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ナノスケール生産基盤におけるコア計測技術に関する企画調査

Research Project

Project/Area Number 18636002
Research Category

Grant-in-Aid for Scientific Research (C)

Allocation TypeSingle-year Grants
Section企画調査
Research Field Intelligent mechanics/Mechanical systems
Research InstitutionThe University of Tokyo

Principal Investigator

高増 潔  The University of Tokyo, 大学院・工学系研究科, 教授 (70154896)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 高谷 裕浩  大阪大学, 大学院・工学研究科, 教授 (70243178)
高 偉  東北大学, 大学院・工学研究科, 教授 (70270816)
高辻 利之  産業技術総合研究所, 計測標準研究部門, 室長 (20357362)
笹島 和幸  東京工業大学, 大学院・情報理工学研究科, 教授 (80170702)
古谷 涼秋  東京電機大学, 工学部, 教授 (50219119)
Project Period (FY) 2006 – 2007
Project Status Completed (Fiscal Year 2006)
Budget Amount *help
¥3,400,000 (Direct Cost: ¥3,400,000)
Fiscal Year 2006: ¥3,400,000 (Direct Cost: ¥3,400,000)
Keywords計測工学 / ナノメートル計測 / 機械工学・生産工学 / 三次元計測
Research Abstract

知的ナノメートル計測を発展させ,ナノスケール生産基盤として日本の産業における「ものづくり」への適用を考えるためには,4つのコア計測技術における課題解決のための共同研究が必要となる.本企画調査では,これらの課題解決を目的とした特定領域研究設置のための調査研究を行った.以下のような4つのグループを作り,調査研究を行った.
(1)知的計測技術研究グループ
知的計測手法の基本的な技術を体系化し,これを産業界で応用する場合の方法を定式化した.
(2)ナノメートル加工計測技術研究グループ
ナノメートル加工計測技術に知的計測手法を応用するために最適な対象を調査した.
(3)ナノメートル計測標準研究グループ
ナノメートル計測の標準化により,産業界にナノメートル領域のトレーサビリティを確立するための方法を検討した.
(4)ものづくりへの展開研究グループ
本組織の母体となる精密工学会「知的ナノ計測専門委員会」の産業界からのメンバー(10社〜20社程度)を研究協力者として,産業界におけるものづくりへ知的ナノメートル計測技術を適用する手法について検討した.
このような連携活動を有効的,効率的に行うために,上記専門委員会の活動を支援し連携して調査研究を行った.また,関連する国際会議8th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII2007) (2007年9月25日〜27日,東北大学,委員長 高教授)を支援することで,国際的な連携,動向調査を行った.この国際会議は,参加者:250人(23カ国),発表:214件,企業展示:15社と,計測分野の国際会議として大きな成功を収めた.このためにインターネットおよびホームページを有効に利用した情報収集,および国際的な情報発信やメールや郵送を利用した情報収集を行った.これらの連携,研究,調査の結果を特定領域研究の新規発足研究領域の準備に利用する.

Report

(1 results)
  • 2006 Annual Research Report
  • Research Products

    (7 results)

All 2007 2006

All Journal Article (6 results) Book (1 results)

  • [Journal Article] 現場環境における三次元測定機の高度化に関する研究(第1報): 温度ドリフトの評価および補正2007

    • Author(s)
      大西徹, 高瀬省徳, 高増潔
    • Journal Title

      精密工学会誌 73・2

      Pages: 270-274

    • NAID

      110006163414

    • Related Report
      2006 Annual Research Report
  • [Journal Article] Development of a Multi-Ball-Cantilever AFM for Measuring Resist Surface2006

    • Author(s)
      Shujie Liu, Shuichi Nagasawa, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
    • Journal Title

      Journal of Robotics and Mechatronics 18・6

      Pages: 698-704

    • Related Report
      2006 Annual Research Report
  • [Journal Article] Investigation of the Influence of Swalloing, Coughing and Vocalizationon Heart Rate Variability with Respiratory-phase Domain Analysis2006

    • Author(s)
      K. Kotani, M. Tachibana, K. Takamasu
    • Journal Title

      Methods of Information in Medicine 46・2

      Pages: 179-185

    • Related Report
      2006 Annual Research Report
  • [Journal Article] エバネッセント光を利用したナノ光造形法に関する研究(第1報)-造形基本特製の理論的・実験敵検討-2006

    • Author(s)
      梶原優介, 稲月友一, 高橋哲, 高増潔
    • Journal Title

      精密工学会誌 72・11

      Pages: 1391-1396

    • Related Report
      2006 Annual Research Report
  • [Journal Article] 平面リニアモータの精度校正に関する研究(第1報)-反射ミラーの形状計測-2006

    • Author(s)
      陳欣, 高増潔, 小谷潔, 石田敏博
    • Journal Title

      精密工学会誌 72・12

      Pages: 1542-1546

    • NAID

      110004863756

    • Related Report
      2006 Annual Research Report
  • [Journal Article] 輪帯エバネッセント照明による回路パターン付きSiウエハの表面異物欠陥検出法に関する研究(第1報): 欠陥検出原理とその検証実験2006

    • Author(s)
      吉岡淑江, 三好隆志, 高谷裕浩, 高橋哲
    • Journal Title

      精密工学会誌 72・7

      Pages: 878-883

    • NAID

      110004744884

    • Related Report
      2006 Annual Research Report
  • [Book] 日本機械学会編: 機械工学便覧デザイン編β3 加工学・加工機器2006

    • Author(s)
      高増潔他
    • Total Pages
      250
    • Publisher
      日本機械学会
    • Related Report
      2006 Annual Research Report

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Published: 2006-04-01   Modified: 2016-04-21  

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