02

    • Related Report
      2008 Final Research Report
  • [Journal Article] Study of DOA-based indoor location positioning utilizing MIMO WLAN system in a typical room environment2007

    • Author(s)
      A. Hafiizh, F. Imai, M. Minami, K. Ikeda1, S. Obote, K. Kagoshima
    • Journal Title

      Proceedings of ISAP2007

      Pages: 1366-1369

    • Related Report
      2008 Final Research Report
  • [Journal Article] Study of DOA-based indoor location positioning utilizing MIMO WLAN system in a typical room environment2007

    • Author(s)
      A. Hafiizh, F. Imai, M. Minami, K. Ikedal, S. Obote, K. Kagoshima
    • Journal Title

      Proceedings of ISAP2007

      Pages: 1366-1369

    • Related Report
      2007 Annual Research Report
    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] MIMO無線LANによる到来方向推定に基づく位置推定法に関する検討2007

    • Author(s)
      今井風太, アブドゥル ハフィズ, 南美智子, 池田一樹, 尾保手茂樹, 鹿子嶋憲一
    • Journal Title

      第12回 東京支部学生会研究発表か

      Pages: 56-56

    • Related Report
      2006 Annual Research Report
  • [Journal Article] Performance study of DOA-based indoor location positioning utilizing MIMO wireless LAN system2006

    • Author(s)
      A. Hafiizh, F. Imai, M. Minami, K. Ikeda, S. Obote, and K. Kagoshima
    • Journal Title

      ISAP 2006, Singapore Nov. 2006

    • Related Report
      2008 Final Research Report
  • [Journal Article] Performance study of DOA-based indoor location positioning utilizing MIMO wireless LAN system2006

    • Author(s)
      A.Hafiizh, F.Imai, M.Minami, K.Ikeda, S.Obote, K.Kagoshima
    • Journal Title

      International Symposium on Antennas and Propagation (CDROM)

    • Related Report
      2006 Annual Research Report
  • [Presentation] プラズマチャンバ内における異常放電発生箇所推定に関する検討2008

    • Author(s)
      秋山圭, 尾保手茂樹, 鹿子嶋憲一
    • Organizer
      平成20年度電気学会東京支部茨城支所研究発表会
    • Place of Presentation
      日立市
    • Year and Date
      2008-12-05
    • Related Report
      2008 Annual Research Report
  • [Remarks]

    • URL

      http://info.ibaraki.ac.jp/scripts/websearch/index.htm

    • Related Report
      2008 Annual Research Report
  • [Remarks] 茨城大学研究者情報総覧

    • URL

      http://info.ibaraki.ac.jp/scripts/websearch/index.htm

    • Related Report
      2007 Annual Research Report

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Published: 2006-04-01   Modified: 2016-04-21  

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