• Search Research Projects
  • Search Researchers
  • How to Use
  1. Back to previous page

高機能細径医療ツールのための円筒面に適したMEMSプロセスの開発

Research Project

Project/Area Number 18650118
Research Category

Grant-in-Aid for Exploratory Research

Allocation TypeSingle-year Grants
Research Field Biomedical engineering/Biological material science
Research InstitutionTohoku University

Principal Investigator

松永 忠雄  Tohoku University, 先進医工学研究機構, 助教 (00396540)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 芳賀 洋一  東北大学, 先進医工学研究機構, 准教授 (00282096)
牧志 渉  東北大学, 先進医工学研究機構, 助教 (60400454)
江刺 正喜  東北大学, 大学院・工学研究科, 教授 (20108468)
Project Period (FY) 2006 – 2007
Project Status Completed (Fiscal Year 2007)
Budget Amount *help
¥3,300,000 (Direct Cost: ¥3,300,000)
Fiscal Year 2007: ¥1,000,000 (Direct Cost: ¥1,000,000)
Fiscal Year 2006: ¥2,300,000 (Direct Cost: ¥2,300,000)
Keywords円筒面MEMSプロセス / フォトリソグラフィー / コーティング
Research Abstract

本研究の目的は、マスクレス露光を用いたフォトリソグラフィーをはじめとする半導体微細加工技術および微小機械要素を取り入れたMEMS技術を、細径の円筒面に適応することにより、高機能医療ツールを実現することである。医療機器など高付加価値のデバイスの形状に着目すると、ほとんどが円筒形状であり、この目的に特化して新たな微細加工および集積化技術を開発することにより、今までにない有用で高機能なデバイスを実現できる。昨年度から遂行している円筒形状サンプル表面にフォトリソグラフィーを行うための要素技術(露光、レジストスプレーコーティング、成膜、めっき)、および非平面サンプル上へのレーザー局所加熱を用いた集積回路実装技術はほぼ確立した。
本年度は露光光を微小点で照射し,ステージを多軸で制御することにより描画する点照射を用いたマスクレス露光により、血管内MRIプローブの作製を行った。本デバイスは血管病変をコントラスト良く高解像度イメージングするために用いられる。外径φ2mmのガラスチューブ上にサドルコイル(RFコイル)を作製し、マッチング回路を組み込みこんだデバイスをMRI装置に接続し、イメージングを行った。ブタ鎖骨下動脈摘出サンプル内に本デバイスを挿入しイメージングを行った結果、φ7.5mm範囲の撮像が可能であり、その有効性を確認した。
以上の結果から、円筒面に適したMEMSプロセスを用いた高機能細径医療ツールのフィージビリティを確認し、本研究の目的をほぼ計画通り達した。

Report

(2 results)
  • 2007 Annual Research Report
  • 2006 Annual Research Report
  • Research Products

    (4 results)

All 2007 2006

All Journal Article (2 results) Presentation (1 results) Patent(Industrial Property Rights) (1 results)

  • [Journal Article] Fabrication Techniques for Multilayer Matalization and Patterning, and Surface Mountings of Components on Cyrindrical Substrates for Tube-Shaped Micro-Tools2006

    • Author(s)
      S.Goto
    • Journal Title

      Proc. of 1st IEEE/RAS-EMBS 2006 International Conference on Biomedical Robotics and Biomechatoronics (Biorobo2006)

      Pages: 217-220

    • Related Report
      2006 Annual Research Report
  • [Journal Article] Development of High-Resolution Intraluminal and Intravascular MRI Probe Using Microfabrication on Cylindrical Substrates2006

    • Author(s)
      S.Goto
    • Journal Title

      IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS2007)

      Pages: 1603-1606

    • Related Report
      2006 Annual Research Report
  • [Presentation] Fabrication of receive coil for intravascular and intraluminal MRI using photolithography technique on cylindrical substrates2007

    • Author(s)
      S. Goto
    • Organizer
      The 19th International Conference of Society for Medical Innovation and Technology (SMIT2007)
    • Place of Presentation
      仙台国際センター
    • Year and Date
      2007-11-20
    • Related Report
      2007 Annual Research Report
  • [Patent(Industrial Property Rights)] 立体形状に適したフォトリソグラフィー装置2006

    • Inventor(s)
      芳賀洋一, 松永忠雄, 江刺正喜, 戸津健太郎
    • Industrial Property Rights Holder
      東北大学
    • Industrial Property Number
      2006-250761
    • Filing Date
      2006-09-15
    • Related Report
      2006 Annual Research Report

URL: 

Published: 2006-04-01   Modified: 2016-04-21  

Information User Guide FAQ News Terms of Use Attribution of KAKENHI

Powered by NII kakenhi