• Search Research Projects
  • Search Researchers
  • How to Use
  1. Back to previous page

Preparation of electorolessly deposited cobalt alloy films with amorphous-nano modulated structures

Research Project

Project/Area Number 18560699
Research Category

Grant-in-Aid for Scientific Research (C)

Allocation TypeSingle-year Grants
Section一般
Research Field Material processing/treatments
Research InstitutionUniversity of Hyogo

Principal Investigator

HITOSHI Matsuda  University of Hyogo, 大学院・工学研究科, 教授 (60118015)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) YAE Shinji  兵庫県立大学, 大学院・工学研究科, 准教授 (00239716)
FUKUMURO Naoki  兵庫県立大学, 大学院・工学研究科, 助教 (10347528)
Project Period (FY) 2006 – 2008
Project Status Completed (Fiscal Year 2008)
Budget Amount *help
¥3,100,000 (Direct Cost: ¥2,800,000、Indirect Cost: ¥300,000)
Fiscal Year 2008: ¥650,000 (Direct Cost: ¥500,000、Indirect Cost: ¥150,000)
Fiscal Year 2007: ¥650,000 (Direct Cost: ¥500,000、Indirect Cost: ¥150,000)
Fiscal Year 2006: ¥1,800,000 (Direct Cost: ¥1,800,000)
Keywords無電解めっき / アモルファス / ナノ結晶 / 変調構造 / 傾斜構造膜 / 磁気履歴曲線 / 保磁力 / 磁化履歴曲線
Research Abstract

物質は、原子が規則正しく配列する「結晶質」と配列がランダムな「アモルファス」に分類できる。無電解めっき法で作製条件によって、アモルファスから結晶質まで種々の膜を形成可能である。この研究では、(1) 1枚の膜の中で、結晶がアモルファスから結晶質へ少しずつ変化する構造傾斜膜(2) 1枚の膜の中でアモルファスと結晶質が幾何学的に配列した2相変調構造膜の作製に成功した。また、その構造観察や磁気特性解析を行い、実用化の基礎資料を提示した

Report

(4 results)
  • 2008 Annual Research Report   Final Research Report ( PDF )
  • 2007 Annual Research Report
  • 2006 Annual Research Report
  • Research Products

    (49 results)

All 2009 2008 2007 Other

All Journal Article (17 results) (of which Peer Reviewed: 15 results) Presentation (29 results) Book (1 results) Remarks (2 results)

  • [Journal Article] Metal nanorod production in silicon matrix by electroless process2009

    • Author(s)
      S. Yae, T. Hirano, T. Matsuda, N. Fukumuro, and H. Matsuda
    • Journal Title

      Appl. Surf. Sci. 255(8)

      Pages: 4670-4672

    • Related Report
      2008 Final Research Report
    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] 平滑アルミナ基板と無電解純Ni めっき膜の密着性と内部応力との関係2009

    • Author(s)
      伊藤潔, 福室直樹, 八重真治, 松田均
    • Journal Title

      エレクトロニクス実装学会誌 12(2)

      Pages: 130-136

    • NAID

      110007122655

    • Related Report
      2008 Final Research Report
    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Metal nanorod production in silicon matrix by electroless. process2009

    • Author(s)
      Shinji Yae
    • Journal Title

      Applied Surface Science 255

      Pages: 4670-4672

    • Related Report
      2008 Annual Research Report
    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] 滑アルミナ基板と無電解純Niめっき膜の密着性と内部応力との関係2009

    • Author(s)
      伊藤 潔
    • Journal Title

      エレクトロニクス実装学会誌 12

      Pages: 130-136

    • Related Report
      2008 Annual Research Report
    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] High Catalytic Activity of Palladium for Metal Enhanced Hydrofluoric Acid Etching of Silicon2008

    • Author(s)
      S. Yae, M. Tashiro, T. Hirano, M. Abe, N. Fukumuro, and H. Matsuda
    • Journal Title

      ECS Trans 16(3)

      Pages: 285-289

    • Related Report
      2008 Final Research Report
    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Palladium Enhanced Etching of n-type Silicon in Hydrofluoric Acid Solution2008

    • Author(s)
      Shinji Yae, Makoto Abe, Naoki Fukumuro, Hitoshi Matsuda
    • Journal Title

      Electrochemistry 72(2)

      Pages: 144-146

    • NAID

      10019916285

    • Related Report
      2008 Final Research Report
    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] High Catalytic Activity of Palladium for Metal Enhanced Hydrof luoric Acid Etching of Silicon2008

    • Author(s)
      S. Yae
    • Journal Title

      ECS Transactions 16(3)

      Pages: 285-289

    • Related Report
      2008 Annual Research Report
    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Nucleation behavior in electroless displacement deposition of metals on silicon from hydrofluoric acidsolutions2007

    • Author(s)
      S. Yae, N. Nasu, K. Matsumoto, T. Hagihara, N. Fukumuro, H. Matsuda
    • Journal Title

      Electrochim. Acta 53

      Pages: 35-41

    • Related Report
      2008 Final Research Report
    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Structure of Porous Si Formed by Metal-Particle (Pt, Pd) Enhanced HF Etching2007

    • Author(s)
      S. Yae, M. Abe, T. Kawagishi, K. Suzuki, N. Fukumuro, H. Matsuda
    • Journal Title

      Trans. Mater. Res. Soc. Jpn. 32

      Pages: 445-448

    • NAID

      130007922775

    • Related Report
      2008 Final Research Report
    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] In Situ Measurement of Internal Stress in Electrolessly Deposited Copper Film by Television Holographic Interferometry2007

    • Author(s)
      N. Fukumuro, M. Yamazaki, K. Ito, H. Ishihara, S. Kakunai, S. Yae, H. Matsuda
    • Journal Title

      Electrochem. Solid State Lett 10

    • Related Report
      2008 Final Research Report
    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Co-P multilayer film electrodeposited under DC electrolysis2007

    • Author(s)
      N. Fukumuro, J. Nishiyama, K. Shigeta, Y. Morimoto, H. Takagami, S. Yae, H. Matsuda
    • Journal Title

      Electrochem. Comm. 9

      Pages: 1185-1188

    • Related Report
      2008 Final Research Report
    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Solar to chemical conversion using metal nanoparticle modified microcrystalline silicon thin film photoelectrode2007

    • Author(s)
      S. Yae, T. Kobayashi, M. Abe, N. Nasu, N. Fukumuro, S. Ogawa, N. Yoshida, S. Nonomura, Y. Nakato, H. Matsuda
    • Journal Title

      Sol. Energy Mater. Sol. Cells 91

      Pages: 224-229

    • Related Report
      2008 Final Research Report
    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Confirmation of hydroxide in electroless cobalt alloy films by GDOES2007

    • Author(s)
      N. Fukumuro. J. Nishiyama, k. Shigeta, H. Takagami, S. Yae, H. matsuda
    • Journal Title

      Trans. Instit. Met. Fin. 85

      Pages: 111-112

    • Related Report
      2007 Annual Research Report
    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Co-P miltilayer film electrodeposited under DC electrolysis2007

    • Author(s)
      N. Fukimuro, J. Nishiyama. K. Shigeta, Y. Morimoto, H. Takagami, S. Yae. H. Matsuda
    • Journal Title

      Electrochem. Comm. 9

      Pages: 1185-1188

    • Related Report
      2007 Annual Research Report
    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] In Situ Measurement of Internal Stress in Electrolessly Deposited Copper Film by Television Holographic Interferometry2007

    • Author(s)
      N. Fukumuro, M. Yamazaki, K. Ito, h. Ishihara, S. Kakunai, S. Yae, H. Matsuda
    • Journal Title

      Electrochem. Solid State Lett. 10

    • Related Report
      2007 Annual Research Report
    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Co-P multilayer film electrodeposited under DC electrolysis2007

    • Author(s)
      N.Fukumuro, J.Nishiyama, K.Shigeta, Y.Morimoto, H.Takagami, S.Yae, H.Matsuda
    • Journal Title

      Electrochemistry Communications 9

      Pages: 1185-1188

    • Related Report
      2006 Annual Research Report
  • [Journal Article] Confirmation of Hydroxide in Electroless Cobalt Alloy Films by GDOES2007

    • Author(s)
      N.Fukumuro, J.Nishiyama, K.Shigeta, H.Takagami, S.Yae, H.Matsuda
    • Journal Title

      Trans. Inst. Met. Finish (in press)

    • Related Report
      2006 Annual Research Report
  • [Presentation] パラジウムを触媒とするシリコンのHFエッチングによるパターン形成2009

    • Author(s)
      八重真治
    • Organizer
      電気化学会第7 6回大会
    • Place of Presentation
      京都市・京都大学
    • Year and Date
      2009-03-29
    • Related Report
      2008 Annual Research Report
  • [Presentation] シリコン上への貴金属微粒子電析に及ぼす置換反応の影響2009

    • Author(s)
      八重真治
    • Organizer
      電気化学会第7 6回大会
    • Place of Presentation
      京都市・京都大学
    • Year and Date
      2009-03-29
    • Related Report
      2008 Annual Research Report
  • [Presentation] 電解Niめっき膜中の水素の挙動2009

    • Author(s)
      田中裕三
    • Organizer
      電気化学会第76回大会
    • Place of Presentation
      京都市・京都大学
    • Year and Date
      2009-03-29
    • Related Report
      2008 Annual Research Report
  • [Presentation] 電解Ni めっき膜中の水素の挙動2009

    • Author(s)
      田中裕三, 福室直樹, 八重真治, 松田均, 深井有
    • Organizer
      電気化学会第76回大会講演要旨集
    • Related Report
      2008 Final Research Report
  • [Presentation] Microstructural Investigation of Modulated structure in Electrolessly Deposited Co-P Films2008

    • Author(s)
      N. Fukumuro
    • Organizer
      IUMRS-ICA2008
    • Place of Presentation
      名古屋市・名古屋国際会議場
    • Year and Date
      2008-12-09
    • Related Report
      2008 Annual Research Report
  • [Presentation] 電解Fe系めっき膜の構造と水素の存在状態の検討2008

    • Author(s)
      丸尾寿明
    • Organizer
      第10回関西表面技術フォーラム
    • Place of Presentation
      神戸市・甲南大学
    • Year and Date
      2008-12-02
    • Related Report
      2008 Annual Research Report
  • [Presentation] 電解法により作製したCoめっき膜の微細構造に及ぼす水素の影響2008

    • Author(s)
      中山 彰
    • Organizer
      第10回関西表面技術フォーラム
    • Place of Presentation
      神戸市・甲南大学
    • Year and Date
      2008-12-02
    • Related Report
      2008 Annual Research Report
  • [Presentation] 電解Niめっきにおける水素の挙動2008

    • Author(s)
      田中裕三
    • Organizer
      第10回関西表面技術フォーラム
    • Place of Presentation
      神戸市・甲南大学
    • Year and Date
      2008-12-02
    • Related Report
      2008 Annual Research Report
  • [Presentation] High Catalytic Activity of Palladium for Metal Enhanced Hydrofluoric Acid Etching of Silicon2008

    • Author(s)
      S. Yae
    • Organizer
      日米電気化学合同大会
    • Place of Presentation
      アメリカ合衆国ハワイ州ホノルル市
    • Year and Date
      2008-10-14
    • Related Report
      2008 Annual Research Report
  • [Presentation] Electroless Process for Producing Metal Filled Si Nanopores2008

    • Author(s)
      T. Hirano
    • Organizer
      日米電気化学合同大会
    • Place of Presentation
      アメリカ合衆国ハワイ州 ホノルル市
    • Year and Date
      2008-10-13
    • Related Report
      2008 Annual Research Report
  • [Presentation] Co-Pめっき膜の構造と水素の存在状態の検討2008

    • Author(s)
      小佐々 寛
    • Organizer
      社団法人日本金属学会2008年秋期(第143回)講演大会
    • Place of Presentation
      熊本市・熊本大学
    • Year and Date
      2008-09-23
    • Related Report
      2008 Annual Research Report
  • [Presentation] 電解Fe系めっき膜の構造と水素の存在状態の検討2008

    • Author(s)
      丸尾寿明
    • Organizer
      社団法人日本金属学会2008年秋期(第143回)講演大会
    • Place of Presentation
      熊本市・熊本大学
    • Year and Date
      2008-09-23
    • Related Report
      2008 Annual Research Report
  • [Presentation] 電解法により作製したCoめっき膜の微細構造に及ぼす水素の影響2008

    • Author(s)
      中山 彰
    • Organizer
      社団法人日本金属学会2008年秋期(第143回)講演大会
    • Place of Presentation
      熊本市・熊本大学
    • Year and Date
      2008-09-23
    • Related Report
      2008 Annual Research Report
  • [Presentation] TVホログラフィー干渉法によるめっき初期析出過程の内部応力のその場測定2008

    • Author(s)
      福室直樹
    • Organizer
      社団法人表面技術協会第118回講演大会
    • Place of Presentation
      東大阪市・近畿大学
    • Year and Date
      2008-09-02
    • Related Report
      2008 Annual Research Report
  • [Presentation] 無電解プロセスによるシリコン微細孔の作製と金属充填2008

    • Author(s)
      平野達也
    • Organizer
      社団法人表面技術協会第118回講演大会
    • Place of Presentation
      東大阪市・近畿大学
    • Year and Date
      2008-09-01
    • Related Report
      2008 Annual Research Report
  • [Presentation] 電気化学的手法により作製したCoめっき膜中における水素の存在状憩の検討2008

    • Author(s)
      中山 彰、 福室 直樹、 八重 真治、 松田 均、 深井 有
    • Organizer
      日本金属学会2008年春期(第142回)講演大会
    • Place of Presentation
      東京都世田谷区武蔵工業大学
    • Year and Date
      2008-03-26
    • Related Report
      2007 Annual Research Report
  • [Presentation] Microstructural Investigation of Modulated Structure in Electrolessly Deposited Co-P Films(DDP-3)2008

    • Author(s)
      N. Fukumuro, S. Yae and H. Matsuda
    • Organizer
      IUMRS International Conference in Asia 2008
    • Related Report
      2008 Final Research Report
  • [Presentation] Influence of Displacement Reaction on Electrodeposition of Noble Metal Particles on Silicon(DDP-4)2008

    • Author(s)
      M. Kawai, T. Matsuda, N. Fukumuro, S. Yae and H. Matsuda
    • Organizer
      IUMRS International Conference in Asia 2008
    • Related Report
      2008 Final Research Report
  • [Presentation] 電解法により作製したCo めっき膜の微細構造に及ぼす水素の影響2008

    • Author(s)
      中山彰、福室直樹, 八重真治, 松田均, 深井有
    • Organizer
      第10回関西表面技術フォーラム要旨集
    • Related Report
      2008 Final Research Report
  • [Presentation] 電解Fe系めっき膜の構造と水素の存在状態の検討2008

    • Author(s)
      丸尾寿明, 福室直樹, 八重真治, 松田均, 深井有
    • Organizer
      第10回関西表面技術フォーラム要旨集
    • Related Report
      2008 Final Research Report
  • [Presentation] 電解Niめっきにおける水素の挙動2008

    • Author(s)
      田中裕三, 福室直樹, 八重真治, 松田均, 深井有
    • Organizer
      第10回関西表面技術フォーラム要旨集
    • Related Report
      2008 Final Research Report
  • [Presentation] 中央大理工研深井有, Co-Pめっき膜の構造と水素の存在状態の検討2008

    • Author(s)
      小佐々寛, 福室直樹, 八重真治, 松田均
    • Organizer
      日本金属学会2008 年秋期(第143回)大会講演概要
    • Related Report
      2008 Final Research Report
  • [Presentation] 中央大理工研深井有, 電解Fe系めっき膜の構造と水素の存在状態の検討2008

    • Author(s)
      丸尾寿明, 福室直樹, 八重真治, 松田均
    • Organizer
      日本金属学会2008年秋期(第143回)大会講演概要
    • Related Report
      2008 Final Research Report
  • [Presentation] 中央大理工研深井有, 電解法により作製したCoめっき膜の微細構造に及ぼす水素の影響2008

    • Author(s)
      中山彰, 福室直樹, 八重真治, 松田均
    • Organizer
      日本金属学会2008年秋期(第143回)大会講演概要
    • Related Report
      2008 Final Research Report
  • [Presentation] 無電解プロセスによるシリコン微細孔の作製と金属充填2008

    • Author(s)
      平野達也, 松田貴士, 福室直樹, 八重真治, 松田均
    • Organizer
      表面技術協会第118回講演大会講演要旨集
    • Related Report
      2008 Final Research Report
  • [Presentation] 単結晶Si上への金属微粒子の無電解置換析出~Arプラズマエッチングによる粒子数密度変化~2008

    • Author(s)
      松田貴士, 高見晃司, 福室直樹, 八重真治, 松田均
    • Organizer
      表面技術協会第118回講演大会講演要旨集
    • Related Report
      2008 Final Research Report
  • [Presentation] TVホログラフィー干渉法によるめっき初期析出過程の内部応力のその場測定表面技術協会2008

    • Author(s)
      福室直樹, 伊藤潔, 高木將裕, 格内敏, 八重真治, 松田均
    • Organizer
      第118回講演大会講演要旨集
    • Related Report
      2008 Final Research Report
  • [Presentation] TVホログラフィーを用いためっき膜応力のin-Situ測定2007

    • Author(s)
      石本 和大、 高木 将裕、 大南 恵介、 格内 敏、 福室 直樹、 八重 真治、 松田 均
    • Organizer
      第9回関西表面技術フォーラム
    • Place of Presentation
      大阪府東大阪市近畿大学
    • Year and Date
      2007-12-11
    • Related Report
      2007 Annual Research Report
  • [Presentation] 電気化学的手法により作製したCo系めっき膜中における水素の存在状態の検討2007

    • Author(s)
      小佐々 寛、 福室 直樹、 八重 真治、 松田 均、 深井 有
    • Organizer
      (社)日本金属学会2007年秋期講演大会
    • Place of Presentation
      岐阜県岐阜市岐阜大学
    • Year and Date
      2007-09-20
    • Related Report
      2007 Annual Research Report
  • [Book] Progress in Nanoparticles Research2008

    • Author(s)
      Shinji Yae
    • Publisher
      Nova Science Publishers
    • Related Report
      2008 Annual Research Report
  • [Remarks]

    • URL

      http://www.eng.u-hyogo.ac.jp/msc/msc8/info.html

    • Related Report
      2008 Annual Research Report
  • [Remarks]

    • URL

      http://www.eng.u-hyogo.ac.jp/msc/msc8/info.html

    • Related Report
      2007 Annual Research Report

URL: 

Published: 2006-04-01   Modified: 2016-04-21  

Information User Guide FAQ News Terms of Use Attribution of KAKENHI

Powered by NII kakenhi